সেমিকোরেক্স SiSiC ওয়েফার বোট সেমিকন্ডাক্টরের গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, এটি সিভিডি আবরণ সহ উচ্চ বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক দিয়ে তৈরি। সেমিকোরেক্স গ্রাহকের চাহিদার ভিত্তিতে সবচেয়ে উপযুক্ত সমাধান দিতে পারে এবং বিশ্বব্যাপী অংশীদারদের দ্বারা যোগ্যতা অর্জন করতে পারে।*
সেমিকন্ডাক্টর এবং সৌর কোষ উত্পাদনের প্রতিযোগিতামূলক ল্যান্ডস্কেপে, উপাদান দীর্ঘায়ু সহ থ্রুপুট ভারসাম্য বজায় রাখা অপরিহার্য। আমাদেরSiSiC ওয়েফার বোটগুলিকে উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লি পরিচালনার জন্য "শিল্প কাজের ঘোড়া" হিসাবে তৈরি করা হয়েছে। প্রতিক্রিয়া-বন্ধন প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, আমরা একটি ক্যারিয়ার সরবরাহ করি যা ঐতিহ্যগত কোয়ার্টজ এবং স্ট্যান্ডার্ড সিরামিকের তুলনায় উচ্চতর যান্ত্রিক শক্তি এবং তাপীয় শক প্রতিরোধের অফার করে।
sintered SiC থেকে ভিন্ন, যা উচ্চ-চাপ পাউডার একত্রীকরণের মাধ্যমে গঠিত হয়,SiSiC ওয়েফার বোট গলিত সিলিকন সহ একটি ছিদ্রযুক্ত কার্বন প্রিফর্মের অনুপ্রবেশ দ্বারা উত্পাদিত হয়। এই "প্রতিক্রিয়া বন্ধন" প্রক্রিয়াটি উত্পাদনের সময় প্রায় শূন্য সংকোচন সহ একটি উপাদানে পরিণত হয়, যা অবিশ্বাস্য মাত্রিক নির্ভুলতার সাথে জটিল, বড় আকারের নৌকা স্থাপত্য তৈরির অনুমতি দেয়।
ব্যাচ প্রক্রিয়াকরণের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ চ্যালেঞ্জগুলির মধ্যে একটি হল চুল্লির দ্রুত "পুশ-পুল" চক্র। কোয়ার্টজ বাহক প্রায়ই তাপীয় চাপে ফাটল ধরে। SiSiC এর একটি উল্লেখযোগ্যভাবে উচ্চতর মডুলাস অফ ফাটল (MOR) এবং চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। এটি আমাদের নৌকাগুলিকে কাঠামোগত ব্যর্থতার ঝুঁকি ছাড়াই দ্রুত তাপমাত্রার র্যাম্পিং সহ্য করতে দেয়, সরাসরি কম সরঞ্জাম ডাউনটাইমে অনুবাদ করে।
ওয়েফারের আকার বাড়ার সাথে সাথে থ্রুপুট সর্বাধিক করার জন্য ব্যাচগুলি বড় হয়, ক্যারিয়ারের ওজন বৃদ্ধি পায়। আমাদের SiSiC নৌকা ব্যতিক্রমী হামাগুড়ি প্রতিরোধের প্রদর্শন. যদিও অন্যান্য উপকরণ 1,250°C তাপমাত্রায় ভারী বোঝার নিচে ঝিমঝিম করতে পারে বা ঝাঁকুনি দিতে পারে, SiSiC তার জ্যামিতি বজায় রাখে, নিশ্চিত করে যে ওয়েফার স্লটের সমান্তরালতা হাজার হাজার চক্রের মধ্যে নিখুঁত থাকে।
আমাদের SiSiC নৌকাগুলি কঠোর রাসায়নিক পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। উপাদানটি এলপিসিভিডি এবং ডিফিউশন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির সহজাতভাবে প্রতিরোধী। তদ্ব্যতীত, কোনও "ফ্রি সিলিকন" মাইগ্রেশন নেই তা নিশ্চিত করার জন্য পৃষ্ঠটি চিকিত্সা করা হয়, একটি স্থিতিশীল, পরিষ্কার পরিবেশ প্রদান করে যা আপনার ওয়েফারগুলির বৈদ্যুতিক অখণ্ডতা রক্ষা করে।
| সম্পত্তি |
SiSiC (প্রতিক্রিয়া বন্ধন) |
ঐতিহ্যগত কোয়ার্টজ |
শিল্প সুবিধা |
| সর্বোচ্চ ব্যবহার টেম্প |
1,350°C - 1,380°C |
~1,100°C |
উচ্চতর প্রক্রিয়া নমনীয়তা |
| তাপ পরিবাহিতা |
> 150 W/m·K |
1.4 W/m·K |
দ্রুত, অভিন্ন গরম |
| ইলাস্টিক মডুলাস |
~330 জিপিএ |
~70 জিপিএ |
ভারী লোড অধীনে কোন sagging |
| পোরোসিটি |
< 0.1% |
0% |
ন্যূনতম গ্যাস শোষণ |
| ঘনত্ব |
3.02 - 3.10 গ্রাম/সেমি³ |
2.20 গ্রাম/সেমি³ |
উচ্চ কাঠামোগত স্থিতিশীলতা |
আমাদের SiSiC ওয়েফার বোট TEL (টোকিও ইলেক্ট্রন), ASM এবং কোকুসাই ইলেকট্রিক সহ বিশ্বের শীর্ষস্থানীয় ফার্নেস OEM-এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। আমরা এর জন্য কাস্টমাইজড সমাধান প্রদান করি:
অনুভূমিক ডিফিউশন ফার্নেস: 150 মিমি এবং 200 মিমি ওয়েফারের জন্য উচ্চ-নির্ভুল স্লটিং সহ দীর্ঘ-দৈর্ঘ্যের নৌকা।
উল্লম্ব ফার্নেস সিস্টেম: কম ভরের নকশা যা গ্যাস প্রবাহ এবং তাপীয় অভিন্নতাকে অপ্টিমাইজ করে।
সোলার পিভি সেল উৎপাদন: উচ্চ-ভলিউম POCl3 ডিফিউশনের জন্য ডিজাইন করা বিশেষায়িত SiSiC ক্যারিয়ার, কোয়ার্টজের চেয়ে 5-10x দীর্ঘ পরিষেবা জীবন অফার করে।
বিশেষজ্ঞ অন্তর্দৃষ্টি: 1,380°C এর বেশি প্রসেসের জন্য, আমরা আমাদের Sintered SiC লাইনের সুপারিশ করি। যাইহোক, ডিফিউশন, অক্সিডেশন, এবং LPCVD ধাপের সিংহভাগের জন্য, SiSiC শিল্পে সবচেয়ে সাশ্রয়ী কার্যক্ষমতা-থেকে-জীবনকাল অনুপাত প্রদান করে।
উপাদানের দক্ষতা: আমরা আমাদের প্রতিক্রিয়া বন্ধন প্রক্রিয়ার জন্য শুধুমাত্র উচ্চ-বিশুদ্ধ আলফা-SiC পাউডার এবং ইলেকট্রনিক-গ্রেড সিলিকন উৎস করি।
যথার্থ প্রকৌশল: আমাদের CNC গ্রাইন্ডিং ক্ষমতা ±0.02 মিমি এর মধ্যে স্লট সহনশীলতার জন্য অনুমতি দেয়, ওয়েফার কম্পন এবং ভাঙ্গন হ্রাস করে।
স্থায়িত্ব এবং ROI: কোয়ার্টজ থেকে SiSiC-তে স্যুইচ করার মাধ্যমে, ফ্যাবগুলি সাধারণত উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাসকৃত প্রতিস্থাপন ফ্রিকোয়েন্সির কারণে বার্ষিক ভোগযোগ্য ব্যয়ের 40% হ্রাস দেখতে পায়।
আমরা যে নৌকা চালাই তার সাথে একটি সার্টিফিকেট অফ কনফরমেন্স (CoC) এবং একটি পূর্ণমাত্রিক পরিদর্শন প্রতিবেদন থাকে, এটি নিশ্চিত করে যে আপনার প্রক্রিয়া কিটটি ক্লিনরুমে অবিলম্বে ইনস্টল করার জন্য প্রস্তুত রয়েছে।