সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড চকগুলি বিশেষভাবে ফটোলিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে এবং এর একাধিক সুবিধা রয়েছে যেমন উচ্চ নির্ভুলতা, অতি-হালকা ওজন, উচ্চ কঠোরতা, তাপীয় প্রসারণের কম সহগ এবং চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের।
সেমিকোরেক্সসিলিকন কার্বাইড চকতৈরি কার্যকরী শোষণ ডিভাইসসিলিকন কার্বাইড(SiC) সিরামিক উপাদান। এগুলি প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর, ফটোভোলটাইক্স, নির্ভুলতা উত্পাদন এবং অন্যান্য পরিস্থিতিতে ব্যবহৃত হয় যেগুলির উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, পরিধান প্রতিরোধের, রাসায়নিক জারা প্রতিরোধের এবং উপকরণগুলির পরিচ্ছন্নতার জন্য অত্যন্ত উচ্চ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।
SiC সিরামিক উপাদান উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের আছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশে এর কাঠামোগত স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা এটিকে শোষণের সময় উত্পন্ন তাপ দ্রুত নষ্ট করতে দেয়, ওয়ার্কপিসের অতিরিক্ত গরম হওয়া প্রতিরোধ করে। উপাদানের ব্যতিক্রমী কঠোরতা এটিকে রুক্ষ বা হার্ড ওয়ার্কপিস আঁকড়ে ধরার জন্য উপযুক্ত করে তোলে। উপরন্তু, SiC সিরামিক উপাদানের রাসায়নিক জড়তা এটিকে শক্তিশালী অ্যাসিড, শক্তিশালী ক্ষার এবং জৈব দ্রাবক দ্বারা ক্ষয় প্রতিরোধী করে তোলে। এই উপাদানের কম অপরিষ্কার বৃষ্টিপাত কর্মক্ষমতা অশুচিতা দূষণ এড়ায় এবং সরঞ্জামের স্বাভাবিক অপারেশন সময়কে দীর্ঘায়িত করে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের অতি-পরিষ্কার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড চাকের সাধারণ বৈশিষ্ট্য
1. উচ্চ নির্ভুলতা: সমতলতা 0.3-0.5μm।
2. মিরর পলিশিং
3.আল্ট্রা-হালকা ওজন
4. উচ্চ দৃঢ়তা
5. তাপ সম্প্রসারণের নিম্ন সহগ
6. চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের
সিলিকন কার্বাইড চাকের প্রয়োগের পরিস্থিতি
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন
ওয়েফার স্থানান্তর এবং প্রক্রিয়াকরণ: ফটোলিথোগ্রাফি এবং এচিংয়ের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে, স্থানচ্যুতি ত্রুটিগুলি এড়াতে ওয়েফারটিকে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে স্থিরভাবে শোষণ করতে হবে।
প্লাজমা জারা প্রতিরোধের: সেমিকন্ডাক্টর এচিং প্রক্রিয়ায়, চমৎকার জারা প্রতিরোধের পণ্যের পরিষেবা জীবন প্রসারিত করতে পারে।
ফটোভোলটাইক কোষ উত্পাদন
সিলিকন ওয়েফার কাটিং: কাটিং কম্পন প্রতিরোধ করতে এবং সিলিকন ওয়েফারের খণ্ডন হার কমাতে সিলিকন ওয়েফারগুলিকে শোষণ করে।
স্পষ্টতা অপটিক্স এবং ইলেকট্রনিক্স উত্পাদন
ওয়েফার স্থানান্তর এবং প্রক্রিয়াকরণ: ফটোলিথোগ্রাফি এবং এচিংয়ের মতো প্রক্রিয়াগুলিতে, স্থানচ্যুতি ত্রুটিগুলি এড়াতে ওয়েফারটিকে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে স্থিরভাবে শোষণ করতে হবে।
সেমিকন্ডাক্টর, ফটোভোলটাইকস এবং রিসিশন ম্যানুফ্যাকচারিং-এর মতো শিল্পে প্রযুক্তিগত অগ্রগতির প্রচারের জন্য তাদের চমৎকার কর্মক্ষমতার কারণে সিলিকন কার্বাইড চকগুলি উচ্চ-প্রান্তের উত্পাদন ক্ষেত্রে মূল উপযোগী হয়ে উঠেছে।