ডিপোজিশন চেম্বারে একটি পরিষ্কার, নিষ্ক্রিয় এবং সুরক্ষিত পরিবেশ তৈরি করতে চেম্বারের ঢাকনা ব্যবহার করা হয়, তাই জমা বা এচ প্রক্রিয়ার সময় তারা প্লাজমা এবং উচ্চ তাপমাত্রার সংস্পর্শে আসে। সেমিকোরেক্স চেম্বারের ঢাকনাগুলি রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) পদ্ধতি ব্যবহার করে সিলিকন কার্বাইড দ্বারা প্রলিপ্ত টেকসই সিরামিক উপাদান, এই চ্যালেঞ্জিং পরিবেশে দাঁড়াতে দুর্দান্ত।