সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেট

সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেটএচিং অপারেশনে ওয়েফারের জন্য স্থিতিশীল সমর্থন এবং সুনির্দিষ্ট অবস্থান প্রদানে সক্ষম, দক্ষতার সাথে কম্পন বা স্থানচ্যুতি দ্বারা আনা এচিং নির্ভুলতা হ্রাস প্রতিরোধ করে।

সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেটের তাপ ব্যবস্থাপনা ক্ষমতা রয়েছে। এর উচ্চতর তাপ পরিবাহিতাSIC সিরামিকসিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেটকে দ্রুত তাপ নষ্ট করার ক্ষমতা দেয়, যা ওয়ার্কপিসের স্থানীয় অতিরিক্ত গরম হওয়া রোধ করতে এবং এচিং তাপমাত্রার অভিন্নতা নিশ্চিত করতে সাহায্য করে, যার ফলে এচিং গুণমান উন্নত হয়। SiC সিরামিকের তাপ সম্প্রসারণের একটি কম সহগ রয়েছে, যা সিলিকন কার্বাইড ICP এচিং প্লেটকে ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে এবং তাপীয় সম্প্রসারণের কারণে ওয়ার্কপিসের স্থানচ্যুতি বা বিকৃতি কমাতে দেয়।

ICP অপারেটিং পরিবেশের জন্য সেমিকন্ডাক্টর-স্তরের পরিচ্ছন্নতা প্রয়োজন। সেমিকোরেক্সের সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেট সম্পূর্ণরূপে এই প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে, রাসায়নিক গ্যাস (যেমন ক্লোরিন এবং ফ্লোরিন) এবং আইসিপি এচিং পরিবেশের প্লাজমাকে ব্যতিক্রমী প্রতিরোধ প্রদান করে। এই উল্লেখযোগ্য বৈশিষ্ট্যটি এচিং অপারেশনের সময় নির্গত দূষিত পদার্থের পরিমাণ হ্রাস করে প্রক্রিয়া পরিবেশকে পরিষ্কার রাখে।

ICP অপারেটিং পরিবেশের জন্য সেমিকন্ডাক্টর-স্তরের পরিচ্ছন্নতা প্রয়োজন। সেমিকোরেক্সের সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেট সম্পূর্ণরূপে এই প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে, রাসায়নিক গ্যাস (যেমন ক্লোরিন এবং ফ্লোরিন) এবং আইসিপি এচিং পরিবেশের প্লাজমাকে ব্যতিক্রমী প্রতিরোধ প্রদান করে। এই উল্লেখযোগ্য বৈশিষ্ট্যটি এচিং অপারেশনের সময় নির্গত দূষিত পদার্থের পরিমাণ হ্রাস করে প্রক্রিয়া পরিবেশকে পরিষ্কার রাখে।

সেমিকোরেক্স ব্যবহারকারীর সুবিধাকে অগ্রাধিকার দেয়, সিলিকন কার্বাইড আইসিপি এচিং প্লেটের কাস্টমাইজড ডিজাইন অফার করে যা বিদ্যমান ICP এচিং সিস্টেমের সাথে নির্বিঘ্নে একত্রিত হয় এবং বিভিন্ন কনফিগারেশনের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। এটি একটি মসৃণ রূপান্তরের জন্য অনুমতি দেয়, এটি সরঞ্জাম নির্মাতাদের জন্য একটি আদর্শ আপগ্রেড সমাধান করে তোলে।