এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য Semicorex-এর SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেল হল সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি অত্যন্ত নির্ভরযোগ্য সমাধান, যা উচ্চতর তাপ বিতরণ এবং তাপ পরিবাহিতা বৈশিষ্ট্যগুলির বৈশিষ্ট্যযুক্ত। এটি জারা, অক্সিডেশন এবং উচ্চ তাপমাত্রার জন্যও অত্যন্ত প্রতিরোধী।
এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য Semicorex-এর SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেল হল একটি প্রিমিয়াম মানের পণ্য, নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্বের সর্বোচ্চ মানের জন্য তৈরি। এটি চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, জারা প্রতিরোধের অফার করে এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে বেশিরভাগ এপিটাক্সিয়াল চুল্লির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত।
এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য আমাদের SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেল সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্ন অর্জনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, তাপীয় প্রোফাইলের সমানতা নিশ্চিত করে। এটি ওয়েফার চিপে উচ্চ-মানের এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি নিশ্চিত করে কোনো দূষণ বা অমেধ্য বিস্তার প্রতিরোধ করতে সাহায্য করে।
এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য আমাদের SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেল সম্পর্কে আরও জানতে আমাদের সাথে আজই যোগাযোগ করুন।
এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেলের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
এপিটাক্সিয়াল রিঅ্যাক্টর চেম্বারের জন্য SiC-কোটেড সাসেপ্টর ব্যারেলের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।