সেমিকোরেক্স গ্রাফাইট সাসেপ্টর চীনে উচ্চ তাপ এবং জারা প্রতিরোধের সাথে এপিটাক্সি সরঞ্জামের জন্য বিশেষভাবে প্রকৌশলী। আমাদের GaN-on-SiC সাবস্ট্রেট সাসেপ্টরগুলির একটি ভাল মূল্য সুবিধা রয়েছে এবং ইউরোপ ও আমেরিকার অনেক বাজারকে কভার করে৷ আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
পাতলা ফিল্ম জমার পর্যায় বা ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত GaN-on-SiC সাবস্ট্রেট ওয়েফার ক্যারিয়ারগুলিকে অবশ্যই উচ্চ তাপমাত্রা এবং কঠোর রাসায়নিক পরিষ্কার সহ্য করতে হবে। সেমিকোরেক্স উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC প্রলিপ্ত GaN-অন-SiC সাবস্ট্রেট সাসেপ্টর সরবরাহ করে উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের, এমনকি সামঞ্জস্যপূর্ণ epi স্তরের বেধ এবং প্রতিরোধের জন্য তাপীয় অভিন্নতা এবং টেকসই রাসায়নিক প্রতিরোধের জন্য। সূক্ষ্ম SiC স্ফটিক আবরণ একটি পরিষ্কার, মসৃণ পৃষ্ঠ প্রদান করে, যা পরিচালনার জন্য গুরুত্বপূর্ণ কারণ আদি ওয়েফারগুলি তাদের সমগ্র অঞ্চল জুড়ে অনেক পয়েন্টে সাসেপ্টরের সাথে যোগাযোগ করে।
Semicorex-এ, আমরা আমাদের গ্রাহকদের উচ্চ-মানের, সাশ্রয়ী পণ্য সরবরাহ করার উপর ফোকাস করি। আমাদের GaN-on-SiC সাবস্ট্রেট সাসেপ্টরের দামের সুবিধা রয়েছে এবং অনেক ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারে রপ্তানি করা হয়। আমরা আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হতে লক্ষ্য রাখি, ধারাবাহিক মানের পণ্য এবং ব্যতিক্রমী গ্রাহক পরিষেবা সরবরাহ করা।
GaN-on-SiC সাবস্ট্রেট সাসেপ্টরের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
GaN-on-SiC সাবস্ট্রেট সাসেপ্টরের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।