SiC প্রসেস টিউব

সেমিকোরেক্স সিসি (সিলিকন কার্বাইড) প্রক্রিয়া টিউব হল একটি বিশেষ উপাদান যা ওয়েফার তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, বিশেষত উচ্চ তাপমাত্রা, ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডল বা উভয়ের প্রয়োজন হয় এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে। এটি তাপ চিকিত্সা বা তাপ প্রক্রিয়াকরণের সময় সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলির জন্য একটি প্রতিরক্ষামূলক এবং নিয়ন্ত্রিত পরিবেশ সরবরাহ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

প্রসেস টিউবটি সাবধানে একটি সিল করা চেম্বার তৈরি করার জন্য ইঞ্জিনিয়ার করা হয় যেখানে তাপ চিকিত্সার জন্য ওয়েফারগুলি স্থাপন করা হয়। এটি একটি বাধা হিসাবে কাজ করে, আশেপাশের পরিবেশের সাথে ওয়েফারের সরাসরি যোগাযোগ প্রতিরোধ করে। প্রক্রিয়াকরণ বায়ুমণ্ডলের বিশুদ্ধতা বজায় রাখতে এবং দূষণ থেকে ওয়েফারগুলিকে রক্ষা করার জন্য এই বিচ্ছিন্নতা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

SiC প্রক্রিয়া টিউবের ভিতরে, ওয়েফার তাপ চিকিত্সা সঞ্চালিত হয়। এতে বিভিন্ন প্রক্রিয়া যেমন অ্যানিলিং, অক্সিডেশন, ডিফিউশন এবং ওয়েফার উপাদানের বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করার জন্য প্রয়োজনীয় অন্যান্য তাপীয় চিকিত্সা অন্তর্ভুক্ত থাকতে পারে। টিউবের বৈশিষ্ট্যগুলি, যেমন এর উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং রাসায়নিক আক্রমণের প্রতিরোধ, অভিন্ন তাপমাত্রা বিতরণ এবং ওয়েফারগুলির সুরক্ষা নিশ্চিত করতে সহায়তা করে।

ওয়েফার হিট ট্রিটমেন্ট প্রক্রিয়ায় SiC প্রক্রিয়া টিউবগুলি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান। তাদের উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ, রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা, এবং একটি নিয়ন্ত্রিত পরিবেশ তৈরি করার ক্ষমতা তাপ প্রক্রিয়াকরণ পদক্ষেপগুলির সফল সম্পাদন নিশ্চিত করে, যার ফলে উচ্চ-মানের অর্ধপরিবাহী ওয়েফার উত্পাদন হয়।