2L10-506419-21 এর জন্য CVD SiC ফোকাস রিং

প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে অ-ইউনিফর্ম প্লাজমা বন্টন ওয়েফার প্রান্তে গুরুতর ত্রুটির কারণ হতে পারে, যা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের ফলনকে কমিয়ে দেবে। Semicorex CVD SiCফোকাস রিং2L10-506419-21 এর জন্য এই ব্যথার বিন্দুটি মোকাবেলার জন্য আদর্শ উপাদান। এটি সাধারণত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকে ইনস্টল করা হয় এবং ওয়েফার প্রান্তের চারপাশে স্থাপন করা হয়। 2L10-506419-21-এর জন্য Semicorex CVD SiC ফোকাস রিং ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর প্লাজমা ফোকাস করতে এবং প্রতিক্রিয়া চেম্বারের মধ্যে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বিতরণকে অপ্টিমাইজ করতে সক্ষম। এইভাবে, এটি কার্যকরভাবে ওয়েফার প্রান্তের ওভার-এচিংয়ের ঘটনাকে প্রতিরোধ করতে পারে, যার ফলে সুনির্দিষ্ট এবং অভিন্ন এচিং ফলাফল নিশ্চিত করা যায়।

2L10-506419-21-এর জন্য Semicorex CVD SiC ফোকাস রিং-এর কাজ

1.এটি এচিং অভিন্নতা উন্নত করতে পারে এবং ওয়েফার সেন্টার এবং প্রান্তের মধ্যে একটি সামঞ্জস্যপূর্ণ এচ রেট বজায় রাখতে পারে, এইভাবে চূড়ান্ত সেমিকন্ডাক্টর চিপসের ফলন বাড়ায়।

2. এটি অসম প্লাজমা বিতরণের কারণে প্রক্রিয়ার বিচ্যুতি এবং কণা দূষণ কমাতে একটি স্থিতিশীল এচিং অবস্থা তৈরি করতে সহায়তা করতে পারে।

3.এটি প্লাজমা-প্ররোচিত ওভার-এচিং এবং প্রান্তের ক্ষতি প্রতিরোধ করতে ওয়েফার প্রান্তটিকে রক্ষা করতে পারে।

চমৎকার উপাদান বৈশিষ্ট্য

সেমিকোরেক্সCVD SiC2L10-506419-21 এর জন্য ফোকাস রিং সঠিকভাবে কঠিন CVD SiC উপকরণ থেকে তৈরি করা হয়েছে। CVD প্রক্রিয়াটি উল্লেখযোগ্যভাবে সিলিকন কার্বাইডের কাঠামোগত এবং কার্যকরী কার্যকারিতা বাড়াতে পারে, যার ফলে 2L10-506419-21-এর Semicorex CVD SiC ফোকাস রিং জটিল এচিং অপারেটিং এনভায়রনমেন্ট পূরণের জন্য নিম্নলিখিত চমৎকার বৈশিষ্ট্যগুলিকে বৈশিষ্ট্যযুক্ত করে।

1.আল্ট্রা-উচ্চ বিশুদ্ধতা, এবং এর অপবিত্রতা কন্টেন্ট 5 পিপিএম-এর কম।

2. উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি তাদের ঘন অভ্যন্তরীণ গঠন ধন্যবাদ.

3.সুপিরিয়র থার্মাল ম্যানেজমেন্ট ক্ষমতা, প্রায় 2000°C তাপমাত্রায় উপাদানে কোন গলন বা নরম হওয়ার ঘটনা ঘটে না।

4. ব্যতিক্রমী জারা প্রতিরোধের, এটি HF, HCl, এবং NH₃ সহ প্রক্রিয়া গ্যাস দ্বারা প্লাজমা এচিং এবং ক্ষয় সহ্য করতে পারে।

উচ্চ নির্ভুলতা মান নিয়ন্ত্রণ

সেমিকোরেক্স সর্বদা উপাদানের নির্ভুলতা এবং গুণমানকে তার শীর্ষ অগ্রাধিকার হিসাবে রাখে এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের পেশাদার নির্ভুলতা মান অনুযায়ী কঠোরভাবে CVD SiC ফোকাস রিং তৈরি করে, যা এইভাবে 2L10-506419-21-এর জন্য Semicorex CVD SiC ফোকাস রিং নিশ্চিত করে একটি নিখুঁত ফিট এবং VELIG ইকুইপমেন্টের সাথে সীমবিহীন VEL4 সরঞ্জাম সরবরাহ করে।