8। ইঞ্চি এপিআই সমর্থক

সেমিকোরেক্স 8 ইঞ্চি ইপিআই সংবেদনশীল একটি উচ্চ প্রযুক্তির ওয়েফার সমর্থন অংশ যা সেমিকন্ডাক্টর তৈরির জন্য এপিট্যাক্সিয়াল ডিপোজিশন অপারেশনে ব্যবহৃত হয়। এটি এপিট্যাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টরগুলিতে ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) এর ঘন, অবিচ্ছিন্ন অভিন্ন স্তর দিয়ে লেপযুক্ত পর্যাপ্ত পরিমাণে গ্রাফাইট কোর উপাদান দিয়ে তৈরি করা হয় যেখানে তাপীয় স্থায়িত্ব, রাসায়নিক প্রতিরোধের এবং জবানবন্দির অভিন্নতা গুরুত্বপূর্ণ। 8 ইঞ্চি ব্যাসটি সরঞ্জামগুলির জন্য শিল্পের নির্দিষ্টকরণের সাথে মানক করা হয় যা 200 মিমি ওয়েফারগুলিকে প্রক্রিয়া করে এবং তাই বিদ্যমান বানোয়াট মাল্টিটাস্কিংয়ে নির্ভরযোগ্য সংহতকরণ সরবরাহ করে।  

এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য একটি উচ্চ নিয়ন্ত্রিত তাপীয় পরিবেশ এবং তুলনামূলকভাবে জড় উপাদান মিথস্ক্রিয়া প্রয়োজন। উভয় ক্ষেত্রে এসআইসি লেপা গ্রাফাইট ইতিবাচকভাবে সম্পাদন করবে। গ্রাফাইট কোরটিতে খুব উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা এবং খুব কম তাপীয় প্রসারণ রয়েছে, যার অর্থ পর্যাপ্ত নকশাকৃত হিটিং উত্স সহ যা গ্রাফাইট কোর থেকে তাপ দ্রুত স্থানান্তরিত হতে পারে এবং ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে ধারাবাহিক তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টগুলি বজায় রাখতে পারে। এসআইসির বাইরের স্তরটি সংবেদনশীলের বাইরের শেল কার্যকর হয়। এসআইসি স্তরটি সংবেদনশীল কোরকে উচ্চ তাপমাত্রা থেকে রক্ষা করে, প্রক্রিয়া গ্যাসের ক্ষয়কারী উপজাতগুলি যেমন হাইড্রোজেন, ক্লোরিনযুক্ত সিলেনের অত্যন্ত ক্ষয়কারী বৈশিষ্ট্য এবং পুনরাবৃত্তি গরম করার চক্রের কারণে যান্ত্রিক পরিধানের সংশ্লেষিত প্রকৃতির কারণে যান্ত্রিক ধ্বংস। সামগ্রিকভাবে আমরা যুক্তিসঙ্গতভাবে ভবিষ্যদ্বাণী করতে পারি যে যতক্ষণ না এই দ্বৈত উপাদান কাঠামোটি যথেষ্ট পরিমাণে ঘন হয় ততক্ষণ সংবেদনশীল দীর্ঘায়িত গরমের সময়কালে যান্ত্রিকভাবে শব্দ এবং রাসায়নিকভাবে জড় উভয়ই থাকবে। উপসংহারে, আমরা প্রাসঙ্গিক তাপীয় রেঞ্জগুলির মধ্যে অপারেটিং করার সময় এটি অনুগতভাবে এটি পর্যবেক্ষণ করেছি এবং এসআইসি স্তরটি প্রক্রিয়া এবং গ্রাফিক্স কোরের মধ্যে একটি নির্ভরযোগ্য বাধা সরবরাহ করে, সরঞ্জাম পরিষেবার দৈর্ঘ্যকে সর্বাধিকীকরণের সময় পণ্যের মানের জন্য সর্বাধিক সুযোগ দেয়।

গ্রাফাইট উপাদানগুলির অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে একটি প্রয়োজনীয় এবং অবিশ্বাস্যভাবে গুরুত্বপূর্ণ অংশ রয়েছে এবং গ্রাফাইট উপাদানগুলির গুণমানটি পণ্যের কার্য সম্পাদনের একটি উল্লেখযোগ্য কারণ। সেমিকোরেক্সে আমাদের উত্পাদন প্রক্রিয়াটির প্রতিটি ধাপে আমাদের কঠোর নিয়ন্ত্রণ রয়েছে যাতে আমরা ব্যাচ থেকে ব্যাচ পর্যন্ত অত্যন্ত পুনরুত্পাদনযোগ্য উপাদান সমজাতীয়তা এবং ধারাবাহিকতা থাকতে পারি। আমাদের ছোট ব্যাচ উত্পাদন প্রক্রিয়া সহ, আমাদের কাছে কেবলমাত্র 50 ঘনমিটার চেম্বারের ভলিউম সহ ছোট কার্বনাইজেশন চুল্লি রয়েছে, যা আমাদের উত্পাদন প্রক্রিয়াতে আরও কঠোর নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখতে দেয়। প্রতিটি গ্রাফাইট ব্লক পৃথক পর্যবেক্ষণ করে, আমাদের পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে ট্র্যাকযোগ্য। চুল্লির মধ্যে মাল্টি-পয়েন্ট তাপমাত্রা পর্যবেক্ষণ ছাড়াও, আমরা উপাদান পৃষ্ঠের তাপমাত্রা ট্র্যাক করি, উত্পাদন প্রক্রিয়া জুড়ে খুব সংকীর্ণ পরিসরে তাপমাত্রা বিচ্যুতি হ্রাস করি। তাপ পরিচালনার প্রতি আমাদের মনোযোগ আমাদের অভ্যন্তরীণ চাপকে হ্রাস করতে এবং অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য অত্যন্ত স্থিতিশীল এবং পুনরুত্পাদনযোগ্য গ্রাফাইট উপাদানগুলি উত্পাদন করতে দেয়।

এসআইসি লেপ রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) এর মাধ্যমে প্রয়োগ করা হয় এবং একটি সূক্ষ্ম, পরিষ্কার সমাপ্ত পৃষ্ঠ তৈরি করে যা একটি সূক্ষ্ম-শস্য ম্যাট্রিক্স সহ কণা উত্পাদনকে হ্রাস করে; এবং তাই, পরিষ্কার সিভিডি প্রক্রিয়াটি বাড়ানো হয়। প্রলিপ্ত ফিল্মের বেধের সিভিডি প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণটি অভিন্নতার আশ্বাস দেয় এবং তাপ সাইক্লিংয়ের মাধ্যমে সমতলতা এবং মাত্রিক স্থিতিশীলতার জন্য গুরুত্বপূর্ণ। এটি শেষ পর্যন্ত দুর্দান্ত ওয়েফার প্ল্যানারিটি সরবরাহ করে, যার ফলে এপিট্যাক্সি প্রক্রিয়া চলাকালীন সর্বাধিক স্তর জবানবন্দি ঘটে-উচ্চ-পারফরম্যান্স সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস যেমন পাওয়ার মোসফেটস, আইজিবিটিএস এবং আরএফ উপাদানগুলি অর্জনের জন্য একটি মূল পরামিতি।

ডাইমেনশনাল ধারাবাহিকতাটি সেমিকোরেক্স দ্বারা উত্পাদিত 8 ইঞ্চি ইপিআই সংবেদনশীলের আরও একটি মৌলিক সুবিধা। সংবেদনশীলটি কঠোর সহনশীলতার জন্য ইঞ্জিনিয়ারড হয় যার ফলে ওয়েফার হ্যান্ডলিং রোবট এবং হিটিং জোনগুলিতে একটি নির্ভুলতা ফিটের সাথে দুর্দান্ত সামঞ্জস্য হয়। সংবেদনশীল পৃষ্ঠটি নির্দিষ্ট এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লিটির নির্দিষ্ট তাপ এবং প্রবাহের অবস্থার সাথে পালিশ এবং কাস্টমাইজ করা হয় যা সংবেদনশীলকে মোতায়েন করা হবে। বিকল্পগুলির জন্য, উদাহরণস্বরূপ লিফট পিন গর্ত, পকেট রিসেসস বা অ্যান্টি-স্লিপ পৃষ্ঠগুলি সমস্তই OEM সরঞ্জাম ডিজাইন এবং প্রক্রিয়াগুলির নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তার সাথে মিলে যেতে পারে।

প্রতিটি সংবেদনশীল উত্পাদনের সময় তাপীয় কর্মক্ষমতা এবং লেপ অখণ্ডতা উভয়ের জন্য একাধিক পরীক্ষা করে। ডাইমেনশনাল পরিমাপ এবং যাচাইকরণ, লেপ আঠালো পরীক্ষা, তাপ শক প্রতিরোধের পরীক্ষা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধের পরীক্ষা সহ গুণমান নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতিগুলি নির্ভরযোগ্যতা এবং কর্মক্ষমতা এমনকি আক্রমণাত্মক এপিট্যাক্সিয়াল পরিবেশে অর্জন করা হয় তা নিশ্চিত করার জন্য প্রয়োগ করা হয়। ফলাফলটি এমন একটি পণ্য যা শেষ পর্যন্ত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন শিল্পের বর্তমান চাহিদা প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে এবং ছাড়িয়ে যায়।

সেমিকোরেক্স 8 ইঞ্চি ইপিআই সংবেদনশীল এসআইসি লেপযুক্ত গ্রাফাইট থেকে তৈরি করা হয় যা তাপীয় পরিবাহিতা, যান্ত্রিক অনমনীয়তা এবং রাসায়নিক জড়তাগুলিকে ভারসাম্যপূর্ণ করে। উচ্চ-ফলন, উচ্চ-অভিন্নতা সংজ্ঞায়িত এপিট্যাক্সিয়াল প্রক্রিয়াগুলিতে স্থিতিশীল, পরিষ্কার, ওয়েফার সমর্থন উত্পাদন করতে সাফল্যের কারণে 8 ইঞ্চি সংবেদনশীল উচ্চ-ভলিউম এপিট্যাক্সি গ্রোথ অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য একটি মূল উপাদান। ইপিআই সংবেদনশীলের 8 ইঞ্চি আকারটি সাধারণত বাজারে স্ট্যান্ডার্ড 8 ইঞ্চি সরঞ্জামগুলিতে দেখা যায় এবং বিদ্যমান গ্রাহকদের সরঞ্জামগুলির সাথে বিনিময়যোগ্য। এর স্ট্যান্ডার্ড কনফিগারেশনে EPI সংজ্ঞাটি অত্যন্ত কাস্টমাইজযোগ্য।