প্রান্ত রিং

সেমিকোরেক্স এজ রিংগুলি সম্পূর্ণ অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ, বিশেষত প্লাজমা এচিং এবং রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (সিভিডি) সহ ওয়েফার প্রসেসিং অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য। প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা, ওয়েফার ফলন এবং ডিভাইসের নির্ভরযোগ্যতা উন্নত করার সময় সমানভাবে শক্তি বিতরণ করার জন্য একটি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের বাইরের ঘেরকে ঘিরে এজ রিংগুলি ডিজাইন করা হয়েছে। আমাদের প্রান্তের রিংগুলি উচ্চ-বিশুদ্ধতা রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন সিলিকন কার্বাইড (সিভিডি এসআইসি) থেকে তৈরি করা হয় এবং প্রক্রিয়া পরিবেশের দাবিতে নির্মিত হয়।

প্লাজমা-ভিত্তিক প্রক্রিয়াগুলির সময় সমস্যাগুলি দেখা দেয় যেখানে ওয়েফারের প্রান্তে শক্তি অ-অভিন্নতা এবং প্লাজমা বিকৃতি ত্রুটি, প্রক্রিয়া প্রবাহ বা ফলন হ্রাসের ঝুঁকি তৈরি করে। এজ রিংগুলি ওয়েফারের বাইরের ঘেরের চারপাশে শক্তি ক্ষেত্রকে ফোকাস করে এবং আকার দিয়ে এই ঝুঁকিটিকে হ্রাস করে। প্রান্তের রিংগুলি ওয়েফারের বাইরের প্রান্তের ঠিক বাইরে বসে এবং প্রক্রিয়া বাধা এবং শক্তি গাইড হিসাবে কাজ করে যা প্রান্তের প্রভাবগুলি হ্রাস করে, ওয়েফার প্রান্তকে অতিরিক্ত-এচিং থেকে রক্ষা করে এবং ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে প্রয়োজনীয় অতিরিক্ত অভিন্নতা সরবরাহ করে।

সিভিডি এসআইসির উপাদান সুবিধা:

আমাদের প্রান্তের রিংগুলি উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিভিডি এসআইসি থেকে তৈরি করা হয়, যা কঠোর প্রক্রিয়া পরিবেশের জন্য অনন্যভাবে ডিজাইন করা এবং ইঞ্জিনিয়ারড। সিভিডি এসআইসি ব্যতিক্রমী তাপীয় পরিবাহিতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং দুর্দান্ত রাসায়নিক প্রতিরোধের দ্বারা চিহ্নিত করা হয় - সমস্ত বৈশিষ্ট্য যা সিভিডি এসআইকে সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য স্থায়িত্ব, স্থিতিশীলতা এবং কম দূষণের সমস্যাগুলির জন্য পছন্দের উপাদান তৈরি করে।

উচ্চ বিশুদ্ধতা: সিভিডি এসআইসির কাছাকাছি-শূন্য অমেধ্য রয়েছে যার অর্থ কোনও কণা উত্পন্ন হবে না এবং কোনও ধাতব দূষণ হবে না যা উন্নত নোড সেমিকন্ডাক্টরগুলিতে গুরুত্বপূর্ণ।

তাপীয় স্থায়িত্ব: উপাদানটি উচ্চতর তাপমাত্রায় মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে, যা তার প্লাজমা অবস্থানে যথাযথ ওয়েফার স্থাপনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।

রাসায়নিক জড়তা: এটি ফ্লোরিন বা ক্লোরিনযুক্ত এমনগুলি ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির মধ্যে জঞ্জাল যা সাধারণত প্লাজমা এচ পরিবেশের পাশাপাশি সিভিডি প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

যান্ত্রিক শক্তি: সিভিডি এসআইসি বর্ধিত চক্র সময়কালের তুলনায় ক্র্যাকিং এবং ক্ষয়কে সহ্য করতে পারে সর্বাধিক জীবন নিশ্চিত করে এবং রক্ষণাবেক্ষণের ব্যয় হ্রাস করতে পারে।

প্রতিটি প্রান্তের রিংটি প্রক্রিয়া চেম্বারের জ্যামিতিক মাত্রা এবং ওয়েফারের আকারকে সামঞ্জস্য করার জন্য কাস্টম ইঞ্জিনিয়ারযুক্ত; সাধারণত 200 মিমি বা 300 মিমি। প্রান্তের রিংটি পরিবর্তনের কোনও প্রয়োজন ছাড়াই বিদ্যমান প্রক্রিয়া মডিউলে ব্যবহার করা যেতে পারে তা নিশ্চিত করার জন্য ডিজাইন সহনশীলতাগুলি খুব শক্তভাবে নেওয়া হয়। কাস্টম জ্যামিতি এবং পৃষ্ঠের সমাপ্তি অনন্য OEM প্রয়োজনীয়তা বা সরঞ্জাম কনফিগারেশনগুলি পূরণ করতে উপলব্ধ।