SiC ওয়েফার ক্যাসেট

SiC এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, মাত্রিক স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং বারবার তাপ সাইক্লিংয়ের অধীনে নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা প্রদান করে। উপাদান স্থিতিশীল এবং পাটা বা ফাটল না; এর উচ্চ দৃঢ়তা দীর্ঘ সময় ধরে উচ্চ তাপমাত্রার সাথে কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে, ঘর্ষণ বা মাইক্রো-কম্পনের কারণে হ্যান্ডলিং থেকে অবাঞ্ছিত কণা তৈরি হওয়ার সম্ভাবনাকে সীমিত করে ওয়েফারের যান্ত্রিক চাপ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

ক্যাসেট উচ্চ বিশুদ্ধতা থেকে তৈরি করা হয়সিলিকন কার্বাইড, এমনও আবরণ রয়েছে যা আরও বেশি সুবিধার জন্য প্রয়োগ করা যেতে পারে। SiC এর চমৎকার তাপীয় শক, জারা এবং মাত্রিক বিকৃতির স্থায়িত্ব রয়েছে।  SiC এর অনন্য কঠোরতা, রাসায়নিক জড়তা এবং তাপ পরিবাহিতা রয়েছে যে এটি এই প্রক্রিয়া পরিবেশের জন্য একটি আদর্শ উপাদান। কোয়ার্টজ এবং অ্যালুমিনার বিকল্পগুলির তুলনায় SiC উচ্চ প্রক্রিয়াকরণ তাপমাত্রায় এর যান্ত্রিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে হ্রাস করবে না, যার ফলে দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করবে এবং উত্পাদন প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফার প্রক্রিয়ার অভিন্নতা উন্নত করবে।

SiC ওয়েফার ক্যাসেটের অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রক্রিয়া চেম্বারে প্রবেশ করা ধাতব বা আয়নিক দূষকগুলির প্রতিরোধের প্রদর্শন করে; উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ার জন্য প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করার জন্য উচ্চ বিশুদ্ধতার জন্য একেবারে প্রয়োজনীয় কিছু। সিলিকন কার্বাইড ক্যাসেটগুলি দূষিত উপাদানগুলির উত্স কমিয়ে ওয়েফারের ফলন এবং ডিভাইসের নির্ভরযোগ্যতা বৃদ্ধি করবে৷

সেমিকোরেক্সের নির্ভুল মেশিনিং প্রযুক্তি প্রতিটি ক্যাসেটকে আঁটসাঁট সহনশীলতা, অভিন্ন স্লট পিচ এবং সমান্তরাল প্রান্তিককরণের সাথে তৈরি করার অনুমতি দেয়। উপকরণগুলির নির্ভুল মেশিনিং মসৃণ ওয়েফার লোডিং এবং আনলোডিং সমর্থন করে, যা ওয়েফারগুলি পরিচালনা করার সময় স্ক্র্যাচের সম্ভাবনা হ্রাস করে। সুনির্দিষ্ট স্লট ব্যবধান সমস্ত ওয়েফার জুড়ে অভিন্ন তাপমাত্রা এবং বায়ুপ্রবাহের জন্য অনুমতি দেয়, যা প্রক্রিয়া পরিবর্তনশীলতা হ্রাস করার সাথে সাথে জারণ এবং প্রসারণে অভিন্নতা প্রচার করে।

SiC এর চমৎকার তাপ পরিবাহিতা, মাত্রিক স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং বারবার তাপ সাইক্লিংয়ের অধীনে নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা প্রদান করে। উপাদান স্থিতিশীল এবং পাটা বা ফাটল না; এর উচ্চ দৃঢ়তা দীর্ঘ সময় ধরে উচ্চ তাপমাত্রার সাথে কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে, ঘর্ষণ বা মাইক্রো-কম্পনের কারণে হ্যান্ডলিং থেকে অবাঞ্ছিত কণা তৈরি হওয়ার সম্ভাবনাকে সীমিত করে ওয়েফারের যান্ত্রিক চাপ উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে।

উপরন্তু,SiCরাসায়নিকের প্রতি জড়তা ওয়েফারগুলিকে প্রক্রিয়াজাতকরণের সময় সাধারণত জড়িত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির প্রতিক্রিয়া থেকে (যেমন অক্সিজেন, হাইড্রোজেন, অ্যামোনিয়া) রক্ষা করে। ওয়েফার ক্যাসেটগুলি অক্সিডাইজিং এবং আনঅক্সিডাইজিং বায়ুমণ্ডলে স্থিতিশীল, এবং অক্সিডেশন, ডিফিউশন, এলপিসিভিডি এবং অ্যানিলিং এর মতো বেশ কয়েকটি প্রক্রিয়া জুড়ে ফার্নেস ওয়ার্কফ্লোতে অন্তর্ভুক্ত করা যেতে পারে।

নির্দিষ্ট প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে, Semicorex বিভিন্ন আকার, স্লট গণনা এবং কনফিগারেশনে কাস্টমাইজড SiC ওয়েফার ক্যাসেট অফার করে। প্রতিটি ইউনিট মসৃণতা, পরিচ্ছন্নতা, এবং মাত্রিক নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে কঠোর মানের পরিদর্শন এবং পৃষ্ঠ চিকিত্সার মধ্য দিয়ে যায়। ঐচ্ছিক সারফেস পলিশিং আরও কণা তৈরি কমায় এবং স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের সাথে সামঞ্জস্য বাড়ায়।