সিলিকন শিল্ড রিং

সেমিকোরেক্স সিলিকন শিল্ড রিং এচিং প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর উপাদান। এর প্রাথমিক কাজ হল ইলেক্ট্রোডকে ঘিরে রাখা এবং অত্যধিক প্লাজমা ফুটো প্রতিরোধ করা। বস্তুগত বিশুদ্ধতা 9N (99.9999999%) ছাড়িয়ে গেলে, শিল্ড রিংটি একক-ক্রিস্টাল এবং মাল্টি-ক্রিস্টাল উভয় দ্বারা তৈরি করা যেতে পারেসিলিকন, অতি-পরিষ্কার অপারেশন এবং উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার সাথে নির্ভরযোগ্য সামঞ্জস্য নিশ্চিত করা।

CCP/ICP এচিং প্রক্রিয়ায় সঠিক প্লাজমা নিয়ন্ত্রণ কার্যকরী, অভিন্ন এচ রেট এবং ওয়েফার মানের জন্য অপরিহার্য। কাঙ্ক্ষিত এচিং এলাকার বাইরে অনিয়ন্ত্রিত প্লাজমা ফুটো পৃষ্ঠের ক্ষয় এবং দূষণ তৈরি করতে পারে বা চেম্বারের ভিতরের উপাদানগুলিকে ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে। সিলিকন শিল্ড রিং এই সমস্যার একটি কার্যকরী, সহজ সমাধান, যা ইলেক্ট্রোডের বাইরের পরিধিতে একটি প্রতিরক্ষামূলক বাধা তৈরি করতে তৈরি করা হয়েছে, প্লাজমাকে লক্ষ্য এলাকার বাইরে ছড়িয়ে পড়া থেকে নিয়ন্ত্রণ করে এবং শুধুমাত্র কাঙ্খিত এলাকায় এচিংকে সীমাবদ্ধ রাখে। সিলিকন শিল্ড রিং প্লাজমা বিতরণকে স্থিতিশীল করতে এবং ওয়েফার পৃষ্ঠে আরও অভিন্ন শক্তি সক্ষম করতে বাইরের ইলেক্ট্রোড হিসাবে কাজ করে।

সিলিকনের তাপীয় এবং বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলি এচিং শিল্ড রিংয়ের কার্যকারিতাকে আরও সমর্থন করে। উচ্চ প্রক্রিয়ার তাপমাত্রার প্রতিরোধ ক্ষমতা দীর্ঘায়িত প্লাজমা এক্সপোজারের সময় কাঠামোগত অখণ্ডতা প্রদান করে এবং এর বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা উপাদানটিকে ইলেক্ট্রোড সিস্টেমের একটি উপাদান হিসাবে সঠিকভাবে কাজ করতে দেয়। একসাথে, এই অ্যাপ্লিকেশনগুলি প্লাজমা বন্দিত্বকে উন্নত করে এবং শক্তির অভিন্নতা উন্নত করে, যা ওয়েফার জুড়ে পুনরাবৃত্তিযোগ্য এচ প্রোফাইলের জন্য অনুমতি দেয়।

যান্ত্রিক সহনশীলতা হল সিলিকন এচিং শিল্ড রিং এর আরেকটি উল্লেখযোগ্য বৈশিষ্ট্য। আঁটসাঁট সহনশীলতায় তৈরি হয়ে, এটি ইলেক্ট্রোডের চারপাশে সঠিক অবস্থান নিশ্চিত করে এবং চেম্বারের ব্যবধান এবং জ্যামিতি বজায় রাখে। এই যান্ত্রিক নির্ভুলতা স্বতন্ত্র রানের মধ্যে কম পরিবর্তনশীলতার জন্য পুনরাবৃত্তিযোগ্য প্রক্রিয়া পরিস্থিতি তৈরি করে এবং উচ্চ-ভলিউম সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের অনুমতি দেয়। উপাদান নিজেই প্লাজমা পরিবেশের সাথে চমৎকার সামঞ্জস্য আছে; তাই এর গঠন ক্ষয় করে এটি সাধারণত দীর্ঘ সেবা জীবন এবং প্রক্রিয়া কর্মক্ষমতা স্থিতিশীলতা প্রদান করতে দেয়।

স্থায়িত্ব এবং ব্যয় কার্যকারিতা আরও দুটি মূল্যবান সুবিধা। রক্তরস থেকে চেম্বারের অপ্রয়োজনীয় অংশগুলিকে রক্ষা করার মাধ্যমে, ঢালের রিং অন্যান্য গুরুত্বপূর্ণ উপাদানগুলির পরিধান কমায়, যা রক্ষণাবেক্ষণের প্রচেষ্টাকে কম করে এবং সামগ্রিক অপারেশনাল আপটাইম বাড়ায়। দীর্ঘ পরিষেবা জীবন এবং কম ঘন ঘন প্রতিস্থাপন এটিকে উত্পাদনশীলতা বাড়াতে এবং এর ফলে অপারেটিং খরচ কমাতে সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলির জন্য একটি সাশ্রয়ী সমাধান করে তোলে।

দসিলিকনঢাল রিং প্রতিটি টুল কনফিগারেশন এবং প্রসেস স্পেসিফিকেশনের জন্যও কাস্টমাইজ করা যেতে পারে কারণ এগুলি বিভিন্ন আকার এবং জ্যামিতিতে পাওয়া যায় যা তৈরি করে এমন বিভিন্ন প্লাজমা এচিং চেম্বারগুলিকে মিটমাট করার জন্য, এখনও সর্বোত্তম ফিট অর্জন করে। অতিরিক্তভাবে, অতি-পরিচ্ছন্ন উত্পাদন মানগুলির জন্য কণা উত্পাদন আরও কমাতে পৃষ্ঠের চিকিত্সা এবং পলিশিং ব্যবহার করা যেতে পারে।