SIC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চক

সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের অগ্রগতির সাথে এবং ইলেকট্রনিক উপাদানগুলির জন্য ক্রমবর্ধমান চাহিদার সাথে, অতি-পাতলা ওয়েফারগুলির প্রয়োগ ক্রমবর্ধমান সমালোচনামূলক হয়ে উঠেছে। সাধারণত, 100 μm এর কম পুরুত্বের ওয়েফারগুলিকে অতি-পাতলা ওয়েফার হিসাবে উল্লেখ করা হয়। যাইহোক, যখন ওয়েফারগুলিকে 100 μm-এর নীচে পাতলা করা হয়, তখন তারা উল্লেখযোগ্য ভঙ্গুরতা প্রদর্শন করে এবং তাদের যান্ত্রিক শক্তি পরবর্তীকালে হ্রাস পায়, যার ফলে ওয়েফার ওয়ারিং, বাঁকানো বা এমনকি ভাঙ্গনের উচ্চ ঝুঁকি থাকে। এই কারণে, Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চক ব্যবহার করা একটি বুদ্ধিমান সিদ্ধান্ত, যা ডিবন্ডিং প্রক্রিয়ায় নিরাপদ বিচ্ছেদ অর্জনের জন্য অতি-পাতলা ওয়েফারগুলির নির্ভরযোগ্য সমর্থন এবং সুরক্ষা প্রদান করতে পারে।

Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চাকের সুবিধা

1. ব্যতিক্রমী উপাদান বৈশিষ্ট্য

আনুমানিক 9.5 এর একটি Mohs কঠোরতা সমন্বিত, SemicorexSiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক debonding chucksব্যতিক্রমী পরিধান প্রতিরোধের গর্ব করে এবং দীর্ঘমেয়াদী বারবার ভ্যাকুয়াম শোষণ সহ্য করতে পারে এবং ডিবন্ডিং প্রক্রিয়া চলাকালীন নির্ভরযোগ্য স্থায়িত্ব সহ অপারেশনগুলি মুক্তি দিতে পারে।

উপরন্তু, উচ্চতর তাপ পরিবাহিতা সহ, Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চাকগুলি দ্রুত তাপ সঞ্চালনের জন্য বেলে হয়, যা কার্যকরভাবে স্থানীয় ওভারহিটিং প্রতিরোধ করতে পারে যা ওয়েফারগুলিকে ক্ষয় বা ক্ষতি করতে পারে, বিশেষত উচ্চ-তাপমাত্রা ডিবন্ডিং প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত।

2. উচ্চ-পারফর্মিং ছিদ্রযুক্ত সিরামিক গঠন

উচ্চ মানের থেকে গড়াসিলিকন কার্বাইডউচ্চ-তাপমাত্রা সিন্টারিংয়ের মাধ্যমে পাউডার, Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চকগুলির মধ্যে অসংখ্য আন্তঃসংযুক্ত মাইক্রো-ছিদ্র সমানভাবে বিতরণ করা হয়েছে। 30 (±5)% এর ছিদ্র এবং ছিদ্রের আকার 2-25 μm এর মধ্যে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত, Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চকগুলি নিশ্চিত করতে পারে যে ডিবন্ডিং প্রক্রিয়া চলাকালীন অতি-পাতলা ওয়েফারগুলি সমানভাবে চাপযুক্ত হয়, এইভাবে ওয়েফার ওয়ারপেজ এবং ভাঙার ঝুঁকি অনেক কম করে।

3. সুনির্দিষ্ট সমতলতা নিয়ন্ত্রণ

পরিপক্ক মেশিনিং এবং পৃষ্ঠ চিকিত্সা প্রযুক্তি থেকে উপকৃত, Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চকগুলি 0.02mm এর নীচে নিয়ন্ত্রিত সমান্তরালতা এবং 0.02mm এর নীচে দ্বি-পার্শ্বযুক্ত সমতলতা অর্জন করে। এই চমৎকার সমতলতা এবং সমান্তরালতা অতি-পাতলা ওয়েফারগুলির ডিবন্ডিং প্রক্রিয়ার জন্য একটি স্থিতিশীল এবং সমতল সমর্থন প্ল্যাটফর্ম প্রদান করে, কার্যকরভাবে ডিবন্ডিং প্রক্রিয়ার নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতার গ্যারান্টি দেয়।

4. নমনীয় মাত্রা বিকল্প

Semicorex SiC ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ডিবন্ডিং চকগুলি 6 ইঞ্চি এবং 8 ইঞ্চি ওয়েফার ট্রিটমেন্টের জন্য উপযুক্ত এবং 159 মিমি ব্যাস × 0.75 মিমি পুরুত্ব, 200 মিমি ব্যাস × 1 মিমি পুরুত্ব, 204 মিমি ব্যাস × 1.5 মিমি পুরু সহ বিভিন্ন মানক মাত্রায় পাওয়া যায়।