Semicorex SiC Wafer Boat Carrier হল একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন কার্বাইড হ্যান্ডলিং সলিউশন যা উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর ফার্নেস প্রক্রিয়ায় ওয়েফার বোটকে নিরাপদে সমর্থন ও পরিবহন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। সেমিকোরেক্স বেছে নেওয়ার অর্থ হল একটি বিশ্বস্ত OEM অংশীদারের সাথে কাজ করা যা স্থিতিশীল, দীর্ঘমেয়াদী সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনকে সমর্থন করার জন্য গভীর SiC উপাদানের দক্ষতা, নির্ভুল মেশিনিং এবং নির্ভরযোগ্য গুণমানের সমন্বয় করে।*
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং-এর দ্রুত বিকশিত ল্যান্ডস্কেপ-বিশেষ করে EVs, 5G পরিকাঠামো এবং পুনর্নবীকরণযোগ্য শক্তির জন্য SiC এবং GaN পাওয়ার ডিভাইসের উৎপাদন-আপনার ওয়েফার হ্যান্ডলিং হার্ডওয়্যারের নির্ভরযোগ্যতা অ-আলোচনাযোগ্য। সেমিকোরেক্স SiC ওয়েফার বোট ক্যারিয়ার উপাদান প্রকৌশলের শিখর প্রতিনিধিত্ব করে, উচ্চ-তাপমাত্রা, উচ্চ-বিশুদ্ধতা পরিবেশে ঐতিহ্যবাহী কোয়ার্টজ এবং গ্রাফাইট উপাদান প্রতিস্থাপন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
যেহেতু সেমিকন্ডাক্টর নোডগুলি সঙ্কুচিত হয় এবং ওয়েফারের আকার 200 মিমি (8-ইঞ্চি) দিকে স্থানান্তরিত হয়, কোয়ার্টজের তাপীয় এবং রাসায়নিক সীমাবদ্ধতা একটি বাধা হয়ে দাঁড়ায়। আমাদের SiC ওয়েফার বোট ক্যারিয়ার ব্যবহার করে ইঞ্জিনিয়ার করা হয়সিন্টারযুক্ত সিলিকন কার্বাইডবা CVD-কোটেড SiC, তাপ পরিবাহিতা, যান্ত্রিক শক্তি এবং রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তার একটি অনন্য সমন্বয় প্রদান করে।
প্রসারণ এবং অ্যানিলিংয়ের জন্য প্রয়োজনীয় চরম তাপমাত্রার সংস্পর্শে এলে ঐতিহ্যবাহী উপকরণগুলি প্রায়ই "স্লাম্পিং" বা বিকৃতির শিকার হয়। আমাদের SiC ওয়েফার বোট ক্যারিয়ার 1,600°C এর বেশি তাপমাত্রায় কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখে। এই উচ্চ তাপীয় স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে যে ওয়েফার স্লটগুলি পুরোপুরি সারিবদ্ধ থাকে, স্বয়ংক্রিয় রোবোটিক স্থানান্তরের সময় ওয়েফার "র্যাটেল" বা জ্যামিং প্রতিরোধ করে।
ক্লিনরুম পরিবেশে, কণা ফলনের শত্রু। আমাদের নৌকা বাহক একটি মালিকানাধীন CVD (রাসায়নিক বাষ্প জমা) আবরণ প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যায়। এটি একটি ঘন, অ-ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠ তৈরি করে যা অপরিষ্কার আউটগ্যাসিংয়ের বিরুদ্ধে একটি বাধা হিসাবে কাজ করে। অতি-নিম্ন ধাতব অপরিষ্কার মাত্রার সাথে, আমাদের বাহক নিশ্চিত করে যে আপনার ওয়েফারগুলি - সিলিকন বা সিলিকন কার্বাইড - গুরুতর উচ্চ-তাপ চক্রের সময় ক্রস-দূষণ থেকে মুক্ত থাকে৷
ওয়েফার স্ট্রেস এবং স্লিপ লাইনের প্রাথমিক কারণগুলির মধ্যে একটি হল ক্যারিয়ার এবং ওয়েফারের মধ্যে তাপীয় প্রসারণে অমিল। আমাদের SiC বোটগুলি একটি CTE দিয়ে ডিজাইন করা হয়েছে যা SiC ওয়েফারগুলির সাথে ঘনিষ্ঠভাবে মেলে৷ এই সিঙ্ক্রোনাইজেশন দ্রুত গরম এবং শীতল পর্যায়গুলির (RTP) সময় যান্ত্রিক চাপ কমিয়ে দেয়, উল্লেখযোগ্যভাবে সামগ্রিক ডাই ফলন উন্নত করে।
| বৈশিষ্ট্য |
স্পেসিফিকেশন |
সুবিধা |
| উপাদান |
Sintered আলফা SiC / CVD SiC |
সর্বাধিক স্থায়িত্ব এবং তাপ স্থানান্তর |
| সর্বোচ্চ অপারেটিং টেম্প |
1,800°C পর্যন্ত |
SiC এপিটাক্সি এবং ডিফিউশনের জন্য আদর্শ |
| রাসায়নিক প্রতিরোধ |
HF, HNO3, KOH, HCl |
সহজ পরিষ্কার এবং দীর্ঘ সেবা জীবন |
| সারফেস ফিনিশ |
<0.4μm Ra |
ঘর্ষণ এবং কণা উত্পাদন হ্রাস |
| ওয়েফার সাইজ |
100 মিমি, 150 মিমি, 200 মিমি |
উত্তরাধিকার এবং আধুনিক লাইনের জন্য বহুমুখিতা |
আমাদের SiC ওয়েফার বোট ক্যারিয়ার ফ্যাব-এ সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ "হট জোন" প্রক্রিয়াগুলির জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে:
যদিও SiC হার্ডওয়্যারে প্রাথমিক বিনিয়োগ কোয়ার্টজের চেয়ে বেশি, মালিকানার মোট খরচ (TCO) উল্লেখযোগ্যভাবে কম। আমাদের ক্যারিয়ারগুলি দীর্ঘায়ুর জন্য তৈরি করা হয়েছে, প্রায়শই ঐতিহ্যগত উপকরণের তুলনায় 5 থেকে 10 গুণ বেশি স্থায়ী হয়। এটি যন্ত্রাংশ প্রতিস্থাপনের জন্য টুল ডাউনটাইমের ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস করে এবং বিপর্যয়কর নৌকা ব্যর্থতার ঝুঁকি কমিয়ে দেয় যা ব্যয়বহুল ওয়েফারগুলির একটি সম্পূর্ণ ব্যাচকে ধ্বংস করতে পারে।
আমরা বুঝতে পারি যে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে, "যথেষ্ট ভাল" কখনই যথেষ্ট নয়। আমাদের উত্পাদন প্রক্রিয়া 100% CMM মাত্রিক পরিদর্শন এবং ভ্যাকুয়াম প্যাকেজিংয়ের আগে উচ্চ-বিশুদ্ধতা অতিস্বনক পরিষ্কার অন্তর্ভুক্ত করে।
আপনি একটি 200mm SiC পাওয়ার ডিভাইস লাইনকে স্কেল করছেন বা একটি লিগ্যাসি 150mm প্রক্রিয়া অপ্টিমাইজ করছেন, আমাদের ইঞ্জিনিয়ারিং টিম আপনার নির্দিষ্ট ফার্নেসের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করার জন্য স্লট পিচ, বোটের দৈর্ঘ্য এবং পরিচালনা কনফিগারেশনগুলি কাস্টমাইজ করার জন্য উপলব্ধ।