সেমিকোরেক্স এসআইসি রোবট হাতগুলি উচ্চ-নির্ভুলতা, সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে নিরাপদ এবং নির্ভরযোগ্য ওয়েফার ট্রান্সফারের জন্য ডিজাইন করা আল্ট্রা-ক্লিন এন্ড-এফেক্টর।
সেমিকোরেক্স সিক রোবট হ্যান্ডস সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের ক্ষেত্রে রোবোটিক্স ওয়েফার ট্রান্সফার অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ডিজাইন করা শেষ-প্রভাবগুলির সর্বশেষতম প্রভাবগুলির সর্বশেষতম প্রভাব। উচ্চ কার্যকারিতা উপকরণ দিয়ে তৈরি, আমরা সিলিকন কার্বাইড (এসআইসি) সিরামিকগুলির সাথে এই রোবোটিক হাতগুলি ইঞ্জিনিয়ার করেছি সর্বাধিক তাপীয় ট্যাবুলেশন, রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং ওয়েফার বানোয়াট বা হ্যান্ডলিংয়ের ক্রমবর্ধমান কঠোর পরিবেশের জন্য যান্ত্রিক শক্তি সরবরাহ করতে।
আমাদের এসআইসি রোবট হাতের কেন্দ্রস্থল আমাদের মালিকানাধীন উন্নতসিলিকন কার্বাইডএর উচ্চ কঠোরতা (মোহস 9), উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা এবং জারা প্রতিরোধের জন্য পরিচিত। অ্যালুমিনিয়াম বা স্টেইনলেস স্টিলের মতো traditional তিহ্যবাহী উপকরণগুলির বিপরীতে, এসআইসি প্রক্রিয়াজাত উচ্চ তাপমাত্রা এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সহ অর্ধপরিবাহী ক্লিনরুমগুলির কঠোর প্রক্রিয়াজাতকরণ পরিবেশের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। আমরা দীর্ঘমেয়াদী স্থায়িত্ব অফার করি এবং ওয়েফার উত্পাদন জন্য প্রয়োজনীয় কঠোর বিশুদ্ধতার সাথে সামঞ্জস্য রেখে দূষণকে হ্রাস করি।
এসআইসি রোবট হাতের সাথে সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলি ওয়েফারটি পেতে নেতিবাচক চাপ সাকশন ব্যবহার করে অর্থাৎ, সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারটি কোয়ার্টজ বা সিরামিক আঙুলের উপর সাকশন কাপের নীতিটি ব্যবহার করে যথাক্রমে যান্ত্রিক অ্যাকশন আর্ম প্রসারিত, ঘোরানো এবং উত্তোলনের গতিগুলি ব্যবহার করে পরিবহণের পরে সজ্জিত হয়।
"উচ্চ গতি" এবং "পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা" হ'ল সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার হ্যান্ডলিং সরঞ্জামগুলির মূল বৈশিষ্ট্য। এই বৈশিষ্ট্যগুলি পূরণের জন্য, সরঞ্জামগুলির ব্যবহৃত উপাদানগুলির কার্যকারিতা সম্পর্কে অত্যন্ত কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। যেহেতু বেশিরভাগ প্রক্রিয়াগুলি শূন্যতা, উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী গ্যাসের পরিবেশে পরিচালিত হয়, তাই সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হ্যান্ডলিং আর্মের অবশ্যই দুর্দান্ত শারীরিক বৈশিষ্ট্য থাকতে হবে, যেমন: উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, জারা প্রতিরোধের, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, পরিধান প্রতিরোধ, উচ্চ কঠোরতা, অন্তরণ ইত্যাদি এবং উন্নত সেরামিক উপকরণগুলি কেবল এই শর্তগুলি পূরণ করতে পারে।
সিলিকন কার্বাইড সিরামিকসঘন টেক্সচার, উচ্চ কঠোরতা, উচ্চ পরিধানের প্রতিরোধের পাশাপাশি ভাল তাপ প্রতিরোধের, দুর্দান্ত যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ভাল নিরোধক, ভাল জারা প্রতিরোধের এবং অন্যান্য শারীরিক বৈশিষ্ট্যগুলির শারীরিক বৈশিষ্ট্য রয়েছে। এটি সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলি হ্যান্ডলিং অস্ত্র তৈরির জন্য একটি দুর্দান্ত উপাদান।
রোবোটিক প্ল্যাটফর্মগুলি FABS এবং সরঞ্জাম প্রস্তুতকারীদের মধ্যে পরিবর্তিত হয় তা স্বীকৃতি দিয়ে, আমাদের এসআইসি রোবট হাতগুলি বিভিন্ন স্ট্যান্ডার্ডাইজড আকারে উপলব্ধ এবং অনন্য সরঞ্জাম কনফিগারেশনের জন্য কাস্টমাইজ করা যায়। মাউন্টিং ইন্টারফেস, আঙুলের জ্যামিতি এবং ওয়েফার সমর্থন বৈশিষ্ট্যগুলি নির্দিষ্ট সরঞ্জাম এবং প্রক্রিয়া প্রয়োজনগুলি পূরণ করার জন্য তৈরি করা যেতে পারে। আপনি ক্লাস্টার সরঞ্জাম, ভ্যাকুয়াম চেম্বারস বা এফইউপি সিস্টেমের মধ্যে ওয়েফারগুলি স্থানান্তর করছেন কিনা, আমাদের রোবট হাতগুলি শীর্ষস্থানীয় রোবোটিক্স ব্র্যান্ডগুলির সাথে নির্বিঘ্নে সংহত করে।
প্রতিটি এসআইসি রোবট হ্যান্ড ক্লাস 1 ক্লিনরুমের মানগুলির সাথে সম্মতি নিশ্চিত করতে কঠোর পরিষ্কার, পরিদর্শন এবং প্যাকেজিং পদ্ধতিগুলি গ্রহণ করে। এসআইসির অ-ছিদ্রযুক্ত, অ্যান্টি-স্ট্যাটিক পৃষ্ঠটি কণা আনুগত্য হ্রাস করে, যখন শক্তিশালী কাঠামোটি মাইক্রোফ্রাকচারকে প্রতিরোধ করে যা সময়ের সাথে সাথে কণা উত্পাদন হতে পারে। এটি তাদেরকে ফ্রন্ট-এন্ড ওয়েফার প্রক্রিয়াগুলির জন্য আদর্শ করে তোলে যেখানে সামান্যতম দূষণ এমনকি ডিভাইস ব্যর্থতার দিকে পরিচালিত করতে পারে।
এপিট্যাক্সি এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন থেকে পিভিডি, সিভিডি এবং সিএমপি পর্যন্ত সিক রোবট হাতগুলি অর্ধপরিবাহী ডিভাইস বানোয়াটের প্রতিটি ধাপে বিশ্বাসযোগ্য। তাপীয় শক এবং প্লাজমা পরিবেশের প্রতি তাদের উচ্চতর প্রতিরোধের তাদের উন্নত যুক্তি এবং পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর লাইনে বিশেষত যেখানে এসআইসি ওয়েফার সাবস্ট্রেট ব্যবহার করা হয় তা অপরিহার্য করে তোলে।