2024-07-15
সিলিকন কার্বাইড (SiC)অর্ধপরিবাহী শিল্পে এর চমৎকার ভৌত এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের জন্য অত্যন্ত পছন্দের। যাইহোক, এর উচ্চ কঠোরতা এবং ভঙ্গুরতাSiCএর প্রক্রিয়াকরণে যথেষ্ট চ্যালেঞ্জ তৈরি করে।
ডায়মন্ড তারের কাটা একটি সাধারণভাবে ব্যবহৃত হয়SiCকাটিয়া পদ্ধতি এবং বড় আকারের SiC ওয়েফার তৈরির জন্য উপযুক্ত।
সুবিধা:
উচ্চ দক্ষতা: এর দ্রুত কাটিয়া গতির সাথে, হীরার তারের কাটিয়া প্রযুক্তি বড় আকারের SiC ওয়েফারগুলির ব্যাপক উত্পাদনের জন্য পছন্দের পদ্ধতি হয়ে উঠেছে, উল্লেখযোগ্যভাবে উত্পাদন দক্ষতা উন্নত করে।
কম তাপীয় ক্ষতি: ঐতিহ্যগত কাটিয়া পদ্ধতির সাথে তুলনা করে, হীরার তারের কাটা অপারেশনের সময় কম তাপ উৎপন্ন করে, কার্যকরভাবে SiC স্ফটিকগুলির তাপীয় ক্ষতি হ্রাস করে এবং উপাদানের অখণ্ডতা বজায় রাখে।
ভাল পৃষ্ঠের গুণমান: কাটার পরে প্রাপ্ত SiC ওয়েফারের পৃষ্ঠের রুক্ষতা কম, যা পরবর্তী গ্রাইন্ডিং এবং পলিশিং প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি ভাল ভিত্তি প্রদান করে এবং উচ্চ মানের পৃষ্ঠ চিকিত্সা অর্জনে সহায়তা করে।
অভাব:
উচ্চ সরঞ্জাম খরচ: হীরার তারের কাটার সরঞ্জামগুলির জন্য একটি উচ্চ প্রাথমিক বিনিয়োগ প্রয়োজন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচও বেশি, যা সামগ্রিক উত্পাদন খরচ বাড়িয়ে তুলতে পারে।
তারের ক্ষতি: ক্রমাগত কাটার প্রক্রিয়া চলাকালীন হীরার তারটি পরে যাবে এবং নিয়মিতভাবে প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন, যা শুধুমাত্র উপাদান খরচ বাড়ায় না, কিন্তু রক্ষণাবেক্ষণের কাজের চাপও বাড়ায়।
সীমিত কাটিং নির্ভুলতা: যদিও হীরার তারের কাটিং নিয়মিত অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ভাল কাজ করে, তবে এর কাটার নির্ভুলতা আরও কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে না যেখানে জটিল আকার বা মাইক্রোস্ট্রাকচারগুলি প্রক্রিয়া করা প্রয়োজন।
কিছু চ্যালেঞ্জ সত্ত্বেও, হীরার তার কাটার প্রযুক্তি SiC ওয়েফার উত্পাদনে একটি শক্তিশালী হাতিয়ার হিসাবে রয়ে গেছে। প্রযুক্তির অগ্রগতি অব্যাহত থাকায় এবং ব্যয়-কার্যকারিতা উন্নত হওয়ার কারণে, এই পদ্ধতিটি আরও বেশি ভূমিকা পালন করবে বলে আশা করা হচ্ছেSiC ওয়েফারভবিষ্যতে প্রক্রিয়াকরণ।