সিলিকন এচিং রিং

সিলিকন এচিং রিং হল CCP/ICP এচ ইকুইপমেন্টের প্লাজমা এচ চেম্বারের অত্যাবশ্যকীয় উপাদান এবং সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের চারপাশে স্থাপন করা হয়। তাদের প্রাথমিক কাজগুলি হল সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারকে সমর্থন করা, অভিন্ন প্লাজমা বিতরণ বজায় রাখা, ওয়েফার প্রান্ত রক্ষা করা এবং এইভাবে প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়ার জন্য সর্বোত্তম অপারেটিং অবস্থা তৈরি করতে সহায়তা করা।

সেমিকোরেক্স সিলিকন এচিং রিং এর সুবিধা

1. প্রিমিয়াম উপাদান নির্বাচন

সেমিকোরেক্স সিলিকন এচিং রিংগুলি সাবধানে নির্বাচিত উচ্চ-বিশুদ্ধতা MCZ থেকে তৈরি করা হয়মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন, যা প্রচলিত CZ মনোক্রিস্টালাইন সিলিকনের উপর নিম্নলিখিত চমৎকার বৈশিষ্ট্যগুলি অফার করে।

উচ্চ বিশুদ্ধতা: বিশুদ্ধতা 99.9999999% এর বেশি, যার অর্থ সেমিকোরেক্স সিলিকন এচিং রিংগুলিতে প্রায় কোনও অমেধ্য নেই৷ এই অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা কার্যকরভাবে এচিং প্রক্রিয়ার সময় উপাদানের অমেধ্য থেকে হস্তক্ষেপ এড়াতে পারে, যার ফলে উচ্চ এচিং নির্ভুলতার গ্যারান্টি দেয়।

স্থিতিশীল কাঠামো: MCZ মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন প্রচলিত CZ মনোক্রিস্টালাইন সিলিকনের চেয়ে কম ত্রুটি সহ একটি উচ্চতর স্ফটিক কাঠামো বৈশিষ্ট্যযুক্ত। এই স্থিতিশীল স্ফটিক কাঠামোটি সেমিকোরেক্স সিলিকন এচিং রিংগুলিকে প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধে উন্নত জারা প্রতিরোধ করে এবং তাদের কঠোর এচিং অপারেটিং অবস্থা সহ্য করতে সক্ষম করে।

চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা অভিন্নতা:সেমিকোরেক্স সিলিকন এচিং রিংRRG <5% এর সাথে ব্যতিক্রমী প্রতিরোধের অভিন্নতা প্রদান করুন। কম রেজোলিউশন (<0.02 Ω·সেমি), মধ্য রেস। (0.2–25 Ω·সেমি), উচ্চ রেজোলিউশন। (>100 Ω·সেমি)। এই চমৎকার প্রতিরোধ ক্ষমতা অভিন্নতা অত্যধিক উচ্চ বা নিম্ন প্রতিরোধ ক্ষমতা দ্বারা সৃষ্ট অসম প্লাজমা বন্টন কমিয়ে দিতে পারে, যা উচ্চ-নির্ভুল প্লাজমা এচিং এর জন্য একটি আদর্শ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রে অবদান রাখে।

2. যথার্থ প্রক্রিয়াকরণ এবং কঠোর মানের পরিদর্শন

সেমিকোরেক্স একটি অভিজ্ঞ প্রযুক্তিগত দল নিয়ে গর্ব করে যা আমাদের মূল্যবান গ্রাহকদের জন্য ব্যক্তিগতকৃত কাস্টমাইজেশন এবং প্রযুক্তিগত মূল্যায়ন প্রদান করতে পারে এবং পণ্যের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য পদ্ধতিগত প্রক্রিয়াকরণ এবং পরিদর্শন পদ্ধতিও প্রতিষ্ঠা করেছে।

নমনীয় কাস্টমাইজেশন পরিষেবা: সেমিকোরেক্স গ্রাহকের আঁকার উপর ভিত্তি করে কাস্টমাইজেশন সমর্থন করে এবং সিলিকন এচিং রিংগুলির সর্বাধিক কাস্টম ব্যাস 470 মিমি পর্যন্ত হতে পারে।

উচ্চ-মান সারফেস ট্রিটমেন্ট: পলিশিং নির্ভুলতা কঠোরভাবে Ra <0.1 µm এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে এবং সূক্ষ্ম গ্রাইন্ডিং Ra > 0.1 µm এর পৃষ্ঠের ফিনিস অর্জন করে।

কঠোর গুণমান পরিদর্শন: সিলিকন এচিং রিংগুলি চিপস, স্ক্র্যাচ, ফাটল, দাগ এবং অন্যান্য ত্রুটি থেকে মুক্ত রয়েছে তা নিশ্চিত করার জন্য মাত্রিক পরিমাপ, প্রতিরোধ ক্ষমতা পরীক্ষা এবং চাক্ষুষ পরিদর্শন করা হবে।