ফোকাস রিং বা প্রান্তের রিংগুলি ওয়েফার প্রান্ত বা ঘেরের চারপাশে এচ অভিন্নতা উন্নত করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
সেমিকোরেক্স ফোকাস রিংগুলি হল সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) ব্যবহার করে উচ্চতর তাপ প্রতিরোধ, এমনকি সামঞ্জস্যপূর্ণ এপিআই স্তরের পুরুত্ব এবং প্রতিরোধের জন্য তাপীয় অভিন্নতা এবং টেকসই রাসায়নিক প্রতিরোধ, যা প্লাজমা এচিং বা শুষ্ক এচিং প্রক্রিয়ায় চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য তৈরি করা হয়। .
অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণের জন্য সেমিকোরেক্স টেকসই ফোকাস রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত প্লাজমা ইচ চেম্বারের চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। আমাদের ফোকাস রিংগুলি একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ সহ উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি। SiC আবরণ উচ্চ জারা এবং তাপ প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য, সেইসাথে চমৎকার তাপ পরিবাহিতা আছে. আমরা আমাদের ফোকাস রিংগুলির পরিষেবা জীবন উন্নত করতে রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গ্রাফাইটের উপর পাতলা স্তরে SiC প্রয়োগ করি।
আরও পড়ুনঅনুসন্ধান পাঠানসেমিকোরেক্স প্লাজমা প্রসেসিং ফোকাস রিং বিশেষভাবে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে প্লাজমা ইচ প্রক্রিয়াকরণের উচ্চ চাহিদা মেটাতে ডিজাইন করা হয়েছে। আমাদের উন্নত, উচ্চ-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত উপাদানগুলি চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য নির্মিত এবং সিলিকন কার্বাইড স্তর এবং এপিটাক্সি সেমিকন্ডাক্টর সহ বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত।
আরও পড়ুনঅনুসন্ধান পাঠানসেমিকোরেক্স উন্নত, উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC ফোকাস রিংগুলি প্লাজমা এচ (বা শুষ্ক ইচ) চেম্বারে চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য তৈরি করা হয়েছে। আমরা সেমিকন্ডাক্টর ইন্ডাস্ট্রিতে ফোকাস করি যেমন সিলিকন কার্বাইড লেয়ার এবং এপিটাক্সি সেমিকন্ডাক্টর। আমাদের পণ্যগুলির একটি ভাল মূল্য সুবিধা রয়েছে এবং ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারের অনেকগুলিকে কভার করে৷ আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
আরও পড়ুনঅনুসন্ধান পাঠান