SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টর

SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টরের উপর SiC আবরণ একাধিক উদ্দেশ্যে কাজ করে। প্রথমত, এটি বর্ধিত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সময় তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্টের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের অনুমতি দেয়। অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলিতে অভিন্ন এবং উচ্চ-মানের সিলিকন স্তরগুলি অর্জনের জন্য এই স্থিতিশীলতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টরের উপর SiC আবরণ রাসায়নিক ক্ষয় এবং তাপীয় শকের জন্য চমৎকার প্রতিরোধের প্রস্তাব করে, এমনকি চাহিদার প্রক্রিয়ার অবস্থার মধ্যেও সাসেপ্টরের অখণ্ডতা রক্ষা করে। এই স্থায়িত্ব বর্ধিত কর্মক্ষম আয়ুষ্কাল এবং হ্রাস ডাউনটাইম অনুবাদ করে, শেষ পর্যন্ত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সুবিধাগুলির জন্য উচ্চ উত্পাদনশীলতা এবং ব্যয়-কার্যকারিতাতে অবদান রাখে।

SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টরের ব্যারেল ডিজাইন ওয়েফারের দক্ষ লোডিং এবং আনলোডিং, এপিটাক্সি প্রক্রিয়াগুলিতে থ্রুপুট অপ্টিমাইজ করে। অতিরিক্তভাবে, SiC আবরণ সহ গ্রাফাইট সাসেপ্টর একটি কাস্টমাইজড পণ্য, এবং এটি নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা এবং সেমিকন্ডাক্টর নির্মাতাদের পছন্দগুলি পূরণ করার জন্য তৈরি করা যেতে পারে, বিভিন্ন সরঞ্জাম কনফিগারেশন এবং প্রক্রিয়া পরামিতিগুলির সাথে সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করে৷