SiC এপিটাক্সি রিসেপ্টর

SiC Epitaxy সাসেপ্টর হল একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা MOCVD সরঞ্জামগুলিতে একক ক্রিস্টাল সাবস্ট্রেটকে সমর্থন এবং গরম করতে ব্যবহৃত হয়। এর উচ্চতর কর্মক্ষমতা পরামিতি যেমন তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় অভিন্নতা এপিটাক্সিয়াল উপাদান বৃদ্ধির গুণমানে একটি নির্ধারক ভূমিকা পালন করে, পাতলা ফিল্ম উপকরণগুলিতে উচ্চ স্তরের অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করে।

SiC Epitaxy সাসেপ্টর চমৎকার ঘনত্বের অধিকারী, উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে কার্যকর সুরক্ষা প্রদান করে। উপরন্তু, এর উচ্চ স্তরের পৃষ্ঠের সমতলতা নিখুঁতভাবে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে একক স্ফটিক বৃদ্ধির প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

SiC Epitaxy সাসেপ্টরের তাপ সম্প্রসারণ পার্থক্যের ন্যূনতম সহগ উল্লেখযোগ্যভাবে এপিটাক্সিয়াল সাবস্ট্রেট এবং আবরণ উপাদানের মধ্যে বন্ধন শক্তি বাড়ায়, এইভাবে উচ্চ-তাপমাত্রা তাপ সাইক্লিং অভিজ্ঞতার পরে ক্র্যাকিংয়ের সম্ভাবনা হ্রাস করে।

একই সাথে, এটি উচ্চ তাপ পরিবাহিতা প্রদর্শন করে, চিপ বৃদ্ধির জন্য দ্রুত এবং অভিন্ন তাপ বিতরণের সুবিধা দেয়। অধিকন্তু, এর উচ্চ গলনাঙ্ক, তাপমাত্রা প্রতিরোধের, জারণ প্রতিরোধের, এবং জারা প্রতিরোধের উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে স্থিতিশীল অপারেশন সক্ষম করে।

MOCVD সরঞ্জামগুলির প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসাবে, SiC Epitaxy সাসেপ্টরকে অবশ্যই উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, অভিন্ন তাপ পরিবাহিতা, ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং তাপীয় শকের শক্তিশালী প্রতিরোধের মতো সুবিধা থাকতে হবে। Semicorex SiC Epitaxy Susceptor এই সমস্ত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।