8 ইঞ্চি ওয়েফারহোল্ডার রিং

সেমিকোরেক্স 8-ইঞ্চি ওয়েফারহোল্ডার রিংগুলি গুরুত্বপূর্ণ তাপ, এচিং এবং ডিপোজিশন প্রক্রিয়াগুলির মাধ্যমে নিরাপদে সিলিকন ওয়েফারগুলি সুরক্ষিত এবং সমর্থন করার উদ্দেশ্যে সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং হার্ডওয়্যার কাটিং-এজ হ'ল। একটি ঘন সঙ্গে উচ্চ মানের গ্রাফাইট থেকে নির্মিতসিলিকন কার্বাইডের লেপ (সিক)অতিরিক্ত শক্তির জন্য, ওয়েফার হোল্ডার রিং উচ্চতর তাপীয় স্থায়িত্ব, রাসায়নিক প্রতিরোধের এবং যান্ত্রিক শক্তি দেয়, এটি উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশ যেমন সিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন), পিইসিভিডি এবং এপিটিএক্সি সিস্টেমগুলিতে ব্যবহারের জন্য আদর্শ উপস্থাপন করে।

মূল বৈশিষ্ট্য:

উপাদান রচনা:

সাবস্ট্রেট উপাদান হয়উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট, যা উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং কাঠামোগত একজাতীয়তার জন্য নির্বাচিত হয়। উচ্চ ঘনত্ব এবং ইউনিফর্মসিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) ফিল্ম লেপপৃষ্ঠে প্রয়োগ করা হয়, এটি জারণ এবং রাসায়নিক আক্রমণে উচ্চ প্রতিরোধের প্রদর্শন করে এমনকি 1000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডের বেশি উচ্চতর তাপমাত্রায়ও। মিশ্রণটিতে দীর্ঘ সময়কালের একটি বালুচর জীবন এবং ওয়েফারগুলির দূষণের ন্যূনতম ঝুঁকি রয়েছে।

সুরক্ষিত ওয়েফার অবস্থান

বিশেষত 8 ইঞ্চি (200 মিমি) ওয়েফারগুলি ধরে রাখার জন্য ডিজাইন করা, ওয়েফারহোল্ডার রিংটি যথাযথ সহনশীলতা এবং একটি সর্বোত্তমভাবে ডিজাইন করা অভ্যন্তরীণ জ্যামিতি রাখে যা সুরক্ষিতভাবে ওয়েফারটি আঁকড়ে ধরতে পারে। তাপ সাইক্লিং এবং গ্যাস প্রবাহের সময় রিংটি অবস্থানে স্থিতিশীল থাকে, মাইক্রো-আন্দোলনকে হ্রাস করে যা কণা সৃষ্টি বা ওয়েফার ভাঙ্গনের দিকে পরিচালিত করতে পারে।

তাপীয় অভিন্নতা:

গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের অন্তর্নিহিত তাপ পরিবাহিতা এবং এসআইসি লেপের স্থায়িত্ব ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর ধারাবাহিক তাপ স্থানান্তর নিশ্চিত করে। এর ফলে ধারাবাহিক প্রক্রিয়া ফলাফল, তাপীয় চাপ হ্রাস এবং আরও ভাল ডিভাইসের ফলন ঘটে।

রাসায়নিক এবং প্লাজমা প্রতিরোধের:

এসআইসি পৃষ্ঠটি গ্রাফাইট কোরকে কঠোর প্রক্রিয়া প্লাজমাস এবং গ্যাসগুলি থেকে রক্ষা করে, বারবার প্রক্রিয়া চক্রগুলিতে প্রতিরোধের প্রস্তাব দেয়। রাসায়নিক জড়তা বিশেষত ক্ষয়কারী হ্যালোজেনযুক্ত ইটান্ট বা প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস পরিবেশে উপকারী।

কাস্টমাইজেশন উপলব্ধ:

8 ইঞ্চি ওয়েফারহোল্ডার রিংগুলি নির্দিষ্ট সরঞ্জাম বা প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে কাস্টম ডিজাইন করা যেতে পারে, অর্থাত্, প্রান্ত সমর্থন ডিজাইনের বিভিন্নতা, স্লটের অবস্থান এবং মাউন্টিং কনফিগারেশন। আমাদের ডিজাইনাররা প্রতিটি ব্যবহারের জন্য সর্বোচ্চ পারফরম্যান্স সরবরাহ করতে OEMS এবং FABS এর সাথে কাজ করে।

অ্যাপ্লিকেশন:

• এলপিসিভিডি / পিইসিভিডি / এপিসিভিডি
• এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়া
• ডিফিউশন চুল্লি
• উচ্চ-তাপমাত্রা অ্যানিলিং
• অন্যান্য অর্ধপরিবাহী তাপ প্রক্রিয়াকরণ সিস্টেম

প্রতি 8 ইঞ্চি ওয়েফারহোল্ডার রিংগুলি ডাইমেনশন নির্ভুলতা যাচাইকরণ, লেপ আঠালো পরীক্ষা এবং তাপ সাইক্লিং যোগ্যতার মতো কঠোর পরিদর্শন করে। আমাদের উন্নত উত্পাদন প্রযুক্তি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের উচ্চ চাহিদা পূরণের জন্য অভিন্ন এসআইসি লেপ বেধ এবং সর্বোত্তম পৃষ্ঠ সমাপ্তি নিশ্চিত করে।

সেমিকোরেক্স 8 ইঞ্চি ওয়েফারহোল্ডার রিংগুলি (এসআইসি-লেপযুক্ত গ্রাফাইট) পরবর্তী প্রজন্মের অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের জন্য একটি প্রয়োজনীয় সরঞ্জাম, যান্ত্রিক নির্ভুলতা, উপাদান স্থায়িত্ব এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা সরবরাহ করে। প্রক্রিয়া সরঞ্জাম আপগ্রেড থেকে শুরু করে পরবর্তী প্রজন্মের ওয়েফার প্ল্যাটফর্মগুলি নির্মাণ পর্যন্ত, এই পণ্যটি আজকের দাবিদার উত্পাদন পরিবেশকে সক্ষম করার জন্য প্রয়োজনীয় নির্ভরযোগ্যতা এবং কার্যকারিতা সরবরাহ করে।