সেমিকোরেক্স এসআইসি ভ্যাকুয়াম ছকগুলি সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে সুরক্ষিত ওয়েফার শোষণের জন্য ডিজাইন করা উচ্চ-পারফরম্যান্স সিরামিক ফিক্সচার। উচ্চতর তাপ, যান্ত্রিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের সাথে এটি প্রক্রিয়া পরিবেশের দাবিতে স্থিতিশীলতা এবং নির্ভুলতা নিশ্চিত করে**
সেমিকোরেক্সসিলিকন কার্বাইডএসআইসি ভ্যাকুয়াম ছকগুলি হ'ল উচ্চ-প্রযুক্তি সিরামিক সরঞ্জাম যা নির্ভুলতা উপাদান অপসারণ প্রক্রিয়াগুলির সময় নিরাপদে এবং নির্ভরযোগ্যভাবে অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলি ধরে রাখার জন্য ডিজাইন করা হয়। এগুলি অতি-পরিষ্কার, উচ্চ-তাপমাত্রা এবং রাসায়নিকভাবে কঠোর পরিবেশে ব্যবহারের জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়। এসআইসি ভ্যাকুয়াম ছাগগুলি উচ্চতর ওয়েফার শোষণ এবং প্রান্তিককরণ সরবরাহ করতে সহায়তা করে। সেমিকোরেক্স এসআইসি ভ্যাকুয়াম চকগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতা সিলিকন কার্বাইড সিরামিক থেকে তৈরি করা হয় দুর্দান্ত যান্ত্রিক শক্তি, তাপ পরিবাহিতা এবং রাসায়নিক স্থায়িত্ব সরবরাহ করতে।
ভ্যাকুয়াম চক এর প্রধান কাজটি হ'ল ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন স্তন্যপান টানতে যাতে পরিদর্শন, জমা, ইচ এবং লিথোগ্রাফির মতো প্রক্রিয়াগুলির সময় ওয়েফারটি স্থিতিশীল থাকে। সাধারণ ভ্যাকুয়াম ছকের কণা উত্পাদন, ওয়ার্পিং বা সময়ের সাথে রাসায়নিক অবনতি নিয়ে সমস্যা রয়েছে। চরম অর্ধপরিবাহী উত্পাদন শর্তের জন্য, এসআইসি ভ্যাকুয়াম চকগুলি উচ্চতর দীর্ঘমেয়াদী স্থায়িত্ব এবং স্থিতিশীলতা সরবরাহ করবে।
সিলিকন কার্বাইড উপকরণগুলি তাদের কঠোরতা, তাপ স্থায়িত্ব এবং কম তাপীয় প্রসারণ সহগের জন্য অত্যন্ত মূল্যবান। এই উপকরণগুলি তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফারের সাথে তাপীয় অমিল ছাড়াই তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং উন্নত প্রক্রিয়া নির্ভুলতার জন্য মঞ্জুরি দিয়ে বিস্তৃত তাপমাত্রার উপর মাত্রা স্থিতিশীল থাকবে। তাদের উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা দ্রুত তাপ অপচয়কেও অনুমতি দেয়, যা দ্রুত তাপীয় প্রাথমিক র্যাম্প-আপ শর্তগুলিতে বা উচ্চ-শক্তি প্লাজমাসে সংক্ষিপ্ত এক্সপোজারগুলির জন্য কার্যকর।
এসআইসি সিরামিকের কেবল তাপ এবং যান্ত্রিক সুবিধাগুলিই নয় তবে প্লাজমা জারা এবং আক্রমণাত্মক প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির বিরুদ্ধেও প্রতিরোধী। এই বৈশিষ্ট্যটি এসআইসি ভ্যাকুয়াম ছকগুলি শুকনো এচিং, সিভিডি এবং পিভিডি প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষভাবে অনুকূল করে তোলে যেখানে কোয়ার্টজ বা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড উপকরণগুলি ব্যবহারের সাথে হ্রাস করতে পারে। এসআইসির রাসায়নিক জড়তা দূষণকে সীমাবদ্ধ করতে এবং সরঞ্জাম আপটাইম উন্নত করতে সহায়তা করবে।
যাতে উচ্চতর পারফরম্যান্স সরবরাহ করা যায়। সেমিকোরেক্স এসআইসি ভ্যাকুয়াম ছাগল তৈরি করে এবং আপডেট মাইক্রনের চ্যানেল স্ট্রাকচার সহ অতি-ফ্ল্যাট পৃষ্ঠগুলির সাথে অত্যন্ত টাইট সহনশীলতা নির্দিষ্ট করে। এই বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে, এটি ওয়েফার সাপোর্টের জন্য যথাযথ স্তন্যপান এবং অবিচ্ছিন্ন সাকশন অঞ্চল সহ ওয়েফার সমর্থন সরবরাহ করে যা ওয়ার্পের সম্ভাবনা হ্রাস বা ওয়েফারগুলির নিজের ভাঙ্গার সম্ভাবনা হ্রাস করে। বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে বিভিন্ন ওয়েফার আকারের (2 "থেকে 12") অনুসারে কাস্টম ডিজাইন পরিষেবাগুলিও উপলব্ধ।
উচ্চতর ফলন হিসাবে, প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ এবং নির্ভরযোগ্যতা কারণগুলি, এসআইসি ভ্যাকুয়াম চকগুলি হ'ল পরবর্তী প্রজন্মের অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির নতুন প্রয়োজনীয় উপাদান। এসআইসি ভ্যাকুয়াম ছকের অ্যাপ্লিকেশনগুলি সরাসরি ফলন বৃদ্ধি, সরঞ্জামের নির্ভরযোগ্যতা এবং প্রক্রিয়াকরণ নিয়ন্ত্রণের সাথে জড়িত।