সেমিকোরেক্স SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টর হল উচ্চ-নির্ভুল গ্রাফাইট সমর্থনকারী উপাদান যা একটি ঘন সিলিকন কার্বাইড আবরণ দ্বারা আবৃত, বিশেষভাবে উন্নত MOCVD সরঞ্জামগুলির জন্য প্রকৌশলী৷ তারা অভিন্ন গ্যাস প্রবাহ এবং তাপ বন্টন সক্ষম করতে পারে, এইভাবে একটি সর্বোত্তম এপিটাক্সিয়াল পরিবেশ তৈরিতে অবদান রাখে।
সেমিকোরেক্স SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টরগুলি Aixtron G2 সরঞ্জামগুলিতে সেমিকন্ডাক্টর এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য ডিজাইন করা অপরিহার্য সহায়ক উপাদান, যেখানে তারা নিরাপদে ওয়েফারগুলিকে সমর্থন করতে এবং গ্রহগত গতির উপায়ে ঘোরাতে সক্ষম। এইভাবে, ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে সুনির্দিষ্ট তাপীয় অভিন্নতা এবং অভিন্ন গ্যাস বিতরণ সফলভাবে অর্জন করা যেতে পারে, যার ফলে ওয়েফারগুলিতে প্রিমিয়াম-মানের এপিটাক্সিয়াল স্তর জমা হয়।
সেমিকোরেক্স SiC-প্রলিপ্তগ্রহের সংবেদনশীলসুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রিত মাত্রা সহ বেশ কয়েকটি ওয়েফার পকেটের একটি অভিন্ন বিতরণ বৈশিষ্ট্য। এই ওয়েফার পকেটগুলি এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলিকে দৃঢ়ভাবে ধরে রাখতে সক্ষম হয়, যা কার্যকরভাবে ওয়েফার সাবস্ট্রেটগুলির অবাঞ্ছিত আন্দোলনের কারণে সৃষ্ট এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়ার বৈচিত্রগুলিকে কমিয়ে আনতে পারে। উপরন্তু, এই মাল্টি-ওয়েফার পকেট ডিজাইনটি একাধিক ওয়েফার সাবস্ট্রেটকে একক প্রক্রিয়ায় একযোগে এপিটাক্সিয়াল ডিপোজিশনের মধ্য দিয়ে যেতে দেয়, যা এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার সামগ্রিক দক্ষতাকে ব্যাপকভাবে উন্নত করে।
সেমিকোরেক্স তার মধ্যে গ্যাস প্রবাহের চ্যানেলগুলির একটি সাবধানে প্রকৌশলী সেট অন্তর্ভুক্ত করেSiC-caotedপ্ল্যানেটারি সাসেপ্টর, যা এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়া জুড়ে ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে গ্যাস প্রবাহ গতিশীলতার অপ্টিমাইজেশন এবং তাপীয় অভিন্নতাকে পরিমার্জন করে। এই চিন্তাশীল নকশাটি প্রতিক্রিয়া চেম্বারের ভিতরে গ্যাস প্রবাহের হার এবং বিতরণের উপর সঠিক নিয়ন্ত্রণ সক্ষম করে, যা উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম, অভিন্ন স্তর পুরুত্ব এবং নির্ভরযোগ্য সামগ্রিক ডিভাইস কার্যকারিতা অর্জনের জন্য অপরিহার্য।
সেমিকোরেক্স SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টরগুলি অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা সামগ্রী এবং অত্যন্ত কম অপরিচ্ছন্নতার মাত্রা দিয়ে তৈরি করা হয়, সম্পূর্ণরূপে সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনের কঠোর পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। তারা কার্যকরভাবে ধাতব আউটগ্যাসিং দ্বারা সৃষ্ট ওয়েফার দূষণকে কমিয়ে দেয়, এমনকি উচ্চ-তাপমাত্রা এবং এপিটাক্সিয়াল প্রক্রিয়াগুলির সাধারণ ক্ষয়কারী অবস্থার অধীনেও।
সেমিকোরেক্সের মান নিয়ন্ত্রণ আমাদের কাঁচামালের কঠোর নির্বাচনের মাধ্যমে শুরু হয়। SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টরগুলি সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড গ্রাফাইট এবং সিলিকন কার্বাইড থেকে নির্ভুলভাবে তৈরি করা হয়, যা চমৎকার উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধ এবং ক্ষয় প্রতিরোধের প্রস্তাব করে, যা তাদেরকে চ্যালেঞ্জিং উচ্চ-তাপমাত্রা, অত্যন্ত ক্ষয়কারী এপিটাক্সিয়াল অপারেটিং অবস্থার সাথে পুরোপুরি প্রতিরোধ করে। এই চমৎকার বস্তুগত বৈশিষ্ট্যগুলির সাথে, Semicorex SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টরগুলি তাদের সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা এবং কাঠামোগত অখণ্ডতা বজায় রাখতে পারে এবং উচ্চ-তাপমাত্রা এবং উচ্চ-জারা প্রতিক্রিয়া চেম্বারে তাদের পৃষ্ঠের ক্ষতি এবং কর্মক্ষমতা হ্রাস এড়াতে পারে, যার ফলে SiC-কোটেড প্ল্যানেটারি সাসেপ্টরদের পরিষেবা জীবন ব্যাপকভাবে প্রসারিত হয়।