সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড-কোটেড গ্রাফাইট ব্যারেল সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত পছন্দ যার জন্য উচ্চ তাপ এবং জারা প্রতিরোধের প্রয়োজন। এর ব্যতিক্রমী তাপ পরিবাহিতা এবং তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য এটিকে এলপিই প্রক্রিয়া এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রা পরিবেশে ব্যবহারের জন্য আদর্শ করে তোলে।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের ক্ষেত্রে, সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড-কোটেড গ্রাফাইট ব্যারেল ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা এবং নির্ভরযোগ্যতার জন্য শীর্ষ পছন্দ। এর উচ্চ-মানের SiC আবরণ এবং উচ্চতর ঘনত্ব এবং তাপ পরিবাহিতা এমনকি সবচেয়ে চ্যালেঞ্জিং উচ্চ-তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী পরিবেশেও উচ্চতর তাপ বিতরণ এবং সুরক্ষা প্রদান করে।
আমাদের সিলিকন কার্বাইড-কোটেড গ্রাফাইট ব্যারেল একটি সমান তাপীয় প্রোফাইল নিশ্চিত করে, সর্বোত্তম ল্যামিনার গ্যাস প্রবাহ প্যাটার্নের গ্যারান্টি দেয়। এটি কোনো দূষণ বা অমেধ্যকে ওয়েফারে ছড়িয়ে পড়তে বাধা দেয়, এটিকে ক্লিনরুম পরিবেশে ব্যবহারের জন্য আদর্শ করে তোলে। সেমিকোরেক্স চীনে SiC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট সাসেপ্টরের একটি বড় মাপের প্রস্তুতকারক এবং সরবরাহকারী, এবং আমাদের পণ্যগুলির একটি ভাল দামের সুবিধা রয়েছে। আমরা সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।
সিলিকন কার্বাইড-কোটেড গ্রাফাইট ব্যারেলের পরামিতি
CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন |
||
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য |
||
ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার |
FCC β ফেজ |
|
ঘনত্ব |
g/cm ³ |
3.21 |
কঠোরতা |
ভিকারস কঠোরতা |
2500 |
শস্য আকার |
μm |
2~10 |
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা |
% |
99.99995 |
তাপ ক্ষমতা |
J kg-1 K-1 |
640 |
পরমানন্দ তাপমাত্রা |
℃ |
2700 |
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ |
MPa (RT 4-পয়েন্ট) |
415 |
তরুণের মডুলাস |
Gpa (4pt বাঁক, 1300℃) |
430 |
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
তাপ পরিবাহিতা |
(W/mK) |
300 |
সিলিকন কার্বাইড-কোটেড গ্রাফাইট ব্যারেলের বৈশিষ্ট্য
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই ভাল ঘনত্ব রয়েছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা এবং ক্ষয়কারী কাজের পরিবেশে একটি ভাল প্রতিরক্ষামূলক ভূমিকা পালন করতে পারে।
- একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টরের পৃষ্ঠের সমতলতা খুব বেশি।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড স্তরের মধ্যে তাপীয় সম্প্রসারণ সহগের পার্থক্য হ্রাস করুন, ক্র্যাকিং এবং ডিলামিনেশন রোধ করতে কার্যকরভাবে বন্ধন শক্তি উন্নত করুন।
- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।
- উচ্চ গলনাঙ্ক, উচ্চ তাপমাত্রা অক্সিডেশন প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের।