ওয়েফার হোল্ডার

সেমিকোরেক্স ওয়েফার হোল্ডারটি উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইটের তৈরি একটি কোর দিয়ে তৈরি করা হয়েছে এবং লিকুইড ফেজ এপিট্যাক্সি (এলপিই) সরঞ্জামের চাহিদা মেটাতে সিলিকন কার্বাইড (SiC) দিয়ে খুব সতর্কতার সাথে প্রলিপ্ত। সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের অন্তর্নিহিত উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের অখণ্ডতা বজায় রাখার জন্য এর নির্মাণ এবং উপাদান নির্বাচন একেবারে গুরুত্বপূর্ণ।

SiC-কোটেড গ্রাফাইট ওয়েফার হোল্ডার পরিধান এবং টিয়ার অসামান্য প্রতিরোধ প্রদর্শন করে, সর্বোত্তম ওয়েফার পরিচালনার জন্য প্রয়োজনীয় সুনির্দিষ্ট মাত্রা এবং পৃষ্ঠের গুণমান বজায় রাখার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য। এলপিই প্রক্রিয়াগুলিতে, ওয়েফার হোল্ডারের পৃষ্ঠের অখণ্ডতা সর্বাপেক্ষা গুরুত্বপূর্ণ, কারণ যে কোনও অবক্ষয় বা অসমতার ফলে ওয়েফারে ত্রুটি দেখা দিতে পারে, যার ফলে ফলন কম হয় এবং বর্জ্য বৃদ্ধি পায়। SiC আবরণ নিশ্চিত করে যে ওয়েফার হোল্ডার বারবার চক্রের উপর একটি মসৃণ, স্থিতিশীল পৃষ্ঠ বজায় রাখে, যা এপিটাক্সি প্রক্রিয়ার সামগ্রিক নির্ভরযোগ্যতা এবং ধারাবাহিকতায় অবদান রাখে।

অধিকন্তু, SiC আবরণ ওয়েফার হোল্ডারের তাপীয় কর্মক্ষমতা বাড়ায়। সিলিকন কার্বাইডের উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এপিটাক্সি প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার জুড়ে এমনকি তাপ বিতরণ নিশ্চিত করে, তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলি প্রতিরোধ করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ যা ওয়েফারগুলির ওয়ারিং বা ক্র্যাকিং হতে পারে। এটি নিশ্চিত করে যে চূড়ান্ত পণ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে প্রয়োজনীয় কঠোর মানের মান পূরণ করে। SiC আবরণের অতিরিক্ত সুবিধার সাথে গ্রাফাইটের অন্তর্নিহিত তাপীয় বৈশিষ্ট্যগুলির সংমিশ্রণ একটি ওয়েফার হোল্ডার তৈরি করে যা সবচেয়ে চ্যালেঞ্জিং তাপীয় পরিবেশ সহ্য করতে সক্ষম।

ওয়েফার হোল্ডারের ডিজাইন এলপিই সরঞ্জামে প্রয়োগের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে। ওয়েফার হোল্ডারটি সঠিকভাবে ওয়েফারগুলিকে সুরক্ষিতভাবে মিটমাট করার জন্য মেশিন করা হয়, এপিটাক্সি প্রক্রিয়া চলাকালীন নড়াচড়া বা মিসলাইনমেন্টের ঝুঁকি হ্রাস করে। এই নির্ভুলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, কারণ ওয়েফার অবস্থানের সামান্যতম পরিবর্তনও অসম জমার দিকে পরিচালিত করতে পারে, যা তৈরি করা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির কার্যকারিতাকে প্রভাবিত করে। SiC-কোটেড গ্রাফাইট ওয়েফার হোল্ডার প্রয়োজনীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, নিশ্চিত করে যে পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে ওয়েফারগুলি সঠিক অবস্থানে থাকে।

                                                        এলইপি গঠন, এলপিই থেকে