অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণের জন্য সেমিকোরেক্স টেকসই ফোকাস রিংগুলি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত প্লাজমা ইচ চেম্বারের চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। আমাদের ফোকাস রিংগুলি একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ সহ উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি। SiC আবরণ উচ্চ জারা এবং তাপ প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্য, সেইসাথে চমৎকার তাপ পরিবাহিতা আছে. আমরা আমাদের ফোকাস রিংগুলির পরিষেবা জীবন উন্নত করতে রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গ্রাফাইটের উপর পাতলা স্তরে SiC প্রয়োগ করি।
আরও পড়ুনঅনুসন্ধান পাঠান