সিলিকন প্যাডেস্টাল বোট

সেমিকোরেক্স সিলিকন পেডেস্টাল বোট একটি অতি-পরিচ্ছন্ন ওয়েফার ক্যারিয়ার যা উচ্চ তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া যেমন অক্সিডেশন, ডিফিউশন এবং LPCVD (নিম্ন চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা) সমর্থন করার জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং নির্ভুলতার সাথে ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে। এই ওয়েফার ক্যারিয়ার 9N (99.9999999%) থেকে তৈরিউচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকনঅতি-পরিচ্ছন্ন পরিবেশে ব্যতিক্রমী পরিচ্ছন্নতা, সম্প্রসারণ স্থিতিশীলতার তাপীয় গুণাঙ্ক এবং ওয়েফার সমর্থনের জন্য যান্ত্রিক নির্ভুলতা এবং ধারাবাহিক প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করতে।

সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের জ্যামিতিগুলি ক্রমাগত সঙ্কুচিত হওয়ার কারণে, অতি-পরিষ্কার এবং তাপীয়ভাবে সামঞ্জস্যপূর্ণ ওয়েফার হ্যান্ডলিং উপাদানগুলির প্রয়োজনীয়তা এতটা চাহিদা ছিল না। সিলিকন পেডেস্টাল বোট উচ্চমাত্রিক নির্ভুলতা এবং অতুলনীয় বিশুদ্ধতার সাথে এই চাহিদাগুলিকে উন্নত ফার্নেস সিস্টেমে ব্যবহার করা হয় যা 1100°C এবং 1250°C এর মধ্যে কাজ করে।

সিলিকন নৌকা গঠন গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা মেটাতে কাস্টমাইজ করা যেতে পারে, যার মধ্যে খাঁজ বার আকৃতি, খাঁজ দাঁতের দৈর্ঘ্য, আকৃতি, কাত কোণ এবং মোট ওয়েফার লোডিং ক্ষমতা রয়েছে। উচ্চ-তাপমাত্রার সিলিকন বোটগুলি কার্যকরভাবে সিলিকন ওয়েফারগুলির সাথে যোগাযোগের ক্ষতি কমাতে পারে, প্রক্রিয়ার ফলন উন্নত করতে পারে। এর হাই-টেম্প "স্লিপ-ফ্রি টাওয়ারস" ডিজাইন শুধুমাত্র সাপোর্টিং দাঁতের ডগায় ওয়েফার সমর্থন করে। সিলিকন কার্বাইডের তুলনায়, সিলিকন তুলনামূলকভাবে কম শক্ত, ওয়েফারগুলির যান্ত্রিক ক্ষতি হ্রাস করে, যার ফলে জালির গুণমান উন্নত হয় এবং কার্যকরভাবে উত্পাদন খরচ হ্রাস করে।

প্যাডেস্টাল বোট পাওয়া যায়মনোক্রিস্টালাইন বা পলিক্রিস্টালাইন সিলিকনঅ-সিলিকন পদার্থের সাথে যুক্ত দূষণের ঝুঁকি অপসারণ করতে। প্ল্যাটফর্মটি সক্রিয়ভাবে ব্যবহৃত ওয়েফারগুলির মতো একই রাসায়নিক সংমিশ্রণ ভাগ করে, যা উচ্চ তাপমাত্রা প্রক্রিয়ার সময় অবাঞ্ছিত প্রতিক্রিয়া বা আয়ন বিচ্ছুরণকে হ্রাস করে। সামঞ্জস্যপূর্ণ উচ্চ ওয়েফার গুণমান এবং বারবার উত্পাদন চক্রের মাধ্যমে উচ্চ ডিভাইসের ফলনের জন্য উপাদানের একজাতীয়তা কণা এবং ধাতব অমেধ্যগুলির শারীরিক পরিচয়কে উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

সেমিকোরেক্স সিলিকন পেডেস্টাল বোটে সুনির্দিষ্টভাবে ডিজাইন করা ওয়েফার স্লট রয়েছে, উল্লম্ব সমর্থন কাঠামোর সাথে মিলিত, তা নিশ্চিত করে যে গরম করার চক্রের সময় ওয়েফারগুলি পুরোপুরি সারিবদ্ধ এবং ব্যবধানে থাকে। এর মাত্রিক স্থায়িত্ব অসামান্য, এটি নিশ্চিত করে যে প্যাডেস্টাল বোটটি চরম তাপমাত্রায় বাঁকা, বাঁকানো বা স্থানান্তরিত হবে না, প্রতিটি ওয়েফারের উপরে ভাল তাপমাত্রা এবং গ্যাস বিতরণের জন্য প্রদান করে। এই মাত্রিক স্থিতিশীলতার অবিলম্বে, জারণ এবং প্রসারণের সময় ফিল্মের বেধের অভিন্নতার উপর ইতিবাচক প্রভাব রয়েছে এবং কম ত্রুটির সংখ্যার পাশাপাশি আরও ভাল প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা প্রদান করে।

সিলিকন প্যাডেস্টাল বোটের প্রাথমিক সুবিধা হল এর অপ্টিমাইজ করা যান্ত্রিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্য। SiC বা কোয়ার্টজের তুলনায় সিলিকনের কঠোরতা উত্তপ্ত প্রসারণের সময় ওয়েফার কম্পন বা আন্দোলনের কারণে মাইক্রো-স্ক্র্যাচড এবং কণা তৈরি করতে সাহায্য করবে। এটি ব্যাকসাইড-সংবেদনশীল ওয়েফারগুলির জন্য বিশেষভাবে সত্য, যেখানে ওয়েফার পৃষ্ঠের অখণ্ডতা ফলন এবং ডিভাইসের কর্মক্ষমতার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

প্যাডেস্টাল বোটের ভাল তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ সম্প্রসারণের একটি কম গুণাঙ্ক রয়েছে যা একাধিক গরম এবং শীতল চক্রের সাথে আকৃতি এবং কাঠামোগত সুস্থতা বজায় রেখে তাপ স্থানান্তর বৈশিষ্ট্য সরবরাহ করে। দৃঢ় নকশা চরম চুল্লি অবস্থার মাধ্যমে ন্যূনতম বিকৃতি সহ একটি দীর্ঘ জীবন প্রদান করে।

সেমিকোরেক্স ওয়েফার ব্যাস, স্লট গণনা, পেডেস্টালের উচ্চতা এবং জ্যামিতি বৈচিত্র সহ বিভিন্ন সরঞ্জাম কনফিগারেশনের জন্য কাস্টম ডিজাইন সরবরাহ করে। প্রতিটি পণ্য বিশুদ্ধতা, মাত্রিক পরিমাপ এবং তাপ পরিবাহিতা পরীক্ষা করার জন্য পরিদর্শন করা হয়, সবই সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার সর্বোচ্চ মান পূরণের জন্য।

সিলিকন পেডেস্টাল বোট অক্সিডেশন এবং ডিফিউশন প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং সেইসাথে LPCVD এবং অ্যানিলিং অ্যাপ্লিকেশনগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ যার জন্য অপ্রতিরোধ্য তাপমাত্রা অভিন্নতা এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন। সিলিকন পেডেস্টাল বোট অন্যান্য সিলিকন ফার্নেস উপাদানগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ যেমন ইনজেক্টর টিউব, লাইনার টিউবরিমাল এবং রক্ষণাবেক্ষণের উপাদান, লাইনার টিউবরিওয়্যার এবং রক্ষণাবেক্ষণের উপাদান। সিস্টেম