সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে, ফটোলিথোগ্রাফি এবং পাতলা-ফিল্ম ডিপোজিশনের সাথে এচিং একটি প্রধান পদক্ষেপ। এটি রাসায়নিক বা শারীরিক পদ্ধতি ব্যবহার করে একটি ওয়েফার পৃষ্ঠ থেকে অবাঞ্ছিত উপকরণ অপসারণ জড়িত। এই পদক্ষেপটি আবরণ, ফটোলিথোগ্রাফি এবং বিকাশের পরে সঞ্চালিত হয়। এটি উন্মুক্ত পাতলা ফিল্ম উপাদান অপসারণ ......
আরও পড়ুনSiC সাবস্ট্রেটের মাইক্রোস্কোপিক ত্রুটি থাকতে পারে, যেমন থ্রেডিং স্ক্রু ডিসলোকেশন (TSD), থ্রেডিং এজ ডিসলোকেশন (TED), বেস প্লেন ডিসলোকেশন (BPD) এবং অন্যান্য। এই ত্রুটিগুলি পারমাণবিক স্তরে পরমাণুর বিন্যাসে বিচ্যুতির কারণে ঘটে। SiC স্ফটিকগুলিরও ম্যাক্রোস্কোপিক স্থানচ্যুতি থাকতে পারে, যেমন Si বা C অন্তর্......
আরও পড়ুনগবেষণার ফলাফল অনুসারে, TaC আবরণ গ্রাফাইট উপাদানের আয়ু বাড়াতে, রেডিয়াল তাপমাত্রার অভিন্নতা উন্নত করতে, SiC পরমানন্দ স্টোইচিওমেট্রি বজায় রাখতে, অপরিচ্ছন্নতা স্থানান্তর দমন করতে এবং শক্তি খরচ কমাতে সুরক্ষা এবং বিচ্ছিন্নতা স্তর হিসাবে কাজ করতে পারে। শেষ পর্যন্ত একটি TaC-কোটেড গ্রাফাইট ক্রুসিবল সেট S......
আরও পড়ুন