অ্যাল হিটার

সেমিকন্ডাক্টরের জন্য সেমিকোরেক্স এএলএন হিটারগুলি একটি ডিভাইস যা সেমিকন্ডাক্টর উপকরণ গরম করার জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি মূলত তৈরিঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিকউপাদান, দুর্দান্ত তাপ পরিবাহিতা এবং উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রায় স্থিরভাবে পরিচালনা করতে পারে। হিটারটি সাধারণত হিটিং উপাদান হিসাবে প্রতিরোধের তার ব্যবহার করে। প্রতিরোধের তারটিকে উত্তপ্ত করার জন্য শক্তিশালী করে, তাপটি অর্ধপরিবাহী উপাদানগুলির গরম করার জন্য হিটারের পৃষ্ঠে স্থানান্তরিত হয়। সেমিকন্ডাক্টরের জন্য অ্যালন হিটারগুলি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে এবং স্ফটিক বৃদ্ধি, অ্যানিলিং এবং বেকিংয়ের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহার করা যেতে পারে।

সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের ফ্রন্ট-এন্ড প্রক্রিয়া (এফএলওএল) এ, ওয়েফারের উপর বিভিন্ন প্রক্রিয়া চিকিত্সা করতে হবে, বিশেষত ওয়েফারকে একটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় গরম করে এবং এর কঠোর প্রয়োজনীয়তা রয়েছে, কারণ তাপমাত্রার অভিন্নতার পণ্য ফলনের উপর খুব গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব রয়েছে; একই সময়ে, অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলি অবশ্যই এমন পরিবেশে কাজ করতে হবে যেখানে ভ্যাকুয়াম, প্লাজমা এবং রাসায়নিক গ্যাস বিদ্যমান, যার জন্য সিরামিক হিটার (সিরামিক হিটার) ব্যবহার প্রয়োজন। সিরামিক হিটারগুলি সেমিকন্ডাক্টর পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলির গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। এগুলি প্রক্রিয়া চেম্বারে ব্যবহৃত হয় এবং ওয়েফারকে একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন প্রক্রিয়া তাপমাত্রা অর্জন করতে এবং উচ্চ নির্ভুলতার সাথে ওয়েফার পৃষ্ঠে পাতলা ছায়াছবি তৈরি করতে প্রতিক্রিয়া জানাতে এবং সক্ষম করতে সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।

সিরামিক হিটারের জন্য পাতলা ফিল্ম জমা করার সরঞ্জামগুলি সাধারণত উপর ভিত্তি করে সিরামিক উপকরণ ব্যবহার করেঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (এএলএন)কারণ উচ্চ তাপমাত্রা জড়িত। অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডে বৈদ্যুতিক নিরোধক এবং দুর্দান্ত তাপ পরিবাহিতা রয়েছে; তদতিরিক্ত, এর তাপীয় প্রসারণ সহগ সিলিকনের কাছাকাছি, এবং এটিতে দুর্দান্ত প্লাজমা প্রতিরোধের রয়েছে, এটি একটি অর্ধপরিবাহী ডিভাইস উপাদান হিসাবে ব্যবহারের জন্য খুব উপযুক্ত করে তোলে।

এএলএন হিটারগুলিতে একটি সিরামিক বেস অন্তর্ভুক্ত যা ওয়েফার বহন করে এবং একটি নলাকার সমর্থন বডি যা এটি পিছনে সমর্থন করে। সিরামিক বেসের অভ্যন্তরে বা পৃষ্ঠের উপরে, গরম করার জন্য একটি প্রতিরোধের উপাদান (হিটিং লেয়ার) ছাড়াও একটি আরএফ ইলেক্ট্রোড (আরএফ স্তর )ও রয়েছে। দ্রুত গরম এবং শীতলকরণ অর্জনের জন্য, সিরামিক বেসের বেধটি পাতলা হওয়া উচিত তবে খুব পাতলাও অনড়তা হ্রাস করবে। এএলএন হিটারের সমর্থন বডিটি সাধারণত বেসের মতো তাপীয় প্রসারণ সহগ সহ একটি উপাদান দিয়ে তৈরি হয়, তাই সমর্থন বডিটি প্রায়শই অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড দিয়েও তৈরি হয়। এএলএন হিটারগুলি প্লাজমা এবং ক্ষয়কারী রাসায়নিক গ্যাসগুলির প্রভাব থেকে টার্মিনাল এবং তারগুলি রক্ষা করতে একটি শ্যাফ্ট (শ্যাফ্ট) যৌথ নীচে একটি অনন্য কাঠামো গ্রহণ করে। হিটারের অভিন্ন তাপমাত্রা নিশ্চিত করার জন্য একটি তাপ স্থানান্তর গ্যাস ইনলেট এবং আউটলেট পাইপ সমর্থন বডিটিতে সরবরাহ করা হয়। বেস এবং সাপোর্ট বডি রাসায়নিকভাবে একটি বন্ধন স্তরের সাথে বন্ধনযুক্ত।

একটি প্রতিরোধ হিটিং উপাদান হিটার বেসে সমাহিত করা হয়। এটি একটি সর্পিল বা কেন্দ্রীভূত বৃত্ত সার্কিট প্যাটার্ন গঠনের জন্য পরিবাহী পেস্ট (টুংস্টেন, মলিবডেনাম বা ট্যানটালাম) সহ স্ক্রিন প্রিন্টিং দ্বারা গঠিত হয়। অবশ্যই, ধাতব তার, ধাতব জাল, ধাতব ফয়েল ইত্যাদিও ব্যবহার করা যেতে পারে। স্ক্রিন প্রিন্টিং পদ্ধতিটি ব্যবহার করার সময়, একই আকারের দুটি সিরামিক প্লেট প্রস্তুত করা হয় এবং পরিবাহী পেস্টগুলি তাদের একটির পৃষ্ঠে প্রয়োগ করা হয়। তারপরে, এটি একটি প্রতিরোধী হিটিং উপাদান গঠনের জন্য sintered হয় এবং অন্যান্য সিরামিক প্লেটটি প্রতিরোধী হিটিং উপাদান দিয়ে ওভারল্যাপ করা হয় যাতে একটি প্রতিরোধক উপাদানটি বেসে সমাহিত করা হয়।

অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিকগুলির তাপীয় পরিবাহিতা প্রভাবিত করে এমন প্রধান কারণগুলি হ'ল জাল, অক্সিজেন সামগ্রী, গুঁড়ো বিশুদ্ধতা, মাইক্রোস্ট্রাকচার ইত্যাদির ঘনত্ব, যা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড সিরামিকের তাপীয় পরিবাহিতা প্রভাবিত করবে।