সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সিরামিক ফোকাস রিং

সেমিকোরেক্স সিরামিকফোকাস রিংসেমিকন্ডাক্টরের জন্য s হল কঠোর প্লাজমা এচিং অপারেটিং অবস্থার জন্য তৈরি আদর্শ সমাধান। অত্যাধুনিক সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, প্লাজমা বিতরণকে সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, যা এচিং চেম্বারের স্থায়িত্ব এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর এচিং অভিন্নতা নিশ্চিত করতে পারে। উন্নত এচিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত অপরিহার্য উপাদান হিসাবে, ফোকাস রিংগুলি সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলির চারপাশে অবস্থান করে এবং তাদের সাথে সরাসরি যোগাযোগ করে। ফোকাস রিংগুলির কার্যকারিতা প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা, পণ্যের ফলন এবং সরঞ্জামের আপটাইমের উপর সরাসরি প্রভাব ফেলে।

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স সিরামিক ফোকাস রিংগুলির সুবিধা

1.আল্ট্রা-উচ্চ উপাদান বিশুদ্ধতা

আমাদের বিশুদ্ধতাCVD SiCউপাদান 99.9995% ছাড়িয়ে গেছে। এটি কার্যকরভাবে অপর্যাপ্ত উপাদান বিশুদ্ধতার কারণে সৃষ্ট এচিং চেম্বার এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের দূষণ প্রতিরোধ করতে পারে।

2. ব্যতিক্রমী জারা প্রতিরোধের

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স সিরামিক ফোকাস রিংগুলি CVD SiC থেকে তৈরি করা হয়েছে, যা অক্সিডেশন, ক্ষয় এবং রাসায়নিক ক্ষয়ের জন্য চমৎকার প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্যযুক্ত, বিশেষ করে HF এবং HCI এর মতো প্রক্রিয়া গ্যাসের পাশাপাশি প্লাজমা গ্যাসের বিরুদ্ধে কার্যকর।

3.উচ্চতর প্রতিরোধের কর্মক্ষমতা

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স সিরামিক ফোকাস রিংগুলির প্রতিরোধের অভিন্নতা 5% এর কম।

রেজিস্টিভিটি রেঞ্জ: কম রেজোলিউশন। (<0.02 Ω·সেমি), মধ্য রেস। (0.2–25 Ω·সেমি), উচ্চ রেজোলিউশন। (>100 Ω·সেমি)।

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স সিরামিক ফোকাস রিংগুলির কার্যকারিতা

1. কন্ট্রোল এবং প্রান্ত বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র এবং প্লাজমা বন্টন অভিন্ন

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স সিরামিক ফোকাস রিংগুলি এচিং চেম্বারের অভ্যন্তরে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বন্টন নিয়ন্ত্রণ করতে পারে এবং সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের চারপাশে আরও অভিন্ন প্লাজমা খাপ অর্জন করতে পারে, প্লাজমাকে উল্লম্ব এবং অভিন্ন উপায়ে ওয়েফার পৃষ্ঠের উপর আঘাত করতে সক্ষম করে। এইভাবে, এচিং এজ ইফেক্টকে অনেকটাই কমিয়ে আনা যায় এবং এচিং নির্ভুলতা উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করা যায়।

2. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক রক্ষা করুন

এচিং প্রক্রিয়ায় ফোকাস রিংগুলির সুরক্ষা ব্যতীত, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক উচ্চ-শক্তি প্লাজমার বোমাবাজি এবং ক্ষয়ের সংস্পর্শে আসবে। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি অত্যন্ত উচ্চ প্রতিস্থাপন ব্যয় সহ উচ্চ-মূল্যের উপকরণ দিয়ে তৈরি। ফোকাস রিং ব্যবহার করে কার্যকরভাবে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের প্লাজমা ক্ষয় কমাতে পারে এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাকের রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রতিস্থাপন খরচ কমিয়ে আনতে পারে।