অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড হিটার

সেমিকোরেক্স অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড হিটারগুলি এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য ডিজাইন করা অত্যাধুনিক সিরামিক হিটিং উপাদানগুলি যা উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা, বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং ব্যতিক্রমী স্থায়িত্বের দাবি করে। অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিক থেকে ইঞ্জিনিয়ারড, এই হিটারগুলি দ্রুত এবং অভিন্ন হিটিং সরবরাহ করে, তাদের উচ্চ-নির্ভুলতা পরিবেশের জন্য যেমন সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং, মেডিকেল ডায়াগনস্টিকস এবং উন্নত বিশ্লেষণাত্মক উপকরণগুলির জন্য আদর্শ করে তোলে।

অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড হিটারগুলি সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জামগুলির মূল উপাদান। এগুলি সরাসরি প্রক্রিয়া চেম্বারে এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগে প্রয়োগ করা হয়। তারা কেবল ওয়েফারকেই বহন করে না, তবে ওয়েফারটি একটি পেয়েছে তাও নিশ্চিত করে 

স্থিতিশীল এবং অভিন্ন প্রক্রিয়া তাপমাত্রা। ওয়েফার পৃষ্ঠ এবং অভিন্ন পাতলা ছায়াছবিগুলির প্রজন্মের উচ্চ-নির্ভুলতার প্রতিক্রিয়াগুলির জন্য এই বৈশিষ্ট্যটি প্রয়োজনীয়।

সাধারণত, অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড হিটারে একটি ওয়েফার লোডিং পৃষ্ঠ এবং একটি নলাকার সমর্থন বডি সহ একটি সিরামিক সাবস্ট্রেট অন্তর্ভুক্ত থাকে যা এটি পিছনে সমর্থন করে। হিটিংয়ের জন্য প্রতিরোধী হিটিং সার্কিট ছাড়াও, একটি আরএফ ইলেক্ট্রোড এবং একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ইলেক্ট্রোড এবং অন্যান্য কন্ডাক্টরগুলিও সিরামিক সাবস্ট্রেটের ভিতরে বা পৃষ্ঠের উপরে সরবরাহ করা হয়।

পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জামগুলি সাধারণত উপর ভিত্তি করে সিরামিক উপকরণ ব্যবহার করেঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (এএলএন)কারণ এটি একটি উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশ জড়িত। অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড হিটারগুলি সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে কেন পছন্দ হয় তা মূলত তাদের অনন্য শারীরিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের কারণে। অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডে কেবল উচ্চ তাপীয় পরিবাহিতা নেই এবং অল্প সময়ের মধ্যে দ্রুত গরম এবং শীতল অর্জন করতে পারে, তবে হিটারের স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে ভাল বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং যান্ত্রিক শক্তিও রয়েছে। এছাড়াও, অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের তাপীয় প্রসারণ সহগ সিলিকনের মতোই, যা ওয়েফারের উপর তাপীয় চাপের প্রভাব হ্রাস করতে এবং প্রক্রিয়া ফলন উন্নত করতে সহায়তা করে।

সাধারণভাবে কথা বলা,সিরামিক হিটারমূলত পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়। যেহেতু এটি উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়া জড়িত, তাই ব্যবহৃত সিরামিক উপাদানগুলি মূলত অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড; ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলি মূলত এচিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয় এবং ব্যবহৃত সিরামিক উপাদানগুলি মূলত অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড। সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সিরামিক হিটার এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ছকের মধ্যে একটি ওভারল্যাপ রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত সিরামিক হিটারগুলি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক দিয়ে সজ্জিত, যা উচ্চ-তাপমাত্রা হিটিং এবং ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শোষণের দ্বৈত ফাংশন রয়েছে। এচিং সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চকগুলিও উচ্চ-তাপমাত্রার প্রক্রিয়াগুলিকে জড়িত করতে শুরু করে এবং সিরামিক উপাদানগুলি অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড থেকে অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডে পরিবর্তন করতে হবে।