গ্যাস বিতরণ প্লেট

সেমিকোরেক্স গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি উন্নত প্লাজমা এচিং সিস্টেমগুলিতে বিশেষত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে যেখানে নির্ভুলতা, অভিন্নতা এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ সর্বজনীন। আমাদের গ্যাস বিতরণ প্লেট, উচ্চ-বিশুদ্ধতা রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন সিলিকন কার্বাইড থেকে ইঞ্জিনিয়ারড (সিভিডি সিক), আধুনিক শুকনো এচিং প্রক্রিয়াগুলির কঠোর চাহিদা মেটাতে ডিজাইন করা হয়েছে।

এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে ধারাবাহিক প্লাজমা বিতরণ নিশ্চিত করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি একটি নিয়ন্ত্রিত এবং অভিন্ন পদ্ধতিতে চেম্বারে প্রবর্তন করতে হবে। গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি কৌশলগতভাবে ওয়েফারের উপরে অবস্থিত এবং একটি দ্বৈত ফাংশন পরিবেশন করে: এটি প্রথমে প্রক্রিয়া গ্যাসগুলিকে প্রাক-ছড়িয়ে দেয় এবং তারপরে ইলেক্ট্রোড সিস্টেমের দিকে সূক্ষ্ম সুরযুক্ত চ্যানেল এবং অ্যাপারচারের একটি সিরিজের মাধ্যমে তাদের নির্দেশ দেয়। পুরো ওয়েফার জুড়ে ইউনিফর্ম প্লাজমা বৈশিষ্ট্য এবং ধারাবাহিক এচ হার অর্জনের জন্য এই সুনির্দিষ্ট গ্যাস বিতরণ অপরিহার্য।

প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের ইনজেকশন পদ্ধতিটি অনুকূল করে এচিং ইউনিফর্মিটি আরও উন্নত করা যেতে পারে:

• অ্যালুমিনিয়াম এচিং চেম্বার: প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সাধারণত ওয়েফারের উপরে অবস্থিত একটি শাওয়ারহেডের মাধ্যমে সরবরাহ করা হয়।

• সিলিকন এচিং চেম্বার: প্রাথমিকভাবে, গ্যাসটি ওয়েফারের পরিধি থেকে ইনজেকশন দেওয়া হয়েছিল এবং তারপরে ধীরে ধীরে এচিংয়ের অভিন্নতা উন্নত করতে ওয়েফারের কেন্দ্র থেকে উপরে থেকে ইনজেকশনের জন্য বিকশিত হয়েছিল।

গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি, শাওয়ারহেডস নামেও পরিচিত, একটি গ্যাস বিতরণ ডিভাইস যা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। এটি মূলত প্রতিক্রিয়া চেম্বারে গ্যাস সমানভাবে গ্যাস বিতরণ করতে ব্যবহৃত হয় যাতে নিশ্চিত হয় যে সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলি প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া চলাকালীন গ্যাসের সাথে সমানভাবে যোগাযোগ করা যেতে পারে, উত্পাদন দক্ষতা এবং পণ্যের গুণমানকে উন্নত করে। পণ্যটিতে উচ্চ নির্ভুলতা, উচ্চ পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা এবং একাধিক-কম্পোজিট পৃষ্ঠের চিকিত্সার বৈশিষ্ট্য রয়েছে (যেমন স্যান্ডব্লাস্টিং/অ্যানোডাইজিং/ব্রাশ নিকেল ধাতুপট্টাবৃত/ইলেক্ট্রোলাইটিক পলিশিং ইত্যাদি)। গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে অবস্থিত এবং ওয়েফার প্রতিক্রিয়া পরিবেশের জন্য একটি সমানভাবে জমা দেওয়া গ্যাস ফিল্ম স্তর সরবরাহ করে। এটি ওয়েফার উত্পাদনের একটি মূল উপাদান।

ওয়েফার প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া চলাকালীন, গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলির পৃষ্ঠটি ঘনভাবে মাইক্রোপোরগুলি (অ্যাপারচার 0.2-6 মিমি) দিয়ে আচ্ছাদিত থাকে। সুনির্দিষ্টভাবে ডিজাইন করা ছিদ্র কাঠামো এবং গ্যাসের পথের মাধ্যমে, বিশেষ প্রক্রিয়া গ্যাসকে ইউনিফর্ম গ্যাস প্লেটের হাজার হাজার ছোট ছোট গর্ত দিয়ে যেতে হবে এবং তারপরে সমানভাবে ওয়েফার পৃষ্ঠে জমা করা উচিত। ওয়েফারের বিভিন্ন অঞ্চলে ফিল্ম স্তরগুলির উচ্চ অভিন্নতা এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করা প্রয়োজন। অতএব, পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতা এবং জারা প্রতিরোধের জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা ছাড়াও, গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি ইউনিফর্ম গ্যাস প্লেটের ছোট গর্তগুলির অ্যাপারচারের ধারাবাহিকতায় এবং ছোট গর্তগুলির অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের বুর্সের ধারাবাহিকতায় কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। যদি অ্যাপারচারের আকার সহনশীলতা এবং ধারাবাহিকতা স্ট্যান্ডার্ড বিচ্যুতি খুব বেশি হয় বা কোনও অভ্যন্তরীণ প্রাচীরের উপর বুরস থাকে তবে জমা হওয়া ফিল্ম স্তরের বেধটি বেমানান হবে, যা সরঞ্জাম প্রক্রিয়া ফলনকে সরাসরি প্রভাবিত করবে। প্লাজমা-সহায়তাযুক্ত প্রক্রিয়াগুলিতে (যেমন পিইসিভিডি এবং শুকনো এচিং), শাওয়ার হেড, ইলেক্ট্রোডের অংশ হিসাবে, প্লাজমার অভিন্ন বন্টন প্রচারের জন্য একটি আরএফ বিদ্যুৎ সরবরাহের মাধ্যমে একটি অভিন্ন বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র তৈরি করে, যার ফলে এচিং বা জমার অভিন্নতার উন্নতি হয়।

আমাদেরসিভিডি সিকগ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি সেমিকন্ডাক্টর বানোয়াট, এমইএমএস প্রসেসিং এবং উন্নত প্যাকেজিংয়ে ব্যবহৃত প্লাজমা এচিং প্ল্যাটফর্মগুলির বিস্তৃত পরিসরের জন্য উপযুক্ত। মাত্রা, গর্তের নিদর্শন এবং পৃষ্ঠ সমাপ্তি সহ নির্দিষ্ট সরঞ্জামের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে কাস্টম ডিজাইনগুলি বিকাশ করা যেতে পারে।

সিভিডি এসআইসি দিয়ে তৈরি সেমিকোরেক্স গ্যাস বিতরণ প্লেটগুলি আধুনিক প্লাজমা এচিং সিস্টেমগুলির একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, ব্যতিক্রমী গ্যাস বিতরণ কর্মক্ষমতা, অসামান্য উপাদান স্থায়িত্ব এবং ন্যূনতম দূষণের ঝুঁকি সরবরাহ করে। এর ব্যবহার সরাসরি উচ্চতর প্রক্রিয়া ফলন, কম ত্রুটিযুক্ততা এবং দীর্ঘতর সরঞ্জাম আপটাইমে অবদান রাখে, এটি শীর্ষস্থানীয় প্রান্ত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন জন্য একটি বিশ্বস্ত পছন্দ হিসাবে পরিণত করে।