সেমিকোরেক্স RTP ক্যারিয়ার হল রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে সিলিকন কার্বাইড লেপা, যা RTA, RTP বা কঠোর রাসায়নিক পরিষ্কারের জন্য সত্যিই স্থিতিশীল। সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার মূল অংশে, এপিটাক্সি সাসেপ্টরগুলি প্রথমে জমা পরিবেশের শিকার হয়, তাই এটির উচ্চ তাপ এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে। SiC প্রলিপ্ত ক্যারিয়ারের একটি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
● উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট
● উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের
● উচ্চ তাপ অভিন্নতা
● চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের