SiC ফোকাস রিং

সেমিকোরেক্স উন্নত, উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC ফোকাস রিংগুলি প্লাজমা এচ (বা শুষ্ক ইচ) চেম্বারে চরম পরিবেশ সহ্য করার জন্য তৈরি করা হয়েছে। আমরা সেমিকন্ডাক্টর ইন্ডাস্ট্রিতে ফোকাস করি যেমন সিলিকন কার্বাইড লেয়ার এবং এপিটাক্সি সেমিকন্ডাক্টর। আমাদের পণ্যগুলির একটি ভাল মূল্য সুবিধা রয়েছে এবং ইউরোপীয় এবং আমেরিকান বাজারের অনেকগুলিকে কভার করে৷ আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

অনুসন্ধান পাঠান

পণ্যের বর্ণনা

সেমিকোরেক্স সরবরাহ করে এসআইসি ফোকাস রিংগুলি আরটিএ, আরটিপি বা কঠোর রাসায়নিক পরিষ্কারের জন্য সত্যিই স্থিতিশীল। SiC ফোকাস রিং বা প্রান্তের রিংগুলি ওয়েফার প্রান্ত বা ঘেরের চারপাশে এচ অভিন্নতা উন্নত করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। প্লাজমা ইচ প্রক্রিয়াকরণের কঠোরতার জন্য তৈরি উচ্চ-বিশুদ্ধতা উপাদানগুলির সাথে দূষণ এবং অনির্ধারিত রক্ষণাবেক্ষণ কম করুন। SiC আবরণ সহ আমাদের SiC ফোকাস রিংগুলি হল একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড (SiC) আবরণ৷ এটিতে উচ্চ জারা এবং তাপ প্রতিরোধের বৈশিষ্ট্যের পাশাপাশি চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। আমরা রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) প্রক্রিয়া ব্যবহার করে গ্রাফাইটের উপর পাতলা স্তরে SiC প্রয়োগ করি।

SiC ফোকাস রিং এর পরামিতি

CVD-SIC আবরণ প্রধান স্পেসিফিকেশন
SiC-CVD বৈশিষ্ট্য
স্ফটিক গঠন	FCC Î² ফেজ
ঘনত্ব	g/cm ³	3.21
কঠোরতা	Vickers কঠোরতা	2500
দ্রব্যের আকার	Î¼m	2~10
রাসায়নিক বিশুদ্ধতা	%	99.99995
তাপ ধারনক্ষমতা	J·kg-1 ·K-1	640
পরমানন্দ তাপমাত্রা	℃	2700
ফেলেক্সুরাল স্ট্রেন্থ	MPa (RT 4-পয়েন্ট)	415
তরুণের মডুলাস	Gpa (4pt বাঁক, 1300â)	430
তাপীয় সম্প্রসারণ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
তাপ পরিবাহিতা	(W/mK)	300

SiC ফোকাস রিং এর বৈশিষ্ট্য

- পরিষেবা জীবন উন্নত করতে সিভিডি সিলিকন কার্বাইড আবরণ।

- তাপ নিরোধক উচ্চ-কর্মক্ষমতা পরিশোধিত অনমনীয় কার্বন দিয়ে তৈরি।

- কার্বন/কার্বন কম্পোজিট হিটার এবং প্লেট।- গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট এবং সিলিকন কার্বাইড উভয় স্তরেরই উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং চমৎকার তাপ বিতরণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।

- পিনহোল প্রতিরোধের এবং উচ্চতর জীবনকালের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট এবং SiC আবরণ