সলিড CVD SiC রিং

সেমিকোরেক্স কঠিনCVD SiCরিংগুলি সাধারণত এচিং ইকুইপমেন্ট রিঅ্যাকশন চেম্বারের ভিতরে মাউন্ট করা হয়, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলির চারপাশে একটি প্রক্রিয়া বাধা এবং শক্তি নির্দেশিকা হিসাবে কাজ করে। তারা ওয়েফারের চারপাশে চেম্বারের মধ্যে রক্তরসকে কেন্দ্রীভূত করতে পারে এবং বাহ্যিক প্লাজমা ছড়িয়ে পড়া রোধ করতে পারে, এইভাবে সুনির্দিষ্ট এচিং প্রক্রিয়ার জন্য একটি উপযুক্ত শক্তি ক্ষেত্র প্রদান করে। এই অভিন্ন এবং স্থিতিশীল শক্তি ক্ষেত্রটি ওয়েফারের প্রান্তে অসম শক্তি বিতরণ এবং প্লাজমা বিকৃতির কারণে সৃষ্ট ওয়েফার ত্রুটি, প্রক্রিয়া ড্রিফট এবং সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের ফলন ক্ষতির মতো ঝুঁকিগুলি কার্যকরভাবে প্রশমিত করতে পারে।

চমৎকার উপাদান সুবিধা

সেমিকোরেক্স সলিড CVD SiC রিংগুলি উচ্চ-বিশুদ্ধ CVD SiC থেকে তৈরি করা হয়, যা সেমিকন্ডাক্টর এচিং পরিবেশে উচ্চ পরিচ্ছন্নতা এবং উচ্চ জারা প্রতিরোধের জন্য কঠোর প্রয়োজনীয়তাগুলি সম্পূর্ণরূপে পূরণ করতে চমৎকার উপাদান সুবিধা প্রদান করে।

1. উচ্চ বিশুদ্ধতা

সেমিকোরেক্স সলিড CVD SiC রিংগুলির বিশুদ্ধতা 99.9999% অতিক্রম করতে পারে, যার মানে হল যে রিংগুলি প্রায় অভ্যন্তরীণ অমেধ্য মুক্ত। এই ব্যতিক্রমী উপাদান বিশুদ্ধতা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের অবাঞ্ছিত দূষণ এবং সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়ার সময় অপবিত্রতা থেকে প্রসেস চেম্বারগুলিকে এড়িয়ে যায়।

2. উচ্চ জারা প্রতিরোধের

সেমিকোরেক্সকঠিন CVD SiC রিংCVD SiC-এর উচ্চতর ক্ষয় প্রতিরোধের কারণে শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষার এবং প্লাজমার সংস্পর্শে আসার পরেও কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং কর্মক্ষমতা স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে, যা তাদের কঠোর এচিং প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশের জন্য আদর্শ সমাধান করে তোলে।

3. নির্ভরযোগ্য তাপ ব্যবস্থাপনা কর্মক্ষমতা

CVD SiC-তে উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং ন্যূনতম তাপ সম্প্রসারণ সহগ রয়েছে, যার ফলে সেমিকোরেক্স কঠিন CVD SiC রিংগুলি দ্রুত তাপ অপচয় অর্জন করে এবং অপারেশন চলাকালীন চমৎকার মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে।

4. ব্যতিক্রমী প্রতিরোধের অভিন্নতা

সেমিকোরেক্স সলিড CVD SiC রিংগুলি RRG <5% এর সাথে ব্যতিক্রমী প্রতিরোধের অভিন্নতা প্রদান করে।

রেজিস্টিভিটি রেঞ্জ: কম রেজোলিউশন। (<0.02 Ω·সেমি), মধ্য রেস। (0.2–25 Ω·সেমি), উচ্চ রেজোলিউশন। (>100 Ω·সেমি)।

সুনির্দিষ্ট মান নিয়ন্ত্রণ

সেমিকোরেক্স সলিড সিভিডি SiC রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স ক্ষেত্রগুলির কঠোর নির্ভুলতা এবং গুণমানের প্রয়োজনীয়তাগুলি সম্পূর্ণরূপে পূরণ করার জন্য কঠোর মানগুলির অধীনে প্রক্রিয়াজাত এবং পরিদর্শন করা হয়।

সারফেস ট্রিটমেন্ট: পলিশিং নির্ভুলতা হল Ra <0.1µm; সূক্ষ্ম নাকাল নির্ভুলতা হল Ra > 0.1µm

প্রক্রিয়াকরণ নির্ভুলতা ≤ 0.03 মিমি এর মধ্যে নিয়ন্ত্রিত হয়

গুণমান পরিদর্শন: সেমিকোরেক্স সলিড সিভিডি SiC রিংগুলি চিপস, স্ক্র্যাচ, ফাটল, দাগ এবং অন্যান্য ত্রুটি থেকে পণ্যটি মুক্ত তা নিশ্চিত করতে মাত্রিক পরিমাপ, প্রতিরোধ ক্ষমতা পরীক্ষা এবং ভিজ্যুয়াল পরিদর্শনের মধ্য দিয়ে যাবে।