ICP Etch-এর জন্য Semicorex SiC Susceptor উচ্চ মান এবং ধারাবাহিকতা বজায় রাখার উপর ফোকাস দিয়ে তৈরি করা হয়। এই সাসেপ্টরগুলি তৈরি করতে ব্যবহৃত শক্তিশালী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি নিশ্চিত করে যে প্রতিটি ব্যাচ কঠোর কর্মক্ষমতা মানদণ্ড পূরণ করে, সেমিকন্ডাক্টর এচিং-এ নির্ভরযোগ্য এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ ফলাফল প্রদান করে। উপরন্তু, Semicorex দ্রুত ডেলিভারি সময়সূচী অফার করার জন্য সজ্জিত, যা সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের দ্রুত পরিবর্তনের চাহিদার সাথে তাল মিলিয়ে চলার জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, এটি নিশ্চিত করে যে মানের সাথে আপস না করে উৎপাদনের সময়সীমা পূরণ করা হয়। সেমিকোরেক্সে আমরা উচ্চ-কর্মক্ষমতা উত্পাদন এবং সরবরাহ করতে নিবেদিত। ICP Etch-এর জন্য SiC সাসেপ্টর যা খরচ-দক্ষতার সাথে গুণমানকে ফিউজ করে।**
ICP Etch-এর জন্য Semicorex SiC সাসেপ্টর তার চমৎকার তাপ পরিবাহিতা জন্য বিখ্যাত, যা সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ বিতরণের অনুমতি দেয়। এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন একটি সামঞ্জস্যপূর্ণ তাপমাত্রা বজায় রাখার জন্য, প্যাটার্ন স্থানান্তরে উচ্চ নির্ভুলতা নিশ্চিত করার জন্য এই বৈশিষ্ট্যটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। অতিরিক্তভাবে, SiC-এর তাপ সম্প্রসারণের কম সহগ বিভিন্ন তাপমাত্রার অধীনে মাত্রিক পরিবর্তনগুলিকে হ্রাস করে, এইভাবে কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে এবং সুনির্দিষ্ট এবং অভিন্ন উপাদান অপসারণকে সমর্থন করে।
ICP Etch এর জন্য SiC সাসেপ্টরের স্ট্যান্ডআউট বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে একটি হল তাদের প্লাজমা প্রভাবের প্রতিরোধ। এই প্রতিরোধ নিশ্চিত করে যে প্লাজমা বোমাবাজির কঠোর পরিস্থিতিতে সাসেপ্টর ক্ষয় বা ক্ষয় না করে, যা এই এচিং প্রক্রিয়াগুলিতে সাধারণ। এই স্থায়িত্ব এচিং প্রক্রিয়ার নির্ভরযোগ্যতা বাড়ায় এবং ন্যূনতম ত্রুটি সহ পরিষ্কার, সু-সংজ্ঞায়িত এচ প্যাটার্ন তৈরিতে অবদান রাখে।
ICP Etch এর জন্য SiC সাসেপ্টর সহজাতভাবে শক্তিশালী অ্যাসিড এবং ক্ষার দ্বারা ক্ষয় প্রতিরোধী, যা ICP এচিং পরিবেশে ব্যবহৃত উপকরণগুলির জন্য একটি অপরিহার্য সম্পত্তি। এই রাসায়নিক প্রতিরোধ নিশ্চিত করে যে ICP Etch-এর জন্য SiC সাসেপ্টর সময়ের সাথে সাথে তাদের শারীরিক এবং যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য বজায় রাখে, এমনকি আক্রমণাত্মক রাসায়নিক বিকারকগুলির সংস্পর্শে থাকলেও। এই স্থায়িত্ব ঘন ঘন প্রতিস্থাপন এবং রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে, যার ফলে অপারেশনাল খরচ কম হয় এবং সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধার আপটাইম বৃদ্ধি পায়।
ICP Etch-এর জন্য Semicorex SiC সাসেপ্টর নির্দিষ্ট মাত্রার প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অবিকল ইঞ্জিনিয়ার করা যেতে পারে, যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের একটি গুরুত্বপূর্ণ কারণ যেখানে বিভিন্ন ওয়েফার আকার এবং প্রক্রিয়াকরণের বৈশিষ্ট্যগুলিকে মিটমাট করার জন্য প্রায়শই কাস্টমাইজেশন প্রয়োজন হয়। এই অভিযোজনযোগ্যতা বিদ্যমান সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া লাইনের সাথে আরও ভাল একীকরণের অনুমতি দেয়, এচিং প্রক্রিয়ার সামগ্রিক দক্ষতা এবং কার্যকারিতা অপ্টিমাইজ করে।