ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC

সেমিকোরেক্স ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আনুগত্যের নীতিতে কাজ করে, এটির ডাইইলেকট্রিক সিরামিক স্তরে প্রয়োগ করা একটি উচ্চ-ভোল্টেজ সরাসরি কারেন্ট (DC) ব্যবহার করে। এই প্রযুক্তিটি প্রক্রিয়াকরণের সময় ওয়েফার বা অন্যান্য উপকরণের সুরক্ষিত সংযুক্তির অনুমতি দেয়, যা বিভিন্ন বানোয়াট পর্যায়ে স্থিতিশীলতা এবং নির্ভুলতা উভয়ই নিশ্চিত করে।

যখন একটি উচ্চ ডিসি ভোল্টেজ চাকে প্রয়োগ করা হয়, তখন সিরামিক অস্তরক স্তরের মধ্যে চার্জযুক্ত আয়নগুলি স্থানান্তরিত হয় এবং এর পৃষ্ঠে জমা হয়। এটি চক এবং পণ্য প্রক্রিয়াকরণের মধ্যে একটি শক্তিশালী ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক ক্ষেত্র তৈরি করে। উত্পন্ন ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আকর্ষণটি ওয়েফারটিকে যথাস্থানে ধরে রাখার জন্য যথেষ্ট শক্তিশালী, এটি নিশ্চিত করে যে এটি জটিল এবং উচ্চ-নির্ভুল ক্রিয়াকলাপের সময়ও অচল থাকে। এই সুরক্ষিত হোল্ডটি গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এটি মাইক্রো-আন্দোলন এবং কম্পন কমাতে সাহায্য করে, যা প্রক্রিয়াকৃত ওয়েফারের গুণমান এবং অখণ্ডতার সাথে আপস করতে পারে। ন্যূনতম যান্ত্রিক যোগাযোগের সাথে ওয়েফারগুলিকে সুরক্ষিত করার ক্ষমতাও শারীরিক ক্ষতি প্রতিরোধ করে, যা ঐতিহ্যগত ক্ল্যাম্পিং পদ্ধতির তুলনায় একটি স্বতন্ত্র সুবিধা।

J-R টাইপ ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC বিল্ট-ইন ইলেক্ট্রোড দিয়ে সজ্জিত যা এই ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আনুগত্য তৈরির জন্য অপরিহার্য। এই ইলেক্ট্রোডগুলি চকের মধ্যে অবস্থান করা হয় যাতে ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক বল সমানভাবে বিতরণ করা হয় বা প্রক্রিয়াজাত করা অন্যান্য উপকরণ। এই এমনকি বন্টন সুসংগত চাপ নিশ্চিত করে, যা এচিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং জমা করার মতো জটিল প্রক্রিয়ার সময় অভিন্নতা বজায় রাখার জন্য প্রয়োজনীয়। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC দ্বারা দেওয়া সুনির্দিষ্ট আনুগত্য এটিকে আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের চাহিদাযুক্ত বৈশিষ্ট্যগুলিকে মিটমাট করার অনুমতি দেয়।

আনুগত্যের প্রাথমিক ফাংশন ছাড়াও, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC-তে একটি পরিশীলিত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা রয়েছে। চকটিতে ইন্টিগ্রেটেড হিটিং উপাদান রয়েছে যা প্রক্রিয়াজাত পণ্যের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন একটি গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর, এমনকি সামান্য তাপমাত্রা পরিবর্তন প্রক্রিয়ার ফলাফল প্রভাবিত করতে পারে হিসাবে. ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC মাল্টি-জোন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অফার করে, ওয়েফারের বিভিন্ন অংশকে স্বাধীনভাবে উত্তপ্ত বা ঠান্ডা করার অনুমতি দেয়। এটি নিশ্চিত করে যে ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে তাপমাত্রা ধারাবাহিকভাবে রক্ষণাবেক্ষণ করা হয়, অভিন্ন প্রক্রিয়াকরণ ফলাফল প্রচার করে এবং তাপীয় ক্ষতি বা ওয়ারিংয়ের ঝুঁকি হ্রাস করে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ইএসসি নির্মাণে উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রীর ব্যবহার আরেকটি উল্লেখযোগ্য বৈশিষ্ট্য। এই চাকের জন্য নির্বাচিত উপকরণগুলি কণা দূষণ কমানোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে একটি গুরুত্বপূর্ণ উদ্বেগ। এমনকি ছোট কণাগুলি তৈরি করা মাইক্রোস্ট্রাকচারে ত্রুটি সৃষ্টি করতে পারে, যার ফলে ফলন কমে যায় এবং সম্ভাব্য পণ্য ব্যর্থ হয়। উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রী ব্যবহার করে, ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশে দূষক প্রবর্তনের ঝুঁকি হ্রাস করে, এইভাবে উচ্চ-মানের উত্পাদন সমর্থন করে।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC হল প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ। অনেক সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায়, বিশেষ করে এচিং এবং ডিপোজিশনে, চক প্রতিক্রিয়াশীল প্লাজমা পরিবেশের সংস্পর্শে আসে। সময়ের সাথে সাথে, এই এক্সপোজারটি চাকে ব্যবহৃত উপকরণগুলিকে ক্ষয় করতে পারে, এটির কর্মক্ষমতা এবং জীবনকালকে প্রভাবিত করে। ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC বিশেষভাবে প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে, এটি কঠোর প্রক্রিয়াকরণ পরিবেশেও এর কাঠামোগত অখণ্ডতা এবং কর্মক্ষমতা বজায় রাখতে দেয়। এই স্থায়িত্ব একটি দীর্ঘ সেবা জীবনে অনুবাদ করে, ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে এবং উৎপাদন লাইনে ডাউনটাইম কমিয়ে দেয়।

ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চক ESC এর যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্যগুলিও গুরুত্বপূর্ণ। চকটি অত্যন্ত শক্ত সহনশীলতায় তৈরি করা হয়, এটি নিশ্চিত করে যে এটি তার নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনের জন্য প্রয়োজনীয় আকৃতি এবং মাত্রা বজায় রাখে। উচ্চ-নির্ভুলতা মেশিনিং কৌশলগুলি প্রয়োজনীয় পৃষ্ঠের সমতলতা এবং মসৃণতা অর্জনের জন্য ব্যবহার করা হয়, যা এমনকি ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক আনুগত্য নিশ্চিত করতে এবং সূক্ষ্ম ওয়েফারগুলির ক্ষতির ঝুঁকি কমানোর জন্য অপরিহার্য। চাকের যান্ত্রিক শক্তি সমানভাবে চিত্তাকর্ষক, এটিকে উচ্চ-তাপমাত্রা এবং উচ্চ-চাপ প্রক্রিয়ার সময় আরোপিত শারীরিক চাপ সহ্য করার অনুমতি দেয় বিকৃত না করে বা ওয়েফারটিকে নিরাপদে ধরে রাখার ক্ষমতা হারিয়ে না ফেলে।