প্যানকেক সাসেপ্টর, অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত ওয়েফার ক্যারিয়ারের একটি গোলাকার আকৃতি।
এপিটাক্সি হল সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের একটি গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপ যা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের উপর এপিটাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি করে, যেখানে ওয়েফারগুলি গ্রাফাইট সাসেপ্টরগুলিতে বহন করা হয়। গ্রাফাইট সাসেপ্টরদের গুণাবলী এপি-ওয়েফারের গুণমানের জন্য মূল স্নেহ।
সিলিকন কার্বাইড আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টর
সেমিকোরেক্স সমস্ত এপিটাক্সি রিঅ্যাক্টরের জন্য সাসেপ্টর এবং উপাদান সরবরাহ করে, সহব্যারেল susceptorsএবং প্যানকেক susceptors. আমরা উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট এবং CVD SiC আবরণ ব্যবহার করি।