সিলিকন বাঁকা ইলেকট্রোড

উন্নত এচিং ইকুইপমেন্টের সময়, সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোড সাধারণত এচিং চেম্বারের উপরে মাউন্ট করা হয়, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের দিকে মুখ করে। সিলিকন বাঁকানো ইলেক্ট্রোড সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, Si ফোকাস রিং, Si প্রান্ত রিং, Si নিষ্কাশন রিং, এবং Si শিল্ডিং রিংয়ের সাথে কাজ করে যাতে উচ্চ-নির্ভুলতা খোঁচানোর জন্য একটি সর্বোত্তম অপারেটিং শর্ত সরবরাহ করা হয়।

সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডের কাজ

1. জটিল 3D স্ট্রাকচার এচিং এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ

ব্যতিক্রমী 3D বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণ ক্ষমতা সহ, Semicorexসিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডজটিল কাঠামোর জ্যামিতিক বৈশিষ্ট্যের সাথে পুরোপুরি মেলে। বিশেষ বাঁকা নকশা সুনির্দিষ্ট প্লাজমা নিয়ন্ত্রণ এবং অপ্টিমাইজ করা শক্তি বন্টন সক্ষম করে, যা 3D স্ট্রাকচার এচিংয়ের দিক অনুপাত এবং সাইডওয়াল উল্লম্বতাকে উল্লেখযোগ্যভাবে প্রভাবিত করে এবং উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়া এবং 3D IC ইন্টিগ্রেশনের উত্পাদন লাইনের প্রয়োজনীয়তা সম্পূর্ণরূপে পূরণ করে।

2. Etch গ্যাস বিতরণের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ

সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডগুলি এচিং চেম্বারে প্রবেশ করার জন্য এচ গ্যাসের জন্য তাদের পৃষ্ঠে একাধিক সমানভাবে বিতরণ করা মাইক্রো-হোল বৈশিষ্ট্যযুক্ত। সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকানো ইলেক্ট্রোডগুলি এচিং গ্যাসের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ অর্জন করতে পারে এবং এটিকে এচিং চেম্বারে সমানভাবে বিতরণ করার অনুমতি দেয়, যার ফলে অ-ইউনিফর্ম গ্যাস বিতরণের কারণে প্রক্রিয়ার বৈচিত্রগুলি হ্রাস করা হয়।

সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডের সুবিধা

1. অতি উচ্চ বিশুদ্ধতা

সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডগুলি অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা একক-ক্রিস্টাল দিয়ে তৈরিসিলিকন99.9999999% এর উপরে বিশুদ্ধতা স্তর সহ, প্লাজমা ক্ষয়কে উচ্চতর প্রতিরোধের প্রস্তাব দেয়। এই উচ্চ-মানের উপাদান নির্বাচন কার্যকরভাবে অবাঞ্ছিত দূষণ এড়াতে পারে উপ-পণ্য খোঁচানোর ফলে সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডের পরিষেবা জীবন উল্লেখযোগ্যভাবে প্রসারিত করে।

2. চমৎকার বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য

এমসিজেড-উত্থিত একক-ক্রিস্টাল সিলিকন থেকে তৈরি, সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডগুলি দুর্দান্ত প্রতিরোধক অভিন্নতা প্রদর্শন করে: 5%, এবং একটি বিস্তৃত নির্বাচনযোগ্য প্রতিরোধের পরিসর: কম রেজোলিউশন। (<0.02), মাঝের রেস। (1-4), এবং উচ্চ রেজোলিউশন। (70-90)।

3. যথার্থ প্রক্রিয়াকরণ নির্ভুলতা

উচ্চ-নির্ভুলতা যান্ত্রিক প্রক্রিয়াকরণের মাধ্যমে, সেমিকোরেক্স সিলিকন বাঁকা ইলেক্ট্রোডগুলি সামঞ্জস্যপূর্ণ ছিদ্র আকার এবং অভিন্ন গর্ত বিতরণ অর্জন করে। তাদের পৃষ্ঠতলগুলি সূক্ষ্মভাবে পালিশ করা এবং স্থল: পালিশ (Ra < 0.1 μm) এবং স্থল (Ra < 1.6 μm), 0.03 মিমি এর মধ্যে সামগ্রিক মেশিনিং নির্ভুলতা নিয়ন্ত্রিত।