সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিং

সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের ওয়েফার সমর্থন পৃষ্ঠের চারপাশে স্থাপন করা এচিং সরঞ্জামের প্রতিক্রিয়া চেম্বারে সাধারণত ইনস্টল করা হয়। এই ইনস্টলেশন ব্যবস্থা সফলভাবে ওয়েফার প্রান্ত এবং ইলেক্ট্রোডের মধ্যে উচ্চতার পার্থক্য পূরণ করতে পারে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্লাজমাকে ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর ফোকাস করে অভিন্ন এচিং অর্জন করতে পারে এবং ওয়েফার প্রান্তের ওভার-এচিং সমস্যা এড়াতে ওয়েফার প্রান্ত থেকে প্লাজমাকে বাইরের দিকে ছড়িয়ে দেওয়া রোধ করতে পারে।

উচ্চ-মানের এচিং উপাদানগুলি এচিং প্রক্রিয়ার জন্য একটি স্থিতিশীল বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের পরিবেশ প্রদান করতে পারে। সেমিকোরেক্সের সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংগুলি উচ্চ-কর্মক্ষমতা থেকে তৈরি করা হয়সিলিকন কার্বাইড উপকরণরাসায়নিক বাষ্প জমার মাধ্যমে। আমাদের ফোকাস রিংগুলি ওয়েফারের চারপাশে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টন সামঞ্জস্য করতে সক্ষম, উল্লেখযোগ্যভাবে এচিং বিচ্যুতি বা অসম বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা সৃষ্ট স্রাব ঘটনা হ্রাস করতে সক্ষম।

সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলি সহজেই কণা দূষণের জন্য সংবেদনশীল, তাই প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়াগুলি অতি-পরিষ্কার আয়ন এচিং প্রতিক্রিয়া চেম্বারে করা আবশ্যক। এচিং সরঞ্জামের প্রাথমিক উপাদান হিসাবে, সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংগুলি প্রকৃত অপারেশনে ওয়েফার প্রান্তের সাথে সরাসরি সংস্পর্শে আসে, এটি অতি-উচ্চ পরিচ্ছন্নতার মানগুলি পূরণ করার জন্যও প্রয়োজনীয়। সেমিকোরেক্স-এর সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং কম অপরিষ্কার সামগ্রীর সুবিধাগুলি অফার করে, যা সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়াগুলির কঠোর পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তাগুলি অবিকল মেটাতে পারে৷ এটি ওয়েফারের ত্রুটি কমাতে এবং ওয়েফার উৎপাদনের ফলন উন্নত করতে ব্যাপকভাবে অবদান রাখে।

প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, ফ্লোরিন এবং অক্সিজেনের মতো এচিং গ্যাসগুলি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রবর্তিত হয়। এচিং ইকুইপমেন্টের রাসায়নিক জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রক্রিয়া গ্যাস দ্বারা সৃষ্ট দীর্ঘমেয়াদী ক্ষয় দ্বারা গুরুতরভাবে চ্যালেঞ্জ করা হয়। প্লাজমা ক্ষয় এর উচ্চতর প্রতিরোধ ক্ষমতা সহ, সিলিকন কার্বাইড হল ফোকাস রিং উৎপাদনের জন্য সর্বোত্তম উপাদান পছন্দ। ক্ষয়-সম্পর্কিত উপাদানের ক্ষতির সম্ভাবনা কমিয়ে এবং ঘন ঘন প্রতিস্থাপন এবং রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে, সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার উত্পাদনের দক্ষতা উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি করতে পারে।