সেমিকোরেক্সের AlN হিটারটি সিলিকন ওয়েফারকে সমর্থন এবং গরম করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) থেকে তৈরি, এই হিটারটি উন্নত বৈশিষ্ট্যগুলির একটি অ্যারে অফার করে যা বিভিন্ন উচ্চ-নির্ভুল অ্যাপ্লিকেশনের প্রয়োজন মেটাতে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে।**
অপারেটিং পরিবেশে বহুমুখিতা
AlN হিটারের অন্যতম প্রধান বৈশিষ্ট্য হল বায়ুমণ্ডলীয় এবং ভ্যাকুয়াম উভয় অবস্থা সহ বিভিন্ন অপারেটিং পরিবেশে দক্ষতার সাথে সম্পাদন করার ক্ষমতা। 1000°C (1832°F) পর্যন্ত প্রসারিত একটি চিত্তাকর্ষক অপারেশনাল তাপমাত্রা পরিসরের সাথে, এটি বোর্ড জুড়ে দ্রুত এবং অভিন্ন গরম নিশ্চিত করে। এই বহুমুখিতা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন ডিভাইস থেকে ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন সিস্টেম, স্পুটারিং মেশিন, এবং রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) ডিভাইসের জন্য অনেকগুলি অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
সিন্টারিং প্রক্রিয়া সহ যথার্থ প্রকৌশল
AlN হিটারের উত্পাদন প্রক্রিয়ার মধ্যে ভ্যাকুয়াম হট প্রেসিং জড়িত, যা প্রচলিত চাপবিহীন সিন্টারিংয়ের চেয়ে উল্লেখযোগ্যভাবে আরও চ্যালেঞ্জিং প্রক্রিয়া। এই অত্যাধুনিক কৌশলটি নিশ্চিত করে যে হিটারের অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড বিশুদ্ধতা একটি অসামান্য 99.5% পৌঁছেছে। এই ধরনের কঠোর উত্পাদন মান নিয়োগ করে, Semicorex গ্যারান্টি দেয় যে প্রতিটি AlN Heater ব্যতিক্রমী যান্ত্রিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্য প্রদর্শন করে, এমনকি সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ অবস্থার মধ্যেও নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা প্রদান করে।
ব্যতিক্রমী তাপ পরিবাহিতা
AlN হিটারের একটি স্ট্যান্ডআউট বৈশিষ্ট্য হল এর উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, যা 180 W/m*K অতিক্রম করে। এই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা বিস্তৃত তাপমাত্রার পরিসরে চমৎকার তাপীয় অভিন্নতা অর্জনে সহায়ক, অনেক উচ্চ-নির্ভুলতা প্রয়োগের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর। হিটারটি 2000 W/in² (310 W/cm²) পর্যন্ত সরবরাহ করতে সক্ষম একটি বহুস্তর নির্মাণের সাথে ইঞ্জিনিয়ার করা যেতে পারে, দক্ষ এবং অভিন্ন তাপ বিতরণ নিশ্চিত করে। এই ক্ষমতাটি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে বিশেষভাবে মূল্যবান যেখানে সুনির্দিষ্ট তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সর্বাগ্রে।
উচ্চতর জারা প্রতিরোধের
এর তাপীয় বৈশিষ্ট্য ছাড়াও, AlN হিটার উচ্চতর জারা প্রতিরোধের গর্ব করে। এটি হ্যালোজেন গ্যাস এবং অক্সিডাইজিং পরিবেশের বিরুদ্ধে অত্যন্ত স্থিতিস্থাপক, এবং এটি বেশিরভাগ অ্যাসিডিক এবং ক্ষারীয় দ্রবণগুলির শক্তিশালী প্রতিরোধও প্রদর্শন করে। এই প্রতিরোধ দীর্ঘমেয়াদী স্থায়িত্ব এবং কর্মক্ষম স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে, এমনকি এমন পরিবেশেও যেখানে ক্ষয়কারী পদার্থের সংস্পর্শ একটি ধ্রুবক উদ্বেগের বিষয়। এই ধরনের স্থায়িত্ব ঘন ঘন প্রতিস্থাপনের প্রয়োজনীয়তা হ্রাস করে, যার ফলে রক্ষণাবেক্ষণের খরচ কম হয় এবং সামগ্রিক সিস্টেমের নির্ভরযোগ্যতা বৃদ্ধি পায়।
উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্প জুড়ে অ্যাপ্লিকেশন
সেমিকোরেক্সের AlN হিটার উন্নত বৈশিষ্ট্যের কারণে বিভিন্ন উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্পে অপরিহার্য:
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং: হিটারের ইউনিফর্ম হিটিং এবং সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ এটিকে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহারের জন্য আদর্শ করে তোলে, উচ্চ-মানের ওয়েফার উত্পাদন নিশ্চিত করে।
ভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন সিস্টেম: উচ্চ তাপমাত্রায় ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করার ক্ষমতা এটিকে ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন সিস্টেমের জন্য একটি চমৎকার পছন্দ করে তোলে, যেখানে নিয়ন্ত্রিত গরম করা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
স্পাটারিং মেশিন: AlN হিটারের তাপ পরিবাহিতা এবং ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা স্পাটারিং মেশিনের কার্যকারিতা এবং আয়ুষ্কাল বাড়ায়, যেগুলি আবরণ সাবস্ট্রেটের জন্য ব্যবহৃত হয়।
রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) ডিভাইস: CVD প্রক্রিয়ায়, যেখানে উপাদান রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে সাবস্ট্রেটে জমা হয়, হিটারের অভিন্ন তাপমাত্রা বন্টন সুসংগত এবং উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম নিশ্চিত করে।
বর্ধিত কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতা
AlN হিটারের নকশা এবং উপাদানের গঠন এর বর্ধিত কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতায় অবদান রাখে। অ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইডের বিশুদ্ধতা, কঠোর সিন্টারিং প্রক্রিয়ার সাথে মিলিত, একটি হিটারে পরিণত হয় যা শুধুমাত্র ব্যতিক্রমীভাবে ভাল কাজ করে না কিন্তু বর্ধিত সময়কালে এর অখণ্ডতাও বজায় রাখে। এই নির্ভরযোগ্যতা উচ্চ-স্টেকের পরিবেশে অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ যেখানে সরঞ্জামের ব্যর্থতা উল্লেখযোগ্য ডাউনটাইম এবং আর্থিক ক্ষতির কারণ হতে পারে।
কাস্টমাইজযোগ্য ডিজাইন
বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনের অনন্য প্রয়োজনীয়তা রয়েছে তা বুঝে, সেমিকোরেক্স AlN হিটারের জন্য কাস্টমাইজযোগ্য ডিজাইনের বিকল্পগুলি অফার করে। হিটারের আকার, আকৃতি বা পাওয়ার আউটপুট সামঞ্জস্য করা হোক না কেন, আমাদের বিশেষজ্ঞদের দল ক্লায়েন্টদের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে কাজ করে নির্দিষ্ট চাহিদা পূরণ করে এমন সমাধান তৈরি করতে। কাস্টমাইজেশনের এই স্তরটি নিশ্চিত করে যে AlN হিটার বিদ্যমান সিস্টেমে নির্বিঘ্নে একত্রিত হয়, সামগ্রিক দক্ষতা এবং কর্মক্ষমতা বৃদ্ধি করে।