ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা চকস

সেমিকোরেক্স ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা চকগুলি সর্বাধিক সূক্ষ্ম ওয়েফারগুলির জন্য উদ্দেশ্য-নির্মিত। তাদের ছিদ্রযুক্ত নকশাটি ছকের পৃষ্ঠ জুড়ে ধারাবাহিক ভ্যাকুয়াম বিতরণের নিশ্চয়তা সরবরাহ করে, যা স্থানীয়করণের চাপকে হ্রাস করে এবং প্রান্ত চিপিং এবং ভাঙ্গন প্রতিরোধে সহায়তা করে। যান্ত্রিক ক্ল্যাম্পিং (শক্ত বা অন্যথায়) মাইক্রোপারাস নেটওয়ার্কের মতো কার্যকর নয় যা ওভার মেকানিকাল স্ট্রেসকে সীমাবদ্ধ না করে এমনকি ডেলিকেট ওয়েফারগুলি ধরে রাখে এবং ওয়েফারটিকে নিরাপদে ঠিক করে দেয়, কারণ মাইক্রোপারাস কাঠামো পরিধানকে বাধা দেয় এবং একটি মৃদু হোল্ড সরবরাহ করে। পুরো চক পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন শোষণের প্রয়োজনীয়তা বিশেষত ওয়েফারগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ যা বৃহত্তর এবং পাতলা যা স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিংয়ের সময় এবং উচ্চ নির্ভুলতা প্রক্রিয়াকরণ পদক্ষেপগুলি সম্পাদন করার সময় অনেক কম চাপ সহ্য করতে পারে।

35-40% পোরোসিটির জন্য অনুকূলিত, ছক আন্তঃসংযোগকারী ছিদ্রগুলির একটি নেটওয়ার্ক বিকাশ করে যা প্রক্রিয়া বাহিনীর বিরুদ্ধে ওয়েফারকে ধরে রাখার জন্য পর্যাপ্ত যান্ত্রিক শক্তি সরবরাহ করার সময় বায়ু সরিয়ে নিতে পরিবেশন করে। এর অর্থ হ'ল ভ্যাকুয়াম হোল্ডিং ফোর্স একটি জটিল প্রক্রিয়া ক্রম সম্পাদন করার সময়, দ্রুত উত্তরাধিকারেও ওয়েফারগুলি সরানোর সময় স্থিতিশীল থাকে। একটি মাইক্রোপারাস নেটওয়ার্কের মধ্যে শোষণ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের মধ্যে চাপের মধ্যে পার্থক্য তৈরি করার চেয়ে আরও স্থিতিশীলতা সরবরাহ করে।

কালো অ্যালুমিনা (আলো) নিজেই চূড়ান্ত উপাদান কারণ এটি শক্ত, পরিধান-প্রতিরোধী এবং রাসায়নিকভাবে জড়। এটি কোনও প্রশংসনীয় পৃষ্ঠকে হ্রাস করবে না এবং ওয়েফারের বারবার চক্রের মাধ্যমে (প্লেসমেন্ট/ ভ্যাকুয়াম শোষণ/ কুলিং) এর মাধ্যমে প্রভাবিত হয় না। কালোঅ্যালুমিনামাত্রিকভাবে স্থিতিশীল, সুতরাং প্রক্রিয়া (গরম এবং শীতলকরণ) বা পরিবেশে প্রাকৃতিকভাবে ঘটে যাওয়া তাপমাত্রা পরিবর্তন সত্ত্বেও পরিবর্তন হবে না।

রাসায়নিক প্রতিরোধের কালো অ্যালুমিনার আরেকটি মূল সুবিধা। চক তার কাঠামোগত অখণ্ডতার সাথে আপস না করে আক্রমণাত্মক পরিষ্কার, প্লাজমা এবং এচিং পরিবেশে কাজ করতে পারে। এর জড়তা ওয়েফার পৃষ্ঠের দূষণকে বাধা দেয়, উচ্চ প্রক্রিয়া বিশুদ্ধতা এবং ক্লিনরুমের মানগুলির আনুগত্য নিশ্চিত করে।

মাইক্রোপারাস কাঠামোটি একটি সহায়ক পৃষ্ঠও সরবরাহ করে যা পাতলা এবং ভঙ্গুর ওয়েফারগুলিতে স্ট্রেস ঘনত্বকে মুক্তি দেয়। সুনির্দিষ্ট পৃষ্ঠের সমতলতা এবং মসৃণ পৃষ্ঠের সমাপ্তির সাথে মিল রেখে, ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা চকগুলি মাইক্রো-ক্র্যাক এবং স্ক্র্যাচগুলির উপস্থিতি হ্রাস করবে যা ওয়েফারের অখণ্ডতার সাথে আপস করতে পারে।

অ্যালুমিনা সিরামিকদুর্দান্ত কঠোরতা, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, সম্প্রসারণের কম তাপীয় সহগ এবং দুর্দান্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা এটিকে নির্ভুল অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনটির জন্য ব্যবহারিক উপাদান হিসাবে তৈরি করে। এছাড়াও, এর রাসায়নিক জড়তার অর্থ এটি অ্যাসিড, ক্ষারীয় এবং প্লাজমা সহ্য করতে পারে, যখন পরিধান-প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্যগুলি স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে, এই সুবিধাগুলি অ্যালুমিনাকে মাইক্রোপারাস ভ্যাকুয়াম ছকের জন্য পছন্দের উপাদান তৈরি করে এবং পারফরম্যান্সের নির্ভরযোগ্যতা এবং ভবিষ্যদ্বাণী উভয়ই সরবরাহ করে।

উপসংহারে, ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা চকগুলি ইউনিফর্ম এবং বেঁচে থাকা ওয়েফার হ্যান্ডলিং সরবরাহের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এর মাইক্রোপারাস ব্ল্যাক অ্যালুমিনা কাঠামো এমনকি যান্ত্রিক চাপ এবং ওয়েফার ক্ষতি হ্রাস হ্রাস করার সময় এমনকি ভ্যাকুয়াম শোষণ (অভিন্নতা) সরবরাহ করে। ছক হিসাবে, অসামান্য তাপ, যান্ত্রিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে একত্রে যথেষ্ট এবং অনুকূল পোরোসিটি, কঠোর বানোয়াট পরিস্থিতিতে ওয়েফার সুরক্ষা, মান এবং অপারেশনের নির্ভরযোগ্যতা অনুকূল করতে সহায়তা করে। দৃ ust ়, ইউনিফর্ম এবং নিরাপদ পরিচালনার দুর্দান্ত সংমিশ্রণটি যে ছিদ্রযুক্ত অ্যালুমিনা চকগুলি প্রস্তুতকারকদের অফার করতে পারে তা কেবল বিরল এবং অনন্য।