Semicorex SiC হিটিং ফিলামেন্ট হল একটি সিলিকন কার্বাইড প্রলিপ্ত গ্রাফাইট হিটার যা উন্নত সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে ওয়েফার গরম করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। সেমিকোরেক্স বেছে নেওয়ার অর্থ হল একটি বিশ্বস্ত অংশীদার নির্বাচন করা যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রী, নির্ভুল কাস্টমাইজেশন এবং সবচেয়ে বেশি চাহিদাপূর্ণ তাপীয় প্রক্রিয়াগুলির জন্য দীর্ঘস্থায়ী কর্মক্ষমতা প্রদান করে।*
সেমিকোরেক্স SiC হিটিং ফিলামেন্ট, একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম হিটিং উপাদান যা নতুন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য তৈরি করা হয়েছে, এটি একটি উদ্ভাবনী গরম করার উপাদান যা ডিজাইন করা হয়েছেগ্রাফাইট কোরএবং উচ্চ বিশুদ্ধতাগ্রাফাইট কোর. বিশেষ ফিলামেন্ট গ্রাফাইটের তাপ পরিবাহিতা এবং SiC এর স্থায়িত্ব ও সুরক্ষা নিযুক্ত করে, যার ফলে সময়ের সাথে সাথে একটি স্থিতিশীল এবং শক্তি-দক্ষ হিটার হয়। SiC হিটিং ফিলামেন্টটি ওয়েফারগুলিকে অভিন্নভাবে গরম করার জন্য এবং স্পেসিফিকেশনে পৌঁছানোর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, এটি উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের জন্য একটি চমৎকার উপাদান তৈরি করে, যেমন এপিটাক্সি, ডিফিউশন এবং অ্যানিলিং।
গ্রাফাইটের তাপীয় বৈশিষ্ট্য এবং মানসম্পন্ন বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যের কারণে SiC হিটিং ফিলামেন্ট উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি। গ্রাফাইট প্রধান গরম করার ফাংশন প্রদান করে যা দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং বৈদ্যুতিক লোডের অধীনে দক্ষ গরম করতে সক্ষম করে। ঘন উচ্চ-বিশুদ্ধতা SIC আবরণ দূষণের সম্ভাব্য উত্স থেকে ফিলামেন্টকে রক্ষা করে। SiC আবরণ ওয়েফারকে রাসায়নিক দূষণ থেকে রক্ষা করে, এবং অক্সিডেশন, সেইসাথে চেম্বারের কণা, ফিলামেন্টের দরকারী জীবনকে প্রসারিত করে এবং একটি পরিষ্কার চেম্বারের পরিবেশ তৈরি করে।
সেমিকোরেক্স সিসি হিটিং ফিলামেন্টের অ্যাপ্লিকেশনগুলি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির প্রক্রিয়াগুলির একটি বিস্তৃত অ্যারেকে কভার করে। এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময়, উদাহরণস্বরূপ, গরম করার উপাদান উচ্চ মানের স্ফটিক ছায়াছবি জমা করার জন্য একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন স্তর তাপমাত্রা প্রদান করে।
SiC হিটিং ফিলামেন্ট কাস্টমাইজযোগ্য, প্রতিটি ফিলামেন্টের বৈদ্যুতিক প্রতিরোধের মান তার প্রক্রিয়া সরঞ্জাম এবং অপারেটিং পরিবেশের জন্য কাস্টমাইজ করা যেতে পারে। এই কাস্টমাইজেশন সিলিকন কার্বাইডের প্রযুক্তিকে ফিলামেন্ট জ্যামিতি, আবরণের বেধ এবং উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলির প্রতিরোধের মান নিয়ন্ত্রণ করতে দেয়। একটি SiC হিটিং ফিলামেন্ট অনেকগুলি বিভিন্ন ওয়েফার আকার এবং প্রক্রিয়া রেসিপি সহ বিভিন্ন ফার্নেস ডিজাইনের সাথে ফিট করতে পারে। এটি সেমিকন্ডাক্টর নির্মাতাদের জন্য বিশেষভাবে অনুকূল, কারণ এটি বর্তমান প্রক্রিয়াগুলিকে আরও দক্ষতার সাথে চালানোর অনুমতি দেয় এবং ইতিমধ্যে জায়গায় থাকা সিস্টেমগুলির সাথে সামঞ্জস্য বজায় রাখে। কর্মক্ষমতা তৃতীয় বৈশিষ্ট্য স্থায়িত্ব. উচ্চ তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে, গরম করার উপাদানটি খুব আক্রমণাত্মক রাসায়নিক পরিবেশ এবং বারবার তাপীয় সাইক্লিংয়ের সংস্পর্শে আসে।
সেমিকোরেক্স সিসি হিটিং ফিলামেন্টের অ্যাপ্লিকেশনগুলি সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির প্রক্রিয়াগুলির একটি বিস্তৃত অ্যারেকে কভার করে। এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির সময়, উদাহরণস্বরূপ, গরম করার উপাদান উচ্চ মানের স্ফটিক ছায়াছবি জমা করার জন্য একটি স্থিতিশীল এবং অভিন্ন স্তর তাপমাত্রা প্রদান করে।