RTP/RTA SiC আবরণ বাহক

Semicorex RTP/RTA SiC আবরণ বাহক ডিপোজিশন পরিবেশের সবচেয়ে কঠিন পরিস্থিতি সহ্য করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে। এর উচ্চ তাপ এবং জারা প্রতিরোধের সাথে, এই পণ্যটি এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য সর্বোত্তম কর্মক্ষমতা প্রদানের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। SiC প্রলিপ্ত ক্যারিয়ারের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা RTA, RTP বা কঠোর রাসায়নিক পরিষ্কারের জন্য নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

MOCVD এপিটাক্সিয়াল গ্রোথের জন্য আমাদের RTP/RTA SiC আবরণ বাহক হল ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়াকরণের জন্য নিখুঁত সমাধান। একটি মসৃণ পৃষ্ঠ এবং রাসায়নিক পরিষ্কারের বিরুদ্ধে উচ্চ স্থায়িত্ব সহ, এই পণ্যটি কঠোর জমা পরিবেশে নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা প্রদান করে।
আমাদের RTP/RTA SiC আবরণ বাহকের উপাদান ফাটল এবং ডিলামিনেশন প্রতিরোধ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে, যখন উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের এবং তাপীয় অভিন্নতা RTA, RTP বা কঠোর রাসায়নিক পরিষ্কারের জন্য সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করে।
আমাদের RTP/RTA SiC আবরণ ক্যারিয়ার সম্পর্কে আরও জানতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন

RTP/RTA SiC আবরণ বাহকের পরামিতি

CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার	FCC β ফেজ
ঘনত্ব	g/cm ³	3.21
কঠোরতা	ভিকারস কঠোরতা	2500
শস্য আকার	μm	2~10
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	%	99.99995
তাপ ক্ষমতা	J kg-1 K-1	640
পরমানন্দ তাপমাত্রা	℃	2700
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ	MPa (RT 4-পয়েন্ট)	415
তরুণের মডুলাস	Gpa (4pt বাঁক, 1300℃)	430
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
তাপ পরিবাহিতা	(W/mK)	300

RTP/RTA SiC আবরণ বাহকের বৈশিষ্ট্য

উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট
উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের এবং তাপ অভিন্নতা
একটি মসৃণ পৃষ্ঠের জন্য সূক্ষ্ম SiC স্ফটিক প্রলিপ্ত
রাসায়নিক পরিষ্কারের বিরুদ্ধে উচ্চ স্থায়িত্ব
উপাদানটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে ফাটল এবং ডিলামিনেশন না ঘটে।