ইন্ডাকটিভলি-কাপল্ড প্লাজমা (ICP)

Inductively-Coupled Plasma (ICP) এর জন্য Semicorex-এর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টর বিশেষভাবে এপিটাক্সি এবং MOCVD-এর মতো উচ্চ-তাপমাত্রা ওয়েফার হ্যান্ডলিং প্রক্রিয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। 1600°C পর্যন্ত একটি স্থিতিশীল, উচ্চ-তাপমাত্রার অক্সিডেশন প্রতিরোধের সাথে, আমাদের বাহকগুলি এমনকি তাপীয় প্রোফাইল, ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহের ধরণগুলি নিশ্চিত করে এবং দূষণ বা অমেধ্য বিস্তার রোধ করে।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

একটি ওয়েফার ক্যারিয়ার প্রয়োজন যা উচ্চ-তাপমাত্রা, কঠোর রাসায়নিক পরিবেশ পরিচালনা করতে পারে? Inductively-Coupled Plasma (ICP) এর জন্য Semicorex এর সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টর ছাড়া আর তাকান না। আমাদের ক্যারিয়ারগুলিতে একটি সূক্ষ্ম SiC স্ফটিক আবরণ রয়েছে যা উচ্চতর তাপ প্রতিরোধের, এমনকি তাপীয় অভিন্নতা এবং টেকসই রাসায়নিক প্রতিরোধ প্রদান করে।
Inductively-Coupled Plasma (ICP) এর জন্য আমাদের SiC সাসেপ্টর সম্পর্কে আরও জানতে আজই আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন৷

ইন্ডাকটিভলি-কাপল্ড প্লাজমার (ICP) জন্য সাসেপ্টরের পরামিতি

CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার	FCC β ফেজ
ঘনত্ব	g/cm ³	3.21
কঠোরতা	ভিকারস কঠোরতা	2500
শস্য আকার	μm	2~10
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	%	99.99995
তাপ ক্ষমতা	J kg-1 K-1	640
পরমানন্দ তাপমাত্রা	℃	2700
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ	MPa (RT 4-পয়েন্ট)	415
তরুণের মডুলাস	Gpa (4pt বাঁক, 1300℃)	430
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
তাপ পরিবাহিতা	(W/mK)	300