এচিংয়ের জন্য পলি-সি বাইরের রিং

সাধারণত কাছাকাছি অবস্থানঝরনা, পলি-সি বাইরের রিং নিষ্কাশন রিং এবং শাওয়ারহেডের মধ্যে সংযোগকারী অংশ হিসাবে কাজ করে। এর সাথে সহযোগিতামূলকভাবে কাজ করেইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক, Si শাওয়ারহেড, Si ফোকাস রিং, Si নিষ্কাশন রিং, এবং Si শিল্ডিং রিং, উচ্চ-নির্ভুল এচিং অপারেশনের জন্য একটি স্থির এবং নির্ভরযোগ্য প্রক্রিয়া পরিবেশ তৈরি করে।

এচিং এর জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি আউটার রিং এর সুবিধা

এচিংয়ের জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি বাইরের রিংগুলি সঠিকভাবে উচ্চ-মানের পলিসিলিকন থেকে তৈরি করা হয়, যা নিম্নোক্ত চমৎকার সম্পত্তি কর্মক্ষমতা প্রদান করে।

1. উচ্চ পরিচ্ছন্নতা এবং কম কণা বিষয়বস্তু

2.উচ্চতর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং উচ্চ তাপ শক প্রতিরোধের

3. নির্ভরযোগ্য জারা প্রতিরোধের

4. ব্যতিক্রমী বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা এবং উচ্চ বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা অভিন্নতা

এচিং এর জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি আউটার রিং এর কাজ

1. স্থিতিশীল গ্রাউন্ডিং কর্মক্ষমতা

ইলেক্ট্রোড গ্রাউন্ডিং এবং সুরক্ষার জন্য ব্যবহৃত, এচিংয়ের জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি বাইরের রিংগুলি স্থির জমার পাশাপাশি আর্কের ক্ষতি এড়াতে এবং ইলেক্ট্রোড সিস্টেমের স্থিতিশীল অপারেশন নিশ্চিত করতে সক্ষম, উন্নত 3D NAND ফ্যাব্রিকেশনের প্রক্রিয়ার চাহিদা পুরোপুরি পূরণ করে।

2. নির্ভরযোগ্য সমর্থন

সেমিকোরেক্স পলি-সি বাইরের রিংগুলি এচিং করার জন্য প্রয়োজনীয় উপাদান হিসাবে কাজ করে যা এক্সস্ট রিং এবং শাওয়ারহেডকে সংযুক্ত করে। তারা উভয় অংশে নির্ভরযোগ্য যান্ত্রিক সহায়তা প্রদান করে এবং তাদের যথাযথ স্থানে স্থিরভাবে অবস্থান করে। উপরন্তু, এচিং এর জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি বাইরের রিংগুলির ব্যবহার এচিং চেম্বারের প্লাজমা ক্ষয় রোধ করতে পারে, যা এইভাবে কার্যকরভাবে এচিং অপারেশনের স্থিতিশীল সম্পাদন নিশ্চিত করে।

3. এচিং প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ

এচিংয়ের জন্য সেমিকোরেক্স পলি-সি বাইরের রিংগুলিতে কম অপরিষ্কার সামগ্রী এবং ব্যতিক্রমী জারা প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য রয়েছে, যা সিলিকন ওয়েফার তৈরির সাথে চমৎকার সামঞ্জস্যতা প্রদান করে, যা খোদাই করা উপজাত দূষণের কারণে সৃষ্ট ওয়েফার ত্রুটিগুলিকে ব্যাপকভাবে কমিয়ে দেয় এবং উল্লেখযোগ্যভাবে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে উচ্চ ফলন হার নিশ্চিত করে।