সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং অ্যাপ্লিকেশানগুলিতে ব্যবহারের জন্য আপনার যদি একটি উচ্চ-পারফরম্যান্স গ্রাফাইট সাসেপ্টরের প্রয়োজন হয়, তাহলে ব্যারেল চুল্লিতে সেমিকোরেক্স সিলিকন এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশন হল আদর্শ পছন্দ। এর উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC আবরণ এবং ব্যতিক্রমী তাপ পরিবাহিতা উচ্চতর সুরক্ষা এবং তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্যগুলি প্রদান করে, এটিকে এমনকি সবচেয়ে চ্যালেঞ্জিং পরিবেশেও নির্ভরযোগ্য এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতার জন্য যেতে পছন্দ করে।
ব্যারেল চুল্লিতে সেমিকোরেক্স সিলিকন এপিট্যাক্সিয়াল ডিপোজিশন ওয়েফার চিপগুলিতে এপিক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধির জন্য একটি আদর্শ পণ্য। এটি একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট ক্যারিয়ার যা তাপ এবং ক্ষয় থেকে অত্যন্ত প্রতিরোধী, এটি চরম পরিবেশে ব্যবহারের জন্য নিখুঁত করে তোলে। এই ব্যারেল সাসেপ্টর এলপিই-এর জন্য উপযুক্ত, এবং এটি তাপীয় প্রোফাইলের সমানতা নিশ্চিত করে চমৎকার তাপ কর্মক্ষমতা প্রদান করে। উপরন্তু, এটি সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্নের গ্যারান্টি দেয় এবং দূষণ বা অমেধ্যকে ওয়েফারে ছড়িয়ে পড়া থেকে বাধা দেয়।
Semicorex-এ, আমরা আমাদের গ্রাহকদের উচ্চ-মানের, সাশ্রয়ী পণ্য সরবরাহ করার উপর ফোকাস করি। ব্যারেল চুল্লিতে আমাদের সিলিকন এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশনের মূল্য সুবিধা রয়েছে এবং এটি অনেক ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারে রপ্তানি করা হয়। আমরা আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হতে লক্ষ্য রাখি, ধারাবাহিক মানের পণ্য এবং ব্যতিক্রমী গ্রাহক পরিষেবা সরবরাহ করা।
ব্যারেল চুল্লিতে সিলিকন এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশনের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
ব্যারেল চুল্লিতে সিলিকন এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশনের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।