ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চক

সেমিকোরেক্স ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চাক ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আকর্ষণের নীতির উপর কাজ করে, যান্ত্রিক ক্ল্যাম্প বা ভ্যাকুয়াম সাকশনের প্রয়োজন ছাড়াই নির্ভরযোগ্য এবং সুনির্দিষ্ট ওয়েফার ধরে রাখার প্রস্তাব দেয়, বিশেষত এচিং, আয়ন ইম্পল-এ ব্যবহৃত হয়।

antation, PVD, CVD, ইত্যাদি সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসিং। এর কাস্টমাইজযোগ্য মাত্রাগুলি এটিকে বিস্তৃত অ্যাপ্লিকেশনগুলির সাথে খাপ খাইয়ে নিতে পারে, এটি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়াগুলিতে নমনীয়তা এবং দক্ষতা চাওয়া কোম্পানিগুলির জন্য একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে৷

J-R টাইপ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চকের পিছনে মৌলিক প্রযুক্তি হল ওয়েফার এবং চাকের পৃষ্ঠের মধ্যে একটি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল তৈরি করার ক্ষমতা। এই বলটি চাকের মধ্যে এম্বেড করা ইলেক্ট্রোডগুলিতে একটি উচ্চ ভোল্টেজ প্রয়োগ করে তৈরি করা হয়, যা ওয়েফার এবং চক উভয়ের উপর চার্জ প্ররোচিত করে, যার ফলে একটি শক্তিশালী ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বন্ধন তৈরি হয়। এই প্রক্রিয়াটি কেবল ওয়েফারটিকে নিরাপদে রাখে না তবে ওয়েফার এবং চকের মধ্যে শারীরিক যোগাযোগকেও কমিয়ে দেয়, সম্ভাব্য দূষণ বা যান্ত্রিক চাপ হ্রাস করে যা সংবেদনশীল সেমিকন্ডাক্টর উপাদানগুলিকে ক্ষতি করতে পারে।

Semicorex গ্রাহকদের প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে 200 মিমি থেকে 300 মিমি বা তার চেয়েও বড় পর্যন্ত কাস্টমাইজড পণ্য তৈরি করতে পারে। এই কাস্টমাইজযোগ্য বিকল্পগুলি অফার করে, J-R টাইপ ESC প্লাজমা এচিং, রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD), শারীরিক বাষ্প জমা (PVD), এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন সহ বিভিন্ন অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির জন্য সর্বাধিক নমনীয়তা প্রদান করে।

উপকরণের পরিপ্রেক্ষিতে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চক উচ্চ-মানের সিরামিক উপকরণ থেকে তৈরি, যেমন অ্যালুমিনা (Al2O3) বা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN), যা তাদের চমৎকার অস্তরক বৈশিষ্ট্য, যান্ত্রিক শক্তি এবং তাপীয় স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত। এই সিরামিকগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের কঠোর অবস্থা যেমন উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী পরিবেশ এবং প্লাজমা এক্সপোজার সহ্য করার জন্য প্রয়োজনীয় স্থায়িত্ব প্রদান করে। উপরন্তু, ওয়েফারের সাথে অভিন্ন যোগাযোগ নিশ্চিত করতে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তি বৃদ্ধি করে এবং সামগ্রিক প্রক্রিয়া কর্মক্ষমতা উন্নত করতে সিরামিক পৃষ্ঠকে উচ্চ মাত্রার মসৃণতায় পালিশ করা হয়।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চক সাধারণত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের সম্মুখীন হওয়া তাপীয় চ্যালেঞ্জগুলি পরিচালনা করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এচিং বা ডিপোজিশনের মতো প্রক্রিয়ার সময় তাপমাত্রা ব্যবস্থাপনা গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে ওয়েফারের তাপমাত্রা দ্রুত ওঠানামা করতে পারে। চক ব্যবহার করা সিরামিক উপকরণ চমৎকার তাপ পরিবাহিতা প্রদান করে, দক্ষতার সাথে তাপ নষ্ট করতে এবং একটি স্থিতিশীল ওয়েফার তাপমাত্রা বজায় রাখতে সহায়তা করে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চক কণা দূষণ কমানোর উপর জোর দিয়ে ডিজাইন করা হয়েছে, যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের ক্ষেত্রে গুরুত্বপূর্ণ যেখানে এমনকি মাইক্রোস্কোপিক কণাও চূড়ান্ত পণ্যে ত্রুটির কারণ হতে পারে। চকের মসৃণ সিরামিক পৃষ্ঠ কণা আনুগত্যের সম্ভাবনাকে হ্রাস করে এবং ওয়েফার এবং চাকের মধ্যে শারীরিক যোগাযোগ হ্রাস করে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক হোল্ডিং মেকানিজমের জন্য ধন্যবাদ, দূষণের ঝুঁকি আরও কম করে। J-R টাইপ ESC-এর কিছু মডেল উন্নত পৃষ্ঠের আবরণ বা চিকিত্সা অন্তর্ভুক্ত করে যা কণাকে প্রতিহত করে এবং ক্ষয় প্রতিরোধ করে, ক্লিনরুম পরিবেশে চাকের দীর্ঘায়ু এবং নির্ভরযোগ্যতা বাড়ায়।

সংক্ষেপে, J-R টাইপ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ই-চক হল একটি বহুমুখী এবং নির্ভরযোগ্য ওয়েফার-হোল্ডিং সলিউশন যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার বিস্তৃত পরিসরে ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা প্রদান করে। এর কাস্টমাইজযোগ্য ডিজাইন, উন্নত ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক হোল্ডিং টেকনোলজি এবং দৃঢ় উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলি পরিচ্ছন্নতা এবং নির্ভুলতার সর্বোচ্চ মান বজায় রেখে ওয়েফার হ্যান্ডলিং অপ্টিমাইজ করতে চাওয়া কোম্পানিগুলির জন্য এটি একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে। প্লাজমা এচিং, ডিপোজিশন বা আয়ন ইমপ্লান্টেশনে ব্যবহার করা হোক না কেন, J-R টাইপ ESC আজকের সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের চাহিদা মেটাতে প্রয়োজনীয় নমনীয়তা, স্থায়িত্ব এবং দক্ষতা প্রদান করে। কুলম্ব এবং জনসেন-রাহবেক উভয় মোডে কাজ করার ক্ষমতা, উচ্চ তাপমাত্রা পরিচালনা এবং কণা দূষণ প্রতিরোধ করার ক্ষমতা সহ, J-R টাইপ ESC উচ্চ ফলন এবং উন্নত প্রক্রিয়া ফলাফলের সাধনায় একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান হিসাবে দাঁড়িয়েছে।