সেমিকোরেক্স সিলিকন ওয়েফার বোট একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতার বাহক যা সেমিকন্ডাক্টর উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লিগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা 1200-1250 °C তাপমাত্রায় অক্সিডেশন এবং হ্রাস প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারকে সমর্থন করে। সেমিকোরেক্স উচ্চতর পণ্য, অতি-পরিচ্ছন্ন কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্য ফলাফল প্রদান করে যা সরাসরি ডিভাইসের ফলন বাড়ায়।*
Semicorex খাঁজ রড আকৃতি, খাঁজ দাঁতের দৈর্ঘ্য, আকৃতি, কাত কোণ, এবং মোট ওয়েফার লোডিং ক্ষমতা সহ সিলিকন ওয়েফার বোটের গঠন কাস্টমাইজ করতে পারে এবং গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী উত্পাদিত হতে পারে। উচ্চ-তাপমাত্রার সিলিকন বোটগুলি কার্যকরভাবে সিলিকন ওয়েফারগুলির সাথে যোগাযোগের ক্ষতি কমাতে পারে এবং প্রক্রিয়ার ফলন উন্নত করতে পারে। এর হাই-টেম্প "স্লিপ-ফ্রি টাওয়ারস" ডিজাইন শুধুমাত্র সাপোর্টিং দাঁতের ডগায় ওয়েফার সমর্থন করে। তুলনায়সিলিকন কার্বাইড, সিলিকনের একটি অপেক্ষাকৃত কম কঠোরতা রয়েছে, যা ওয়েফারগুলির যান্ত্রিক ক্ষতি হ্রাস করে, যার ফলে জালি পাসের হার উন্নত হয় এবং কার্যকরভাবে উত্পাদন খরচ হ্রাস করে। ফিউজড সিলিকন বোটটি বিভিন্ন অংশের সমন্বয়ে গঠিত: দাঁত, বেস প্লেট এবং টপ প্লেট, যা একসাথে মিশ্রিত হয়। এতে উৎপাদন খরচ কমে যায়। আংশিক ক্ষতির ক্ষেত্রে, ক্ষতিগ্রস্ত অংশগুলি সম্পূর্ণ সিলিকন নৌকা প্রতিস্থাপন না করেই প্রতিস্থাপন করা যেতে পারে, ব্যবহারের সময় মালিকানা খরচ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে। এছাড়াও, সিলিকন বোটে পলিসিলিকন জমার জন্য একটি বড় উপরের সীমা রয়েছে, যা কার্যকরভাবে পিএম সরঞ্জামের ফ্রিকোয়েন্সি কমাতে এবং উত্পাদন ক্ষমতা উন্নত করতে পারে।
সেমিকোরেক্স সিলিকন ওয়েফার বোট একটি উদ্ভাবনী, উদ্দেশ্য-পরিকল্পিত, ওয়েফার ক্যারিয়ার। এটি বিশেষভাবে অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যবহৃত উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লি প্রক্রিয়াকরণের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যার মধ্যে 1200 এবং 1250 ডিগ্রি সেলসিয়াসের মধ্যে তাপমাত্রায় অক্সিডেশন এবং হ্রাস প্রক্রিয়া সহ। সিলিকন কার্বাইড (SiC) উপাদানে উপলভ্য নয় এমন কর্মক্ষমতা সুবিধার বৈশিষ্ট্যযুক্ত, সিলিকন ওয়েফার বোট অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের জন্য প্রয়োজনীয় কঠোর প্রক্রিয়াগুলির সাথে প্রাসঙ্গিক সুবিধা প্রদান করে। প্রথমত, সিলিকন উপাদানের অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা উল্লেখযোগ্য; আসলে,সিলিকন উপাদানSiC উপাদানের সাথে তুলনা করলে এর নিম্ন কঠোরতা বৈশিষ্ট্য। SiC বার বা নৌকা কঠোরতা এবং শক্তির জন্য পরিচিত, কিন্তু খুব সম্পত্তি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময় অসুবিধার কারণ হতে পারে। উচ্চ তাপমাত্রায়, ওয়েফারগুলি মাইক্রো-চলবে; তারা সামান্য বাউন্স হবে, সামান্য স্থানান্তরিত হবে, এবং নৌকার ভিতরে থাকাকালীন পাটা কিনারা করবে। একটি শক্ত, SiC উপাদান ওয়েফারের পিছনের অংশে কণা বা স্ক্র্যাচ তৈরির উচ্চ ঝুঁকি তৈরি করতে পারে কারণ ওয়েফার এবং বোটের বৈশিষ্ট্যগুলি এই উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ অবস্থার অধীনে মিথস্ক্রিয়া করে।
এর আরেকটি সুবিধাসিলিকন উপাদানSiC উপাদানের সাথে তুলনা করলে এর নিম্ন কঠোরতা বৈশিষ্ট্য। SiC বার বা নৌকা কঠোরতা এবং শক্তির জন্য পরিচিত, কিন্তু খুব সম্পত্তি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময় অসুবিধার কারণ হতে পারে। উচ্চ তাপমাত্রায়, ওয়েফারগুলি মাইক্রো-চলবে; তারা সামান্য বাউন্স হবে, সামান্য স্থানান্তরিত হবে, এবং নৌকার ভিতরে থাকাকালীন পাটা কিনারা করবে। একটি শক্ত, SiC উপাদান ওয়েফারের পিছনের অংশে কণা বা স্ক্র্যাচ তৈরির উচ্চ ঝুঁকি তৈরি করতে পারে কারণ ওয়েফার এবং বোটের বৈশিষ্ট্যগুলি এই উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়াকরণ অবস্থার অধীনে মিথস্ক্রিয়া করে।
সিলিকন ওয়েফার বোট SiC-এর সাথে সিলিকনের তুলনামূলক নরম চরিত্রের সুবিধা গ্রহণ করে এই উদ্বেগ দূর করে। কঠোরতা হ্রাস উভয়ই কম ঘর্ষণ এবং যান্ত্রিক চাপের জন্য অনুমতি দেয় যখন ওয়েফারগুলি তাপচক্রের সময় নৌকার সাথে যোগাযোগ করে। ফলস্বরূপ, কণা কম ঘন ঘন উত্পন্ন হয় এবং পিছনের স্ক্র্যাচের ঝুঁকি প্রায় শূন্যে কমে যায়। তদ্ব্যতীত, পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলি হ্রাস করে, সিলিকন ওয়েফার বোট সরাসরি জালির গুণমান উন্নত করে এবং প্রক্রিয়াকৃত ওয়েফারগুলির সামগ্রিক যোগ্যতার হার বাড়ায়। সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলির জন্য যারা সর্বোচ্চ গুণমান নিয়ন্ত্রণের সাথে ফলন উন্নত করতে চায়, এই কর্মক্ষমতার অবস্থা সিলিকন বোটকে একটি আকর্ষণীয় বিকল্প করে তোলে।
সিলিকন উচ্চ তাপমাত্রায় ভাল স্থিতিশীলতা এবং যান্ত্রিক শক্তি সরবরাহ করে, বারবার চুল্লি চক্রের সময় নৌকাকে নির্ভরযোগ্যভাবে পরিবেশন করতে দেয়। উপাদান গরম এবং শীতল চক্রের সময় ওয়ারিং প্রতিরোধ করে, এবং এইভাবে, দ্রুত চুল্লি চক্রের সময়ও সুনির্দিষ্ট ওয়েফার স্থাপন এবং অবস্থান সহনশীলতা বজায় রাখে। এই তাপীয় দৃঢ়তা নির্ভরযোগ্য প্রক্রিয়া ফলাফল প্রদান করে যা রানের মধ্যে ন্যূনতম পার্থক্য সহ উচ্চ আয়তনের উৎপাদনের জন্য যথেষ্ট সামঞ্জস্যপূর্ণ। সিলিকন ওয়েফার বোটটি সুসংগত ওয়েফার পজিশনিং এবং প্লেসমেন্ট নিশ্চিত করার জন্য উচ্চ মাত্রিক নির্ভুলতার সাথে নির্মিত। মসৃণ পৃষ্ঠ, ঘনিষ্ঠ জ্যামিতি এবং আঁটসাঁট সহনশীলতা তৈরি করতে উন্নত মেশিনিং এবং পলিশিং ব্যবহার করে নৌকাটি তৈরি করা হয়।