সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি উচ্চ-পারফরম্যান্স ওয়েফার ক্যারিয়ার যা সেমিকন্ডাক্টর জারণ এবং প্রসারণ প্রক্রিয়াগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়। এই নির্ভুলতা-ইঞ্জিনিয়ারড উপাদানগুলি চুল্লি টিউবগুলির অভ্যন্তরে সিলিকন ওয়েফারগুলির জন্য একটি স্থিতিশীল, উচ্চ-বিশুদ্ধতা পরিবেশ সরবরাহ করে, সর্বোত্তম প্রক্রিয়া নির্ভরযোগ্যতা এবং দক্ষতা নিশ্চিত করে। *
সেমিকোরেক্স সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি ব্যতিক্রমী তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদর্শন করে, যাতে তারা জারণ এবং প্রসারণ প্রক্রিয়াগুলির জন্য প্রয়োজনীয় চরম তাপমাত্রা সহ্য করতে দেয়। তাদের দুর্দান্ত তাপীয় শক প্রতিরোধের দীর্ঘায়িত অপারেশনাল দীর্ঘায়ু নিশ্চিত করে ক্র্যাকিং বা বিকৃতি হওয়ার ঝুঁকি হ্রাস করে। উচ্চ-ঘনত্বের এসআইসি রচনাটি উচ্চতর যান্ত্রিক শক্তি সরবরাহ করে, এমনকি অবিচ্ছিন্ন তাপ সাইক্লিংয়ের অধীনে কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে। যান্ত্রিক চাপের এই ব্যতিক্রমী প্রতিরোধের উচ্চতর প্রক্রিয়া ফলনে অবদান রেখে ওয়েফার দূষণ এবং ভাঙ্গনের সম্ভাবনা হ্রাস করে। তদ্ব্যতীত, এসআইসি নৌকাগুলি অসামান্য রাসায়নিক প্রতিরোধের অধিকারী, জারণ এবং বিস্তারের পদক্ষেপে ব্যবহৃত আক্রমণাত্মক প্রক্রিয়া গ্যাসগুলিতে জড় থেকে যায়। এই বৈশিষ্ট্যটি অযাচিত প্রতিক্রিয়াগুলিকে বাধা দেয় যা ওয়েফার বিশুদ্ধতা এবং উত্পাদন দক্ষতার সাথে আপস করতে পারে।
সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি প্রাথমিকভাবে জারণ এবং প্রসারণ চুল্লিগুলিতে ব্যবহার করা হয়, যেখানে উচ্চ তাপমাত্রা এবং প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলির জন্য ওয়েফার এক্সপোজারের উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজনীয়। তারা উচ্চমানের সিলিকন ডাই অক্সাইড স্তরগুলি বৃদ্ধির জন্য তাপীয় জারণের সময় ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করে এবং ডোপ্যান্ট গ্যাসগুলিতে নিয়ন্ত্রিত এক্সপোজারের মাধ্যমে ইউনিফর্ম ডোপিংয়ের সুবিধার্থে। অতিরিক্তভাবে, তারা অ্যানিলিং এবং অন্যান্য উচ্চ-তাপমাত্রার চিকিত্সার জন্য একটি স্থিতিশীল প্ল্যাটফর্ম সরবরাহ করে যা দীর্ঘায়িত তাপের এক্সপোজার প্রয়োজন।
Traditional তিহ্যবাহী কোয়ার্টজ এবং গ্রাফাইট নৌকাগুলির সাথে তুলনা করে, সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি তুলনামূলক স্থায়িত্ব, দীর্ঘায়ু এবং কর্মক্ষমতা সরবরাহ করে। দূষণকে হ্রাস করার সময় কঠোর তাপ এবং রাসায়নিক পরিবেশ সহ্য করার তাদের দক্ষতা তাদের উচ্চ-নির্ভুলতা অর্ধপরিবাহী উত্পাদন জন্য পছন্দসই পছন্দ করে তোলে। গুণমান এবং উদ্ভাবনের দিকে মনোনিবেশ করে, আমাদের সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি উচ্চতর ফলন এবং বিশ্বব্যাপী অর্ধপরিবাহী নির্মাতাদের জন্য দক্ষ ওয়েফার প্রসেসিং নিশ্চিত করে উচ্চতর পারফরম্যান্স সরবরাহ করে। উন্নত নোড প্রযুক্তি বা উত্তরাধিকার সেমিকন্ডাক্টর বানোয়াটের জন্য, এই নৌকাগুলি কঠোর শিল্পের প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণের জন্য একটি নির্ভরযোগ্য সমাধান সরবরাহ করে।
(1) বহন এবং সুরক্ষা: সিলিকন কার্বাইড নৌকাগুলি এর অভ্যন্তরীণ বন্ধনী বা স্লটগুলির মাধ্যমে ওয়েফারগুলির মতো অর্ধপরিবাহী উপকরণ বহন করে এবং বাহ্যিক পরিবেশ থেকে ওয়াফারদের রক্ষা করতে সিলিকন কার্বাইড উপকরণগুলির উচ্চ তাপমাত্রা এবং জারা প্রতিরোধের ব্যবহার করে।
(২) ইউনিফর্ম হিটিং: সিলিকন কার্বাইড নৌকা তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়া চলাকালীন ভিতরে ওয়েফারগুলিকে সমানভাবে উত্তপ্ত করতে দেয়। এটি তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের প্রতিটি অংশের তাপমাত্রা এবং প্রতিক্রিয়া হার সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকে তা নিশ্চিত করতে সহায়তা করে, যার ফলে ওয়েফারের ফলন এবং গুণমান উন্নত হয়।
বর্তমানে তিনটি প্রধান প্রকার রয়েছেসিলিকন কার্বাইড সিরামিকউপকরণ: প্রতিক্রিয়া সিনটারিং, চাপহীন সিনটারিং এবং পুনরায় ইনস্টলকরণ সিনটারিং। বেশিরভাগ অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, প্রতিক্রিয়া সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড আরও উপযুক্ত এবং ব্যয়বহুল পণ্য। পুনরায় ইনস্টল করা এসআইসি নৌকাগুলি সাধারণত সিন্টার করে এবং প্রথমে বেশ কয়েকটি ইউনিটের অংশগুলি প্রক্রিয়া করে, তারপরে অংশগুলি উচ্চ তাপমাত্রায় একটি নৌকায় একত্রিত করতে এসআই পেস্ট ব্যবহার করুন এবং অবশেষে সিভিডি-সিক লেপ (প্রায় 100 এম) প্রয়োগ করুন। যেহেতু রিসিস্টলাইজেশন ছিদ্রযুক্ত, যদি কোনও এসআইসি লেপ না থাকে তবে এটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াতে আঞ্চলিকগুলিও পরিচয় করিয়ে দেবে। সিভিডি-সিক লেপ সহ এই ধরণের পুনরায় ইনস্টল করা এসআইসি বোটের দীর্ঘতম উত্পাদন প্রক্রিয়া রয়েছে এবং এটি খুব ব্যয়বহুল। এসআইসি প্রলিপ্ত গ্রাফাইট নৌকাগুলির সাথে তুলনা করে, সিভিডি-সিস লেপযুক্ত রিসিস্টলাইজড এসআইসি নৌকাগুলির কোনও সিটিই অমিলের সমস্যা নেই।